【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空泵，特别是一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统。
技术介绍
1、真空泵腔体内部在使用时会有氮气通入，压力可手动调整，但是电机连接处没有氮气通入，这样腔体内部压力温度高会导致油封失效，进而使设备运行不稳定，油封的磨损会加快，故障率增高。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统。
2、本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，包括腔体内部压力传感器、连接法兰内部压力传感器、加热模块以及控制模块，所述的腔体内部压力传感器设置在真空泵的腔体内，所述的连接法兰内部压力传感器和加热模块均设置在真空泵的电机安装法兰内，所述腔体内部压力传感器、连接法兰内部压力传感器和加热模块均与控制模块电连接，所述的电机安装法兰内填充有氮气。
3、具体的，还包括腔体内部温度传感器和连接法兰内部温度传感器，所述的腔体内部温度传感器设置在真空泵的腔体内，所述连接法兰内部温度传感器设置在电机安装法兰内，所述腔体内部温度传感器和连接法兰内部温度传感器均与控制模块电连接。
4、具体的，所述真空泵的壳体上设置有第一管道连通真空泵内部，所述电机安装法兰上设置有第二管道连通电机安装法兰内部。
5、具体的，所述第一管道上设置有第一电磁阀，所述第二管道上设置有第二电磁阀，所述第一电磁阀和第二电磁阀均与控制模块电连接
6、本技术具有以下优点：
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1.一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，其特征在于：包括腔体内部压力传感器（2）、连接法兰内部压力传感器（5）、加热模块（3）以及控制模块（6），所述的腔体内部压力传感器（2）设置在真空泵的腔体内，所述的连接法兰内部压力传感器（5）和加热模块（3）均设置在真空泵的电机安装法兰（8）内，所述腔体内部压力传感器（2）、连接法兰内部压力传感器（5）和加热模块（3）均与控制模块（6）电连接，所述的电机安装法兰（8）内填充有氮气。
2.根据权利要求1所述的一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，其特征在于：还包括腔体内部温度传感器（1）和连接法兰内部温度传感器（4），所述的腔体内部温度传感器（1）设置在真空泵的腔体内，所述连接法兰内部温度传感器（4）设置在电机安装法兰（8）内，所述腔体内部温度传感器（1）和连接法兰内部温度传感器（4）均与控制模块（6）电连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，其特征在于：所述真空泵的壳体（9）上设置有第一管道（10）连通真空泵内部，所述电机安装法兰（8）上设置有第二管道（11）连通电机
4.根据权利要求3所述的一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，其特征在于：所述第一管道（10）上设置有第一电磁阀，所述第二管道（11）上设置有第二电磁阀，所述第一电磁阀和第二电磁阀均与控制模块（6）电连接。
...【技术特征摘要】
1.一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，其特征在于：包括腔体内部压力传感器（2）、连接法兰内部压力传感器（5）、加热模块（3）以及控制模块（6），所述的腔体内部压力传感器（2）设置在真空泵的腔体内，所述的连接法兰内部压力传感器（5）和加热模块（3）均设置在真空泵的电机安装法兰（8）内，所述腔体内部压力传感器（2）、连接法兰内部压力传感器（5）和加热模块（3）均与控制模块（6）电连接，所述的电机安装法兰（8）内填充有氮气。
2.根据权利要求1所述的一种用于防止真空泵电机与腔体窜动的平衡系统，其特征在于：还包括腔体内部温度传感器（1）和连接法兰内部温度传感器（4），所述的腔体内部温度传感器（1）设...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈文武，廖春妹，秦玉忠，
申请(专利权)人：四川莱斯特真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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