【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，具体涉及一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
2、晶圆在生产线上需要经过数百条工序，因此，在两处工序相交的地方，晶圆需要进行搬运和转运，目前，在生产中，将晶圆片从一处工序转移到另一处工序中时，为了避免损坏，大多采用人工戴上专门的防磨损手套，一片一片转移。该种方法虽然可以部分避免晶圆片的破损，但是耗费人力，且耗时较长，或通过搬运结构将晶圆输送至下一工序，但是加工的场地有限，不可能将一条生产线做成一条直线形式的加工布局，会对加工的环境空间造成极大的浪费，故需要在不同的工序之间设计一些可以形成角度的转运设备。
技术实现思路
1、为克服现有技术的不足，本技术提出一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，包括安装板，所述安装板上通过径向连接件连接有移动板，所述移动板背离径向连接件的一侧设有对晶圆盒进行支撑的支承台，所述移动板与安装板之间还设有与径向连接件配合控制移动板转向以带动支承台转向的转向件。
2、为实现上述目的，通过支承台的作用对晶圆盒进行支撑，通过径向连接件以便于带动移动板和支承台在水平方向上移动，通过转向件的作用，当移动板在水平方向上移动时，移动板和支承台在移动过程中转向，进而带动支承台上的晶圆盒转向，减少了人工搬运转向造成的碰撞损坏或角度出现偏差问题
3、进一步地，所述径向连接件包括固定在安装板上表面的两个相对设置的固定板，两个所述固定板上均转动连接有同步轮，两个所述同步轮上均套设有与同步轮配合的同步带，所述安装板上固定有驱动其中一个同步轮转动的a电机，所述同步带上固定有与移动板固定的连接块，所述安装板上还设有位于同步带旁侧且对移动板的移动起到导向作用的导向件。
4、通过上述技术方案，通过a电机提供动力，以带动同步轮以及与同步轮配合的同步带转动，通过同步带的转动会带动与同步带固定的连接块和移动板在水平方向上移动，通过导向件的作用对移动板在水平方向上的移动起到导向作用。
5、进一步地，所述导向件包括固定在安装板上四个端角处的支座，每两个在水平方向上相邻的支座之间固定有滑轨，所述滑轨的长边方向与安装板的长边方向平行，各个所述滑轨上均固定有滑块，所述滑块背离滑轨的一端与移动板固定。
6、通过上述技术方案，通过滑轨和滑块的配合对移动板的移动起到导向作用。
7、进一步地，所述移动板包括转动连接且由上至下依次布置的圆形板以及底座，所述底座与滑块和连接块固定，所述支承台设置在圆形板上。
8、通过上述技术方案，圆形板和支承台的旋转不影响底座的移动。
9、进一步地，所述转向件包括开设在安装板上表面中间位置的转向槽，所述底座中间位置开设有圆形槽，所述圆形板朝向安装板的一侧固定有阶梯状的凸轮随动器，所述凸轮随动器远离圆形板的一端通过圆形槽穿设底座，所述凸轮随动器穿设出底座的部分延伸至转向槽内且与转向槽滑动连接。
10、通过上述技术方案，当底座在径向连接件的作用下在水平方向上移动时，底座的移动会带动与底座转动连接的圆形板移动，同时会带动与圆形板固定的凸轮随动器在转向槽内滑动，通过转向槽的作用，圆形板和支承台由安装板的一侧移动至另一侧时转向。
11、进一步地，所述圆形板背离底座的一侧通过轴向连接件与支承台连接。
12、通过上述技术方案，通过轴向连接件控制支承台在竖直方向上移动，以举起晶圆盒以及放下晶圆盒。
13、进一步地，所述支承台下表面中间位置固定有立柱，所述轴向连接件包括固定在圆形板背离底座一侧的安装盒，所述安装盒内腔中空，朝向立柱一侧开口，所述安装盒内腔转动连接有螺杆，所述螺杆外通过螺纹套设有滑动块，所述滑动块的一端延伸出安装盒，所述滑动块延伸出安装盒的部分固定有连接座，所述连接座背离安装盒的一侧与立柱固定，所述安装盒顶部固定有驱动螺杆转动的b电机。
14、通过上述技术方案，通过b电机提供动力，通过b电机带动螺杆转动，通过螺杆和滑动块螺纹连接，以便于带动滑动块、与滑动块固定的连接座、与连接座固定的立柱、与立柱固定的支承台在竖直方向上移动。
15、进一步地，所述安装盒朝向连接座的一侧固定有两个相对设置的滑槽，所述连接座通过滑槽盒安装盒滑移连接。
16、通过上述技术方案，通过滑槽和连接座滑移连接，对连接座的移动起到导向作用。
17、综上所述，该基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构具有以下有益效果：
18、(1)该基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，通过支承台的作用对晶圆盒进行支撑，通过径向连接件以便于带动移动板和支承台在水平方向上移动，通过转向件的作用，当移动板在水平方向上移动时，移动板和支承台在移动过程中转向，进而带动支承台上的晶圆盒转向，减少了人工搬运转向造成的碰撞损坏或角度出现偏差问题的可能性。
19、(2)该基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，通过轴向连接件控制支承台在竖直方向上移动，以举起晶圆盒以及放下晶圆盒。
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1.一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，包括安装板(1)，所述安装板(1)上通过径向连接件(2)连接有移动板(3)，所述移动板(3)背离径向连接件(2)的一侧设有对晶圆盒进行支撑的支承台(4)，所述移动板(3)与安装板(1)之间还设有与径向连接件(2)配合控制移动板(3)转向以带动支承台(4)转向的转向件(5)；
2.根据权利要求1所述的一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，所述径向连接件(2)包括固定在安装板(1)上表面的两个相对设置的固定板(201)，两个所述固定板(201)上均转动连接有同步轮(202)，两个所述同步轮(202)上均套设有与同步轮(202)配合的同步带(203)，所述安装板(1)上固定有驱动其中一个同步轮(202)转动的A电机(204)，所述同步带(203)上固定有与移动板(3)固定的连接块(205)，所述安装板(1)上还设有位于同步带(203)旁侧且对移动板(3)的移动起到导向作用的导向件。
3.根据权利要求2所述的一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，所述导向件包括固定在安装板(1)上四个端角处的支座(2
4.根据权利要求1所述的一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，所述圆形板(301)背离底座(302)的一侧通过轴向连接件(6)与支承台(4)连接。
5.根据权利要求4所述的一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，所述支承台(4)下表面中间位置固定有立柱(7)，所述轴向连接件(6)包括固定在圆形板(301)背离底座(302)一侧的安装盒(601)，所述安装盒(601)内腔中空，朝向立柱(7)一侧开口，所述安装盒(601)内腔转动连接有螺杆(602)，所述螺杆(602)外通过螺纹套设有滑动块(603)，所述滑动块(603)的一端延伸出安装盒(601)，所述滑动块(603)延伸出安装盒(601)的部分固定有连接座(604)，所述连接座(604)背离安装盒(601)的一侧与立柱(7)固定，所述安装盒(601)顶部固定有驱动螺杆(602)转动的B电机(605)。
6.根据权利要求5所述的一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，所述安装盒(601)朝向连接座(604)的一侧固定有两个相对设置的滑槽，所述连接座(604)通过滑槽盒安装盒(601)滑移连接。
...【技术特征摘要】
1.一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，包括安装板(1)，所述安装板(1)上通过径向连接件(2)连接有移动板(3)，所述移动板(3)背离径向连接件(2)的一侧设有对晶圆盒进行支撑的支承台(4)，所述移动板(3)与安装板(1)之间还设有与径向连接件(2)配合控制移动板(3)转向以带动支承台(4)转向的转向件(5)；
2.根据权利要求1所述的一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，所述径向连接件(2)包括固定在安装板(1)上表面的两个相对设置的固定板(201)，两个所述固定板(201)上均转动连接有同步轮(202)，两个所述同步轮(202)上均套设有与同步轮(202)配合的同步带(203)，所述安装板(1)上固定有驱动其中一个同步轮(202)转动的a电机(204)，所述同步带(203)上固定有与移动板(3)固定的连接块(205)，所述安装板(1)上还设有位于同步带(203)旁侧且对移动板(3)的移动起到导向作用的导向件。
3.根据权利要求2所述的一种基于凸轮转向的晶圆盒移栽机构，其特征在于，所述导向件包括固定在安装板(1)上四个端角处的支座(206)，每两个在水平方向上相邻的支座(206)之间固定有滑轨(207)，所述滑轨(207)的长边方向与安装板(1)的长边方向平行，...
【专利技术属性】
技术研发人员：周子杰，刘睿杰，
申请(专利权)人：南京华易泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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