一种硅片喷砂机制造技术

技术编号:42358719 阅读:10 留言:0更新日期:2024-08-16 14:43
本技术涉及硅片加工设备技术领域,公开了一种硅片喷砂机,包括机体,所述机体的顶部固定安装有喷砂箱,所述喷砂箱的底部固定连接有喷砂管,所述机体内壁的两侧均固定安装有气缸,所述气缸的输出端设置有推杆,所述推杆的中部固定连接有第一弹簧,所述推杆的一端固定连接有顶块,所述顶块的外侧固定连接有弧形板,所述弧形板的数量为两个,所述顶块的内侧固定连接有第二弹簧。本技术具有以下优点和效果:振动机带动第一弹簧和第二弹簧提供激振力,进而带动顶块和两个弧形板进行抖动,进而能够对弧形板内部的硅片进行抖动,通过硅片的抖动,使得喷砂管喷出的砂粒能够均匀的落在硅片的外部,达到喷砂均匀的效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片加工设备,特别涉及一种硅片喷砂机


技术介绍

1、硅片在生产过程中,将硅锭切割成硅片后部分硅片需要进行喷砂处理,以利于硅片的后续处理。

2、在现有技术中,中国专利公开号cn115194660b公开了一种硅片喷砂机构,包括:摆杆:用于悬吊喷枪,其上端部的两侧面构造有相背设置的凹仓;滑块组件:构造有相对设置的对开槽孔,所述槽孔能够在喷枪工作时与所述凹仓对扣以卡紧所述摆杆,并抵顶所述摆杆的外壁面使所述摆杆架设在所述滑块组件上。本专利技术一种硅片喷砂机构,悬吊喷枪的摆杆与控制其往复移动的滑块组件为卡配式结构,既稳固又简单,采用结构受力替代现有的螺栓受力,增加配合强度,延长使用寿命。在摆杆上设置用于调整喷枪高度的可调组件,以适应不同工艺的喷枪高度,防止喷枪脱落。同时在摆杆外部设置防护罩,以保证其与滑块组件配合的稳定性。

3、但是现有的硅片喷砂机在使用时,由于硅片放置在喷砂机的内部不仅稳定性不佳,同时硅片以静止不动的形态进行喷砂存在着喷砂效果不佳,且喷砂质量不均匀的现象,完成喷砂后,废弃砂料难以收集,因此需要改进。


技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种硅片喷砂机,具有喷砂质量均匀的效果。

2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种硅片喷砂机,包括机体,所述机体的顶部固定安装有喷砂箱,所述喷砂箱的底部固定连接有喷砂管,所述机体内壁的两侧均固定安装有气缸,所述气缸的输出端设置有推杆,所述推杆的中部固定连接有第一弹簧,所述推杆的一端固定连接有顶块,所述顶块的外侧固定连接有弧形板,所述弧形板的数量为两个,所述顶块的内侧固定连接有第二弹簧,所述第二弹簧的一侧固定连接有振动板,所述振动板的内部固定连接有振动机,两个所述弧形板的一侧均设置有铰链,且两个所述弧形板的一侧通过铰链铰接有盖板。

3、通过采用上述技术方案,在对硅片进行喷砂作业时,工作人员将硅片防止入机体内部的两个弧形板中,两个弧形板通过气缸和推杆提供驱动力,进而使得两个弧形板对向位移形成一个圆状,达到对硅片进行夹持的目的,提升硅片的稳定性,喷砂箱对砂粒进行储存,通过喷砂管对砂粒进行排放,喷砂管设置在两个弧形板的上方,进而能够对两个弧形板内部的硅片进行喷砂作业,喷砂过程中工作人员启动振动机,使得振动机带动第一弹簧和第二弹簧提供激振力,进而带动顶块和两个弧形板进行抖动,进而能够对弧形板内部的硅片进行抖动,通过硅片的抖动,使得喷砂管喷出的砂粒能够均匀的落在硅片的外部,达到喷砂均匀的效果,同时盖板通过铰链铰接在弧形板的边缘处,盖板闭合时,能够对硅片的一部分进行覆盖,使得工作人员可根据喷砂需求对硅片的一部分进行遮挡。

4、本技术的进一步设置为:所述机体的内壁固定连接有下料斗,所述下料斗的底部固定连接有下料管。

5、通过采用上述技术方案,喷砂过程中产生的飞起砂粒通过下料斗进入下料管的内部。

6、本技术的进一步设置为:所述机体的底部设置有挡板,所述挡板的顶部固定连接有料箱,所述挡板的内部螺纹连接有螺栓,所述螺栓延伸至机体的内部。

7、通过采用上述技术方案,工作人员将挡板搭接在机体的下方,此时料箱延伸至机体的内部,料箱将会处于挡板的正上方,将螺栓螺纹连接至挡板和机体的内部,进而能够对料箱和挡板进行固定,下料管排出的砂粒落入料箱的内部,进而能够对砂粒进行及时收集以便于下一步处理。

8、本技术的进一步设置为:所述机体的内部开设有进料口,所述进料口的内部铰接有密封盖。

9、通过采用上述技术方案,硅片通过进料口进入机体的内部,之后将密封盖闭合在进料口的内部即可。

10、本技术的进一步设置为:所述机体外侧的边缘处开设有空腔,所述空腔的内部固定连接有玻璃层。

11、通过采用上述技术方案,玻璃层呈透明状,进而能够观察机体内部的运行情况。

12、本技术的进一步设置为:所述机体底部的两侧均固定连接有立柱,所述立柱的一侧固定连接有加强板。

13、通过采用上述技术方案,立柱的数量为四个,且四个立柱对机体进行支撑,每两个立柱连接有一个加强板,提升稳定性。

14、本技术的有益效果是:

15、1、本技术,通过机体、喷砂箱、喷砂管、气缸、推杆、第一弹簧、顶块、弧形板、第二弹簧、振动板、振动机和盖板之间的设置,在对硅片进行喷砂作业时,工作人员将硅片防止入机体内部的两个弧形板中,两个弧形板通过气缸和推杆提供驱动力,进而使得两个弧形板对向位移形成一个圆状,达到对硅片进行夹持的目的,提升硅片的稳定性,喷砂箱对砂粒进行储存,通过喷砂管对砂粒进行排放,喷砂管设置在两个弧形板的上方,进而能够对两个弧形板内部的硅片进行喷砂作业,喷砂过程中工作人员启动振动机,使得振动机带动第一弹簧和第二弹簧提供激振力,进而带动顶块和两个弧形板进行抖动,进而能够对弧形板内部的硅片进行抖动,通过硅片的抖动,使得喷砂管喷出的砂粒能够均匀的落在硅片的外部,达到喷砂均匀的效果,同时盖板通过铰链铰接在弧形板的边缘处,盖板闭合时,能够对硅片的一部分进行覆盖,使得工作人员可根据喷砂需求对硅片的一部分进行遮挡。

16、2、本技术,通过下料斗、下料管、挡板、料箱和螺栓之间的设置,喷砂过程中产生的飞起砂粒通过下料斗进入下料管的内部,工作人员将挡板搭接在机体的下方,此时料箱延伸至机体的内部,料箱将会处于挡板的正上方,将螺栓螺纹连接至挡板和机体的内部,进而能够对料箱和挡板进行固定,下料管排出的砂粒落入料箱的内部,进而能够对砂粒进行及时收集以便于下一步处理。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片喷砂机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的顶部固定安装有喷砂箱(2),所述喷砂箱(2)的底部固定连接有喷砂管(3),所述机体(1)内壁的两侧均固定安装有气缸(4),所述气缸(4)的输出端设置有推杆(5),所述推杆(5)的中部固定连接有第一弹簧(6),所述推杆(5)的一端固定连接有顶块(7),所述顶块(7)的外侧固定连接有弧形板(8),所述弧形板(8)的数量为两个,所述顶块(7)的内侧固定连接有第二弹簧(9),所述第二弹簧(9)的一侧固定连接有振动板(10),所述振动板(10)的内部固定连接有振动机(11),两个所述弧形板(8)的一侧均设置有铰链,且两个所述弧形板(8)的一侧通过铰链铰接有盖板(12)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机,其特征在于:所述机体(1)的内壁固定连接有下料斗(13),所述下料斗(13)的底部固定连接有下料管(14)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机,其特征在于:所述机体(1)的底部设置有挡板(15),所述挡板(15)的顶部固定连接有料箱(16),所述挡板(15)的内部螺纹连接有螺栓(17),所述螺栓(17)延伸至机体(1)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机,其特征在于:所述机体(1)的内部开设有进料口(18),所述进料口(18)的内部铰接有密封盖(19)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机,其特征在于:所述机体(1)外侧的边缘处开设有空腔,所述空腔的内部固定连接有玻璃层(20)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机,其特征在于:所述机体(1)底部的两侧均固定连接有立柱(21),所述立柱(21)的一侧固定连接有加强板(22)。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片喷砂机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的顶部固定安装有喷砂箱(2),所述喷砂箱(2)的底部固定连接有喷砂管(3),所述机体(1)内壁的两侧均固定安装有气缸(4),所述气缸(4)的输出端设置有推杆(5),所述推杆(5)的中部固定连接有第一弹簧(6),所述推杆(5)的一端固定连接有顶块(7),所述顶块(7)的外侧固定连接有弧形板(8),所述弧形板(8)的数量为两个,所述顶块(7)的内侧固定连接有第二弹簧(9),所述第二弹簧(9)的一侧固定连接有振动板(10),所述振动板(10)的内部固定连接有振动机(11),两个所述弧形板(8)的一侧均设置有铰链,且两个所述弧形板(8)的一侧通过铰链铰接有盖板(12)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机,其特征在于:所述机体(1)的内壁固定连接有下料斗(13),所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨帆张淑明
申请(专利权)人:湖北一点明机械设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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