【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、检查系统可通过照射样品并由光-电信号转换(lesc)传感器将散射光信号转换为电信号来检查样品。电荷耦合器件(ccd)传感器是lesc传感器的示例。
2、依赖于lesc传感器的检查系统无法检测散射光信号的相位。相位是照射射束的电场相位。
3、即使在使用lesc传感器时——尤其是在高数值孔径检查系统中——获得相位信息也可能非常有益。
技术实现思路
1、可提供一种用于相位重建的系统、方法和非瞬态计算机可读介质。
【技术保护点】
1.一种用于相位恢复的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述开口的中心与所述收集的散射光束的光轴未对准。
4.根据权利要求2所述的方法，其中所述开口的半径等于所述收集的散射光束的半径。
5.根据权利要求1所述的方法，其中在不同失焦条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
6.根据权利要求1所述的方法，其中在不同照射偏振条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
7.根据权利要求1所述的方法，其中在不同照射射束成形条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
8.根据权利要求1所述的方法，其中在不同照射角度条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个点扩展函数目标包括同时被照射的两个或更多个点扩展函数目标。
10.根据权利要求1所述的方法，其中所述获得包括通过照射来照亮所述一个或多个点扩散函数目标，并且生成表示由残
11.根据权利要求1所述的方法，其中包括：
12.一种用于相位恢复的计算机化系统，所述计算机化系统包括处理电路系统和存储器单元，其中所述处理电路系统被配置为：
13.根据权利要求12所述的计算机化系统，包括所述光学单元。
14.根据权利要求13所述的计算机化系统，其中所述光学单元包括光分布单元，所述光分布单元包括具有开口的带孔反射镜，其中所述开口的形状和大小被设定为接收收集的散射光束的大部分，而所述收集的散射光束的小部分入射到所述带孔反射镜的反射区域上以提供所述残余收集的光信号。
15.根据权利要求14所述的计算机化系统，其中所述开口的中心与所述收集的散射光束的光轴未对准。
16.根据权利要求14所述的计算机化系统，其中所述开口的半径等于所述收集的散射光束的半径。
17.根据权利要求13所述的计算机化系统，包括可调整聚焦单元，所述可调整聚焦单元用于在采集所述多个失焦强度图像中的至少一些失焦强度图像期间引入不同失焦条件。
18.根据权利要求13所述的计算机化系统，其中所述光学单元包括照射模块，所述照射模块被配置为在采集所述多个失焦强度图像中的至少一些失焦强度图像期间改变一个或多个照射参数。
19.一种用于相位恢复的非瞬态计算机可读介质，所述非瞬态计算机可读介质存储用于以下操作的指令：
...【技术特征摘要】
1.一种用于相位恢复的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述开口的中心与所述收集的散射光束的光轴未对准。
4.根据权利要求2所述的方法，其中所述开口的半径等于所述收集的散射光束的半径。
5.根据权利要求1所述的方法，其中在不同失焦条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
6.根据权利要求1所述的方法，其中在不同照射偏振条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
7.根据权利要求1所述的方法，其中在不同照射射束成形条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
8.根据权利要求1所述的方法，其中在不同照射角度条件下获得所述多个失焦强度图像中的至少两个失焦强度图像。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个点扩展函数目标包括同时被照射的两个或更多个点扩展函数目标。
10.根据权利要求1所述的方法，其中所述获得包括通过照射来照亮所述一个或多个点扩散函数目标，并且生成表示由残余收集通道获得的所述残余收集的光信号的检测信号。
11.根据权利要求1所述的方法，其中包括：
12.一种用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：B·科什那，B·戈尔贝格，
申请(专利权)人：应用材料以色列公司，
类型：发明
国别省市：
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