【技术实现步骤摘要】
本申请涉及气体压力控制，具体涉及一种腔室内的气体压力控制方法、系统、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、管路开闭装置例如阀门，作为能够改变气流方向，调节气流量大小，切断系统管路的气路部件具有多种表现形式，比如蝶阀，摆阀，球阀等。由于这些阀门具有运行稳定、响应快等特点，因此其被广泛应用在物理气相沉积、刻蚀、光伏板制造等设备中。
2、现有技术通过调管路开闭装置的开闭度位置的方式来调节腔室内的压力，主要通过手动调节或者在特定的流量范围和压力范围内自动调节的方式来调节开闭度位置，通过手动调节的方式效率低，精度差，响应速度慢。
3、基于此，需要一种新技术方案。
技术实现思路
1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种腔室内的气体压力控制方法、系统、电子设备及存储介质。
2、本说明书实施例提供以下技术方案：
3、本说明书实施例提供一种腔室内的气体压力控制方法，包括如下步骤：
4、模型建立步骤：建立开闭度位置值与腔室内的压力值对应的位置压力对应模型；
5、实际压力修正步骤：获取腔室内的实际压力值，并对实际压力值进行修正，得到修正后的实际压力值；
6、控制参数调节步骤：基于建立的位置压力对应模型、修正后的实际压力值以及实际压力值对应的实际开闭度位置值对控制参数进行修正，得到修正后的控制参数；
7、气体压力控制步骤：基于修正后的控制参数对腔室内的气体压力进行控制。
8、优选的，在所述控制参数调节步骤
9、优选的，在所述实际压力修正步骤中，腔室内的实际压力值记为pa，修正后的压力值记为pm，修正所采用的公式为：
10、pm＝pa+(pa-pa_0)
11、其中，pa_0是上一采样时刻获取到的实际压力值。
12、优选的，在所述模型建立步骤中，多次调整开闭度位置，并获取每次调整开闭度位置对应的稳定的压力值，根据开闭度位置值和对应的压力值构建表格模型t(s，p)，作为位置压力对应模型；
13、其中，s表示表格模型中开闭度位置值；p表示表格模型中对应的压力值；
14、在所述控制参数调节步骤中，基于建立的表格模型t(s，p)，根据目标压力值pr计算对应的目标开闭度位置值sr，则计算公式为：
15、sr＝s(i)+(s(i+1)-s(i))/(p(i+1)-p(i))*(pr-p(i))
16、其中，pr在p(i+1)与p(i)之间；s(i)为t(s(i)，p(i))的开闭度位置值；p(i)为t(s(i)，p(i))的压力值；s(i+1)为t(s(i+1)，p(i+1))的开闭度位置值；p(i+1)为t(s(i+1)，p(i+1))的压力值；t(s(i+1)，p(i+1))和t(s(i)，p(i))为表格模型t(s，p)中的相邻数据，t(s(i)，p(i))为相邻数据中的一数据，t(s(i+1)，p(i+1))为相邻数据中的另一数据。
17、优选的，在所述控制参数调节步骤中，压力误差值pe的计算公式为：
18、pe＝pr-pm
19、位置误差值se的计算公式为：
20、se＝sr-sa
21、其中，sa表示实际压力值对应的实际开闭度位置值；
22、根据目标压力值pr、目标开闭度位置值sr、压力误差值pe以及位置误差值se对控制参数中的比例系数kp、积分系数ki以及微分系数kd进行修正，则修正公式为：
23、kp＝kp0+f1(pr，sr，pe，se)
24、ki＝ki0+f2(pr，sr，pe，se)
25、kd＝kd0+f3(pr，sr，pe，se)
26、其中，kp0为pid控制器的初始比例系数参数；ki0为pid控制器的初始积分系数；kd0为pid控制器的初始微分系数参数；
27、f1(pr，sr，pe，se)＝k1*(pe/pr+se/sr)
28、f2(pr，sr，pe，se)＝k2*(pe/pr+se/sr)
29、f3(pr，sr，pe，se)＝k3*(pe/pr+se/sr)
30、其中，k1是根据实际控制效果进行调节的第一参数；k2是根据实际控制效果进行调节的第二参数；k3是根据实际控制效果进行调节的第三参数。
31、优选的，在所述气体压力控制步骤中，基于修正后的比例系数kp、积分系数ki以及微分系数kd，对腔室内的气体压力进行控制，则计算公式为：
32、u(sr)＝kp*pe(t)+ki*∫pe(t)+kd*(pe(t)-pe(t-1))
33、其中，u(sr)为控制输出的开闭度位置值；pe(t)＝pr(t)-pm(t)，pe(t)为当前时刻的压力偏差值，pr(t)为当前时刻的目标压力值，pm(t)为当前时刻修正的实际压力值；pe(t-1)为上一时刻的压力偏差值。
34、优选的，该控制方法还包括实时控制步骤：根据实时控制任务的设定周期重复执行实际压力修正步骤、控制参数调节步骤以及气体压力控制步骤，对腔室内的气体压力进行实时控制。
35、本说明书实施例还提供一种腔室内的气体压力控制系统，应用腔室内的气体压力控制方法，包括压力传感器以及控制器；
36、所述压力传感器设置在腔室内或者管道内，且所述腔室连接控制器；
37、所述控制器包括管路开闭装置、电路板、电机以及编码器；
38、所述电路板控制电机运动；
39、所述电机驱动管路开闭装置运动；
40、所述管路开闭装置通过调整开闭度位置来改变气体管道的截面积，控制气流；
41、所述控制器建立管路开闭装置的开闭度位置值与腔室内的压力值对应的位置压力对应模型；
42、所述压力传感器用于采集腔室内的实际压力值；
43、所述编码器记录实际开闭度位置值；
44、所述控制器获取腔室内的实际压力值和实际开闭度位置值，并修正实际压力值；
45、所述控制器基于修正的实际压力值、实际开闭度位置值以及位置压力对应模型修正控制参数，通过修正的控制参数进行腔室内的气体压力控制。
46、本说明书实施例还提供一种电子设备，包括处理器以及存储器，存储器存储有计算机可读取指令，当计算机可读取指令由处理器执行时，运行腔室内的气体压力控制方法中的步骤。
47、本说明书实施例还提供一种存储介质，存储有计算机程序，当计算机程序被处理器执行时，运行腔室内的气体压力控制方法中的步骤。
48、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述控制参数调节步骤中，基于建立的位置压力对应模型，根据目标压力值计算对应的目标开闭度位置值；根据目标压力值、目标开闭度位置值、实际开闭度位置值以及修正后的实际压力值对控制参数进行修正，得到修正后的控制参数。
3.根据权利要求1述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述实际压力修正步骤中，腔室内的实际压力值记为pa，修正后的压力值记为pm，修正所采用的公式为：
4.根据权利要求3所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述模型建立步骤中，多次调整开闭度位置，并获取每次调整开闭度位置对应的稳定的压力值，根据开闭度位置值和对应的压力值构建表格模型T(s，p)，作为位置压力对应模型；
5.根据权利要求4所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述控制参数调节步骤中，压力误差值pe的计算公式为：
6.根据权利要求5所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述气体压力控制步骤中，基于
7.根据权利要求1的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，该控制方法还包括实时控制步骤：根据实时控制任务的设定周期重复执行实际压力修正步骤、控制参数调节步骤以及气体压力控制步骤，对腔室内的气体压力进行实时控制。
8.一种腔室内的气体压力控制系统，应用权利要求1-7任一所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，包括压力传感器以及控制器；
9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器以及存储器，存储器存储有计算机可读取指令，当计算机可读取指令由处理器执行时，运行权利要求1-7任一所述的腔室内的气体压力控制方法中的步骤。
10.一种存储介质，其特征在于，存储有计算机程序，当计算机程序被处理器执行时，运行权利要求1-7任一所述的腔室内的气体压力控制方法中的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述控制参数调节步骤中，基于建立的位置压力对应模型，根据目标压力值计算对应的目标开闭度位置值；根据目标压力值、目标开闭度位置值、实际开闭度位置值以及修正后的实际压力值对控制参数进行修正，得到修正后的控制参数。
3.根据权利要求1述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述实际压力修正步骤中，腔室内的实际压力值记为pa，修正后的压力值记为pm，修正所采用的公式为：
4.根据权利要求3所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述模型建立步骤中，多次调整开闭度位置，并获取每次调整开闭度位置对应的稳定的压力值，根据开闭度位置值和对应的压力值构建表格模型t(s，p)，作为位置压力对应模型；
5.根据权利要求4所述的腔室内的气体压力控制方法，其特征在于，在所述控制参数调节步骤中，压力误差值pe的计算公式为：
【专利技术属性】
技术研发人员：朱永刚，陈新，齐英，
申请(专利权)人：星奇上海半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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