【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及一种光学检测自动对焦方法、自动光学检测方法及设备。
技术介绍
1、micro-led(micro light emitting diode，微米量级发光二极管)由于其具备亮度高、色域覆盖广和对比度高的优势，受到了各家厂商的追捧，被称为次世代显示装置。
2、在led的制程中，需要对晶圆进行检测，但为了消除晶圆翘曲对检测的影响，检测过程中还需要对晶圆进行自动对焦。目前在自动对焦的过程中易出现难以对焦的情况，由此导致晶圆上大面积失焦，无法对失焦区域的晶粒进行识别检测。大大降低了检测的准确度，严重影响了自动光学检测的良率。
3、因此，如何提高自动光学检测的准确度是亟需解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述相关技术的不足，本申请的目的在于提供一种光学检测自动对焦方法、自动光学检测方法及设备，旨在解决自动光学检测准确度低的问题。
2、一种光学检测自动对焦方法，应用于微型led晶粒的检测，包括：
3、获取晶圆上待检测的目标区域内的初始点位，所述目标区域包括若干微型led晶粒；
4、以所述初始点位为对焦点进行对焦影像的采集识别；
5、在对焦影像识别不成功时，在所述目标区域内以所述初始点位为起点，按预设点位选择轨迹选择与所述初始点位邻近的目标点位，将所述目标点位作为对焦点重新进行对焦影像的采集识别。
6、上述光学检测自动对焦方法中，在对焦影像识别不成功时，按预设点位选择轨迹选择与初始点位邻
7、基于同样的专利技术构思，本申请还提供一种自动光学检测方法，包括：
8、采用如上所述的光学检测自动对焦方法获取所述目标区域的焦距补偿信息；
9、根据所述焦距补偿信息对默认焦距进行补偿处理得到检测焦距；
10、根据所述检测焦距对所述目标区域进行图像采集；
11、根据采集的图像对所述目标区域内的晶粒进行检测分析。
12、上述自动光学检测方法中，采用光学检测自动对焦方法对晶圆的待检测区域进行对焦，可以有效获取该目标区域的焦距补偿信息，再根据得到的焦距补偿信息进行焦距补偿，以此获取目标区域清晰的图像，以便于目标区域的晶粒识别检测。晶圆上晶粒的检测识别更加准确可靠，提高了自动光学检测的良率。
13、基于同样的专利技术构思，本申请还提供一种自动光学检测设备，包括处理器和存储器；
14、所述处理器用于执行所述存储器中存储的一个或多个程序，以实现如上所述的光学检测自动对焦方法的步骤。
15、上述自动光学检测设备对晶圆进行检测时，可对晶圆上的目标区域进行自动对焦。在对焦影像识别不成功时，按预设点位选择轨迹选择与初始点位邻近的目标点位，重新进行对焦影像的采集识别。解决了检测过程中难以对焦的问题，可防止因失焦而导致识别不成功的情况，晶圆上晶粒的检测识别更加准确，提高了自动光学检测的良率，自动光学检测设备的检测可靠度高。
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1.一种光学检测自动对焦方法，应用于微型LED晶粒的检测，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述预设点位选择轨迹由所述初始点位以及与所述初始点位邻近的至少两个目标点位按预设方向和顺序连接而成。
3.如权利要求2所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，以所述目标点位作为对焦点重新进行对焦影像的采集识别，且在对焦影像识别不成功时，还包括：
4.如权利要求3所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述初始点位为所述目标区域的中心点，以所述目标点位作为对焦点重新进行对焦影像的采集识别，且在对焦影像识别成功时，还包括：
5.如权利要求4所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述根据该最终点位在所述目标区域中的位置，确定是否对所述目标区域进行区域划分包括：
6.如权利要求1-5任一项所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述光学检测自动对焦方法还包括：在对焦影像识别不成功时，将当前对焦影像识别不成功的所述初始点位和/或所述目标点位内的晶粒确定为不合格。
7.如权利要求1-5任
8.如权利要求2-5任一项所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述预设点位选择轨迹呈逆时针或者顺时针环绕的螺旋形轨迹，该螺旋形轨迹以所述初始点位为中心。
9.一种自动光学检测方法，其特征在于，包括：
10.一种自动光学检测设备，其特征在于，包括处理器和存储器；
...【技术特征摘要】
1.一种光学检测自动对焦方法，应用于微型led晶粒的检测，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述预设点位选择轨迹由所述初始点位以及与所述初始点位邻近的至少两个目标点位按预设方向和顺序连接而成。
3.如权利要求2所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，以所述目标点位作为对焦点重新进行对焦影像的采集识别，且在对焦影像识别不成功时，还包括：
4.如权利要求3所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述初始点位为所述目标区域的中心点，以所述目标点位作为对焦点重新进行对焦影像的采集识别，且在对焦影像识别成功时，还包括：
5.如权利要求4所述的光学检测自动对焦方法，其特征在于，所述根据该最终点位在所述目标区域中的位置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王山平，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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