【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种舟托输送装置及扩散炉。
技术介绍
1、扩散炉作为半导体器件生产设备的重要装置之一，广泛应用于集成电路、电力电子、太阳能电池的生产等行业，在光伏行业，扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成pn结。
2、现有技术中，硅片一般载放于石英舟上，而扩散炉则包括用于进行扩散反应的炉体，为将载放有硅片的石英舟送入炉体内进行扩散反应，扩散炉一般还包括舟托输送装置，舟托输送装置用于将载放有石英舟的舟托移入炉体内，以对硅片进行扩散反应，反应完成后，舟托输送装置还能够将舟托由炉体内取出。目前的舟托输送装置包括悬臂桨以及用于驱动悬臂桨移动的驱动结构，其中，悬臂桨用于载放舟托，驱动结构则能够驱动悬臂桨移入或移出炉体，从而将舟托移入炉体内或由炉体内取出。
3、为满足承重需求，现有技术中的悬臂桨一般为双桨结构，即，悬臂桨包括两个并列设置的悬臂梁，舟托能够载放于两个悬臂梁上，但由于现有技术中的悬臂桨的两个悬臂梁之间的相对位置无法调节，从而易出现因两个悬臂梁的位姿不满足要求而导致舟托无法稳定地载放于悬臂桨上的问题。
4、因此，上述问题亟待解决。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种舟托输送装置及扩散炉，以保证舟托能够稳定地载放于悬臂桨上。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、本技术一方面提供了一种舟托输送装置，包括：
4、悬臂桨和安装架，所述悬臂桨包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，所述悬臂桨
5、调整机构，固定连接于所述悬臂桨和所述安装架之间，并被配置为调整所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的位姿。
6、作为优选，所述调整机构包括第一调整模块和第二调整模块，所述第一调整模块被配置为调整所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的水平度，所述第二调整模块被配置为调整所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的间距及平行度。
7、作为优选，所述第一调整模块包括第一调整组件和第二调整组件，所述第一调整组件和所述第二调整组件分别设置于所述悬臂桨的上下两侧，并沿所述悬臂桨的轴向间隔排列，所述第一调整组件和所述第二调整组件均能够调整所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的高度。
8、作为优选，所述第一调整组件和所述第二调整组件均包括：
9、第一安装板，所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁均固定连接于所述第一安装板，所述第一调整组件的所述第一安装板位于所述悬臂桨的上方，所述第二调整组件的所述第一安装板位于所述悬臂桨的下方；及
10、第一调节螺丝，沿竖直方向延伸并螺接于所述第一安装板远离所述悬臂桨的一侧，所述第一调节螺丝远离所述第一安装板的一侧还螺接于所述安装架，且所述第一调节螺丝上与所述安装架螺接的位置可调。
11、作为优选，所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁螺接于同一个所述第一安装板。
12、作为优选，所述第二调整模块包括第三调整组件和第四调整组件，所述第三调整组件设置于所述第一悬臂梁背离所述第二悬臂梁的一侧，并能够调整所述第一悬臂梁的直线度及在所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的排列方向上的位置，所述第四调整组件设置于所述第二悬臂梁背离所述第一悬臂梁的一侧，并能够调整所述第二悬臂梁的直线度及在所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的排列方向上的位置。
13、作为优选，所述第三调整组件和所述第四调整组件均包括：
14、至少两个第二安装板，至少两个所述第二安装板沿所述悬臂桨的轴向延伸，所述第三调整组件的至少两个所述第二安装板均固定连接于所述第一悬臂梁，并位于所述第一悬臂梁背离所述第二悬臂梁的一侧，所述第四调整组件的至少两个所述第二安装板均固定连接于所述第二悬臂梁，并位于所述第二悬臂梁背离所述第一悬臂梁的一侧；及
15、第二调节螺丝，沿所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的排列方向延伸并螺接于所述第二安装板远离所述悬臂桨的一侧，所述第二调节螺丝远离所述第二安装板的一侧还螺接于所述安装架，且所述第二调节螺丝上与所述安装架螺接的位置可调。
16、作为优选，所述第一悬臂梁固定连接于所述第一安装板的位置沿所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的排列方向可调，所述第二悬臂梁固定连接于所述第一安装板的位置沿所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的排列方向可调，第一悬臂梁固定连接于所述第二安装板的位置沿竖直方向可调，第二悬臂梁固定连接于所述第二安装板的位置沿竖直方向可调。
17、作为优选，所述第一安装板上设置有第一螺孔和第二螺孔，所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁上分别设置有第三螺孔和第四螺孔，所述第一悬臂梁通过穿过所述第一螺孔和所述第三螺孔的第一固定螺丝与所述第一安装板固定连接，所述第一螺孔和所述第三螺孔中的一个为沿所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的排列方向延伸的条形孔，所述第二悬臂梁通过穿过所述第二螺孔和所述第四螺孔的第二固定螺丝与所述第一安装板固定连接，所述第二螺孔和所述第四螺孔中的一个为沿所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的排列方向延伸的条形孔；
18、所述第二安装板上设置有第五螺孔，所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁上分别设置有第六螺孔和第七螺孔，所述第一悬臂梁通过穿过所述第五螺孔和所述第六螺孔的第三固定螺丝与所述第二安装板固定连接，所述第二悬臂梁通过穿过所述第五螺孔和所述第七螺孔的第四固定螺丝与所述第二安装板固定连接，所述第五螺孔和所述第六螺孔中的一个为沿竖直方向延伸的条形孔，且所述第五螺孔和所述第七螺孔中的一个为沿竖直方向延伸的条形孔。
19、本技术另一方面还提供了一种扩散炉，包括如上述的舟托输送装置。
20、本技术的有益效果：本技术中，调整机构能够调整第一悬臂梁和第二悬臂梁的位姿，从而使得第一悬臂梁和第二悬臂梁的相对位置满足要求，进而保证舟托能够稳定地载放于悬臂桨上。
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1.一种舟托输送装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的舟托输送装置，其特征在于，所述调整机构包括第一调整模块和第二调整模块，所述第一调整模块被配置为调整所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的水平度，所述第二调整模块被配置为调整所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的间距及平行度。
3.根据权利要求2所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一调整模块包括第一调整组件(1311)和第二调整组件(1312)，所述第一调整组件(1311)和所述第二调整组件(1312)分别设置于所述悬臂桨(110)的上下两侧，并沿所述悬臂桨(110)的轴向间隔排列，所述第一调整组件(1311)和所述第二调整组件(1312)均能够调整所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的高度。
4.根据权利要求3所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一调整组件(1311)和所述第二调整组件(1312)均包括：
5.根据权利要求4所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)螺接于同一个所述第
6.根据权利要求4所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第二调整模块包括第三调整组件(1321)和第四调整组件(1322)，所述第三调整组件(1321)设置于所述第一悬臂梁(111)背离所述第二悬臂梁(112)的一侧，并能够调整所述第一悬臂梁(111)的直线度及在所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的排列方向上的位置，所述第四调整组件(1322)设置于所述第二悬臂梁(112)背离所述第一悬臂梁(111)的一侧，并能够调整所述第二悬臂梁(112)的直线度及在所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的排列方向上的位置。
7.根据权利要求6所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第三调整组件(1321)和所述第四调整组件(1322)均包括：
8.根据权利要求7所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一悬臂梁(111)固定连接于所述第一安装板(13111)的位置沿所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的排列方向可调，所述第二悬臂梁(112)固定连接于所述第一安装板(13111)的位置沿所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的排列方向可调，第一悬臂梁(111)固定连接于所述第二安装板(13211)的位置沿竖直方向可调，第二悬臂梁(112)固定连接于所述第二安装板(13211)的位置沿竖直方向可调。
9.根据权利要求8所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一安装板(13111)上设置有第一螺孔(131111)和第二螺孔(131112)，所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)上分别设置有第三螺孔和第四螺孔，所述第一悬臂梁(111)通过穿过所述第一螺孔(131111)和所述第三螺孔的第一固定螺丝(141)与所述第一安装板(13111)固定连接，所述第一螺孔(131111)和所述第三螺孔中的一个为沿所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的排列方向延伸的条形孔，所述第二悬臂梁(112)通过穿过所述第二螺孔(131112)和所述第四螺孔的第二固定螺丝(142)与所述第一安装板(13111)固定连接，所述第二螺孔(131112)和所述第四螺孔中的一个为沿所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的排列方向延伸的条形孔；
10.一种扩散炉，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的舟托输送装置。
...【技术特征摘要】
1.一种舟托输送装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的舟托输送装置，其特征在于，所述调整机构包括第一调整模块和第二调整模块，所述第一调整模块被配置为调整所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的水平度，所述第二调整模块被配置为调整所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的间距及平行度。
3.根据权利要求2所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一调整模块包括第一调整组件(1311)和第二调整组件(1312)，所述第一调整组件(1311)和所述第二调整组件(1312)分别设置于所述悬臂桨(110)的上下两侧，并沿所述悬臂桨(110)的轴向间隔排列，所述第一调整组件(1311)和所述第二调整组件(1312)均能够调整所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的高度。
4.根据权利要求3所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一调整组件(1311)和所述第二调整组件(1312)均包括：
5.根据权利要求4所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)螺接于同一个所述第一安装板(13111)。
6.根据权利要求4所述的舟托输送装置，其特征在于，所述第二调整模块包括第三调整组件(1321)和第四调整组件(1322)，所述第三调整组件(1321)设置于所述第一悬臂梁(111)背离所述第二悬臂梁(112)的一侧，并能够调整所述第一悬臂梁(111)的直线度及在所述第一悬臂梁(111)和所述第二悬臂梁(112)的排列方向上的位置，所述第四调整组件(1322)设置于所述第二悬臂梁(112)背离所述第一悬臂梁(111)的一侧，并能够调整所述第二悬臂梁(112)的直线度及在所述第一悬臂梁(111)和...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，黎忠文，张才琪，
申请(专利权)人：浙江晶盛光子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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