【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆生产,具体涉及一种用于真空包装机的上封口装置。
技术介绍
1、晶圆在加工完成后需要将其存放在晶圆盒内,同时为了保证在运输或搬运过程中晶圆不会被污染或损坏,需要用包装袋将晶圆盒包装起来,包装袋要包两层,内层为pe包装袋,外层为铝箔包装袋。而进行包装所用的机台便是真空包装机,包装的主要步骤为:晶圆盒装袋、封口装置压住袋口、抽真空、加热袋口密封、冷却后包装完成。其中第二步是比较重要的步骤,封口装置分为上封口装置与下封口装置,其中下封口装置是固定不动的,上封口装置是活动的,可以上下移动,包装时需要将袋口放置上、下封口装置中间,上封口装置下降后压住下封口装置同时将袋口密封,在保证抽真空的同时也防止加热和冷却时不会发生漏气的问题。
2、在实际包装过程中,将包装袋的袋口放置上、下封口装置中间位置,启动真空包装机后上封口装置开始下降,由于上封口装置内部装有弹簧,当下降至上、下封口装置上的密封胶条接触时会继续下降一段距离,同时将上封口装置内的弹簧压紧,以此达到将袋口密封的目的。但是由于支撑板、弹簧、螺丝套管等均为金属材质,在弹簧压紧的过程中,螺丝套管与支撑板存在接触及相互移动,同时螺丝套管与弹簧也存在接触及相互移动,这些都会产生金属屑,因此会导致产品金属超规的品质异常,而清洁上封口装置也会增加机台的停机时间,同时长时间的磨损也会导致零件的失效而无法使用。
3、因此对真空包装机上封口装置进行进一步的改进,使上封口装置在上下移动的过程中不会产生金属屑,同时增加上封口装置的使用寿命,对于提高产品的品质、降低成本、提
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种用于真空包装机的上封口装置。
2、本技术的目的是以下述技术方案实现的:
3、一种用于真空包装机的上封口装置,包括固定座、水平支撑板、竖直支撑板以及若干个缓冲组件;所述竖直支撑板的上端与所述水平支撑板固定连接;每个所述缓冲组件包括第一螺丝、套设于所述第一螺丝下部的螺丝套管和上部的螺母、以及套设于所述螺丝套管外侧的弹簧;所述第一螺丝底部与所述固定座连接;所述弹簧位于所述水平支撑板和所述固定座之间;
4、所述上封口装置还包括若干个数量与所述缓冲组件相对应的防护套;所述水平支撑板上设有供所述防护套下部穿过的第一通孔,所述防护套的上部直径大于所述第一通孔,所述防护套的内部设有供所述螺丝套管穿过的第二通孔。
5、优选的,所述螺母数量为2个,且上下叠加设置。
6、优选的,所述固定座底部设有密封胶条。
7、优选的,所述竖直支撑板上设有用于与包装机台连接的安装孔。
8、优选的,所述水平支撑板还连接有挡板,所述挡板与所述竖直支撑板平行,且所述挡板与所述竖直支撑板位于所述缓冲组件和所述固定座的相对两侧。
9、优选的,所述挡板通过第二螺丝固定于所述水平支撑板上。
10、优选的,所述螺丝套管与防护套材质均为peek。
11、优选的,所述缓冲组件为6个,沿所述水平支撑板左右对称排列。
12、本申请通过对真空包装机用上封口装置的进一步的改进,避免了现有技术中包装机运行时上封口装置上下移动的过程中产生金属屑的异常现象,有效提高了包装机的包装品质。同时改进后的上封口装置在长时间使用后也不会产生碎屑,明显降低了停机清洁的时间,在提高包装品质的同时也提高了包装机的稼动率。因此本申请所提供的真空包装机上封口装置在半导体晶片的包装工艺中具有较好的实用价值和技术改进意义。
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1.一种用于真空包装机的上封口装置,包括固定座、水平支撑板、竖直支撑板以及若干个缓冲组件;所述竖直支撑板的上端与所述水平支撑板固定连接;每个所述缓冲组件包括第一螺丝、套设于所述第一螺丝下部的螺丝套管和上部的螺母、以及套设于所述螺丝套管外侧的弹簧;所述第一螺丝底部与所述固定座连接;所述弹簧位于所述水平支撑板和所述固定座之间;其特征在于,
2.如权利要求1所述的用于真空包装机的上封口装置,其特征在于,
3.如权利要求1所述的用于真空包装机的上封口装置,其特征在于,
4.如权利要求1所述的用于真空包装机的上封口装置,其特征在于,
5.如权利要求4所述的用于真空包装机的上封口装置,其特征在于,
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8.如权利要求1所述的用于真空包装机的上封口装置,其特征在于,
【技术特征摘要】
1.一种用于真空包装机的上封口装置,包括固定座、水平支撑板、竖直支撑板以及若干个缓冲组件;所述竖直支撑板的上端与所述水平支撑板固定连接;每个所述缓冲组件包括第一螺丝、套设于所述第一螺丝下部的螺丝套管和上部的螺母、以及套设于所述螺丝套管外侧的弹簧;所述第一螺丝底部与所述固定座连接;所述弹簧位于所述水平支撑板和所述固定座之间;其特征在于,
2.如权利要求1所述的用于真空包装机的上封口装置,其特征在于,
3.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴泓明,钟佑生,陈志刚,周军磊,李常存,
申请(专利权)人:郑州合晶硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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