【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造设备领域，具体为一种连续加料结构及其直拉式单晶炉。
技术介绍
1、连续加料结构是一种用于工业生产中的设计，它允许在设备运行过程中不断加入原料而无需停机。这样的设计通常用于需要连续生产的工艺中，例如冶金、化工和晶体生长等领域；直拉式单晶炉是一种用于生产单晶材料（如硅单晶或其他半导体材料）的设备。其工作原理是通过将多晶原料在高温下熔化，然后在熔体表面逐渐拉出单晶棒。这个过程需要精确控制温度、拉速和环境条件，以确保所生产的单晶具有高纯度和完美的晶体结构
2、然而，现有的连续加料结构存在诸多不足，这些不足严重影响了生产效率和产品质量，首先，现有的加料结构无法实现精准的定量加料，这一问题主要体现在加料过程中，物料供应的均匀性和稳定性难以保证，导致在生产过程中出现加料过多或不足的情况，加料不均匀不仅会影响单晶生长的质量，还可能导致产品性能的不稳定，从而影响整体生产效率；
3、其次，现有的加料设备在需要清洗或检修时，操作过程复杂且耗时长，由于传统加料结构的设计缺陷，拆卸和更换关键部件非常困难，需要停机进行长时间的拆卸、清洗和重新安装，这种复杂的操作过程不仅延长了设备的停机时间，影响生产的连续性，还增加了维护和操作人员的工作量和难度，此外，频繁的停机检修还可能导致设备的密封性受到影响，进而引发安全隐患；
4、并且传统的直拉式单晶炉在停止作业进行短暂检修时，存在温度迅速下降的问题，由于炉体设计和热能管理的不足，作业炉在停机期间无法有效保持内部温度，导致重新启动时需要耗费大量的能源和时间进
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种连续加料结构及其直拉式单晶炉，解决了设备无法根据需求进行定量输送的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种连续加料结构，包括立架，所述立架顶部设置有加料罐，所述加料罐顶部固定连接有进料口，所述加料罐底部固定连接有出料口，所述加料罐一侧转动连接有转盘，所述转盘转动连接在所述加料罐内部，所述转盘一侧设置有固定盘，所述固定盘内部设置有电机一，所述电机一输出端固定连接有连接盘，所述连接盘转动连接在所述固定盘内部，所述连接盘内部固定连接有连接板，所述连接板外壁嵌合连接有转柱一，所述转柱一外壁固定连接有分隔板，所述分隔板一侧与所述加料罐内壁相贴合，所述连接板内部设置有快拆组件，所述固定盘一侧设置有自动分离组件。
3、优选的，所述自动分离组件包括连接块，所述连接块固定连接在固定盘一侧，所述连接块内部转动连接有连接杆一，所述加料罐一侧固定连接有限位柱，所述连接盘外壁固定连接有限位块，所述限位块滑动连接在所述限位柱外壁。
4、优选的，所述立架顶部固定连接有固定块，所述固定块内部设置有电机二，所述电机二输出端固定连接有转柱二。
5、优选的，所述转柱二外壁固定连接有连接杆二，所述连接杆二一端转动连接在连接杆一一端。
6、优选的，所述转盘外壁固定连接有安装扣，所述加料罐与所述转盘之间设置有密封圈，所述密封圈通过所述安装扣安装。
7、优选的，所述快拆组件包括固定柱，所述固定柱固定连接在所述连接板内部，所述固定柱外壁套设有弹簧，所述连接板内部开设有滑槽。
8、优选的，所述弹簧一端固定连接在所述连接板内部，所述弹簧另一端固定连接有滑柱。
9、优选的，所述滑柱外壁固定连接有滑块，所述滑柱一侧设置有滚珠，所述滑块滑动连接在滑槽内部。
10、优选的，一种直拉式单晶炉，包括作业炉，所述作业炉固定底部设置有水箱，所述水箱内部设置有蒸汽管，所述作业炉内部设置有内炉，所述蒸汽管套设在所述内炉外壁。
11、优选的，所述内炉内部设置有加热圈，所述加热圈外壁设置有保温圈，所述保温圈设置在所述内炉内部。
12、工作原理：在进行连续加料的时候，可以通过传送带将物料送入进料口的位置，此时进入进料口内的物料会进入加料罐内，此时启动电机一，使得连接盘通过连接板带动转柱一和转盘一起进行转动，这样对应的转柱一在转动的时候就会让分隔板以转柱一为圆心进行转动，进而通过贴合在加料罐内的另一侧实现两个分隔板组成一个等量的密闭空间，以此使得通过进料口输送进来的物料会在电机一的定量驱使下，使得两个分隔板之间的空间装满之后，再通过出料口进行继续输送，以此实现连续且定量的加料活动，在设备需要进行清洗或者检查加料罐内部的时候，可以通过电机二的驱动，使得转柱二开始转动的同时带动连接杆二以电机二为圆心进行转动，使得连接杆二倾斜角度变化的同时可以拉动连接杆一，使得连接杆一的倾斜角度发生同步变化，以此通过连接块将固定盘以及其连接的转盘、连接盘、转柱一一起拉动，这样部件就可以随着连接盘一起在限位块的限制下顺着限位柱进行滑动，进而使得转柱一连带分隔板脱离加料罐的位置，这样就可以对加料罐内部进行快速维护，并且在分隔板之间的间隔定量无法满足需求的时候，还可以通过拉动被拉动出来后的转柱一，使得转柱一连带其分隔板一起推力连接盘和连接板的位置，在进行脱离时，对应的滚珠会先受到力的作用，进而使得滑柱在滑块的限制下顺着滑槽进行滑动，以此对弹簧进行挤压，使得弹簧在固定柱的限制下不产生其他方向的形变，这样对应的转柱一连带分隔板就可以顺利拆分，并且更换新需求分隔板之间间隔空间的转柱一和分隔板，在转盘被拉出来和安装回去的时候，其对应的安装扣的位置可以安装一个密封圈以此防止加料罐内的物料从缝隙处泄露，而在使用作业炉时，通过加热圈内的电阻加热，使得水箱内的水分被蒸发，进而成为水蒸气进入蒸汽管内，当作业炉停止作业进行短暂检修时，对应的水蒸气会从蒸汽管进行液化，进而使得温度被返还至内炉的外围，以此保证热度不会削减太快，使得下一次加工作业可以少耗费能源从零温度重新开始加热。
13、本专利技术提供了一种连续加料结构及其直拉式单晶炉。具备以下有益效果：
14、1、本专利技术通过加料罐、转盘和电机一等部件之间的配合，实现了精确的定量加料效果，确保了物料在生产过程中能够持续、稳定地输送，避免了加料过多或不足的情况，从而提高了生产效率和产品质量，定量加料的实现保证了单晶生长过程中物料的均匀分布，有效提升了产品的一致性和可靠性。
15、2、本专利技术通过电机二、转柱二和连接杆二等部件之间的配合，使设备能够快速进行加料罐内的检修和清洗，该设计允许操作人员方便地拆卸和更换转柱一及分隔板，满足不同生产需求，快速拆装机制减少了停机时间，简化了维护过程，显著提高了设备运行的灵活性和生产线的整体效率。
16、3、本专利技术通过水箱、蒸汽管和内炉等部件之间的配合，实现了优异的热量回收效果，当作业炉短暂停机时，水蒸气在蒸汽管内液化并释放热量，返还至内炉外围，这一过程确保了炉体温度的稳定性，减少了重新加热的能源消耗和时本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种连续加料结构，包括立架（1），其特征在于，所述立架（1）顶部设置有加料罐（2），所述加料罐（2）顶部固定连接有进料口（3），所述加料罐（2）底部固定连接有出料口（4），所述加料罐（2）一侧转动连接有转盘（5），所述转盘（5）转动连接在所述加料罐（2）内部，所述转盘（5）一侧设置有固定盘（6），所述固定盘（6）内部设置有电机一（7），所述电机一（7）输出端固定连接有连接盘（8），所述连接盘（8）转动连接在所述固定盘（6）内部，所述连接盘（8）内部固定连接有连接板（9），所述连接板（9）外壁嵌合连接有转柱一（10），所述转柱一（10）外壁固定连接有分隔板（11），所述分隔板（11）一侧与所述加料罐（2）内壁相贴合，所述连接板（9）内部设置有快拆组件，所述固定盘（6）一侧设置有自动分离组件。
2.根据权利要求1所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述自动分离组件包括连接块（12），所述连接块（12）固定连接在固定盘（6）一侧，所述连接块（12）内部转动连接有连接杆一（13），所述加料罐（2）一侧固定连接有限位柱（33），所述连接盘（8）外壁固定连接有限位块（32），
3.根据权利要求2所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述立架（1）顶部固定连接有固定块（14），所述固定块（14）内部设置有电机二（15），所述电机二（15）输出端固定连接有转柱二（16）。
4.根据权利要求3所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述转柱二（16）外壁固定连接有连接杆二（17），所述连接杆二（17）一端转动连接在连接杆一（13）一端。
5.根据权利要求1所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述转盘（5）外壁固定连接有安装扣（18），所述加料罐（2）与所述转盘（5）之间设置有密封圈（19），所述密封圈（19）通过所述安装扣（18）安装。
6.根据权利要求1所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述快拆组件包括固定柱（20），所述固定柱（20）固定连接在所述连接板（9）内部，所述固定柱（20）外壁套设有弹簧（21），所述连接板（9）内部开设有滑槽（25）。
7.根据权利要求6所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述弹簧（21）一端固定连接在所述连接板（9）内部，所述弹簧（21）另一端固定连接有滑柱（22）。
8.根据权利要求7所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述滑柱（22）外壁固定连接有滑块（24），所述滑柱（22）一侧设置有滚珠（23），所述滑块（24）滑动连接在滑槽（25）内部。
9.一种直拉式单晶炉，包括作业炉（26），其特征在于，所述作业炉（26）固定底部设置有水箱（27），所述水箱（27）内部设置有蒸汽管（28），所述作业炉（26）内部设置有内炉（29），所述蒸汽管（28）套设在所述内炉（29）外壁。
10.根据权利要求9所述的一种直拉式单晶炉，其特征在于，所述内炉（29）内部设置有加热圈（30），所述加热圈（30）外壁设置有保温圈（31），所述保温圈（31）设置在所述内炉（29）内部。
...【技术特征摘要】
1.一种连续加料结构，包括立架（1），其特征在于，所述立架（1）顶部设置有加料罐（2），所述加料罐（2）顶部固定连接有进料口（3），所述加料罐（2）底部固定连接有出料口（4），所述加料罐（2）一侧转动连接有转盘（5），所述转盘（5）转动连接在所述加料罐（2）内部，所述转盘（5）一侧设置有固定盘（6），所述固定盘（6）内部设置有电机一（7），所述电机一（7）输出端固定连接有连接盘（8），所述连接盘（8）转动连接在所述固定盘（6）内部，所述连接盘（8）内部固定连接有连接板（9），所述连接板（9）外壁嵌合连接有转柱一（10），所述转柱一（10）外壁固定连接有分隔板（11），所述分隔板（11）一侧与所述加料罐（2）内壁相贴合，所述连接板（9）内部设置有快拆组件，所述固定盘（6）一侧设置有自动分离组件。
2.根据权利要求1所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述自动分离组件包括连接块（12），所述连接块（12）固定连接在固定盘（6）一侧，所述连接块（12）内部转动连接有连接杆一（13），所述加料罐（2）一侧固定连接有限位柱（33），所述连接盘（8）外壁固定连接有限位块（32），所述限位块（32）滑动连接在所述限位柱（33）外壁。
3.根据权利要求2所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述立架（1）顶部固定连接有固定块（14），所述固定块（14）内部设置有电机二（15），所述电机二（15）输出端固定连接有转柱二（16）。
4.根据权利要求3所述的一种连续加料结构，其特征在于，所述转柱二（16）外壁...
【专利技术属性】
技术研发人员：周琳，孙鹏程，于永波，腾飞，张智博，曲恒，张超慧，
申请(专利权)人：双良晶硅新材料包头有限公司，
类型：发明
国别省市：
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