一种基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统技术方案

技术编号:42343214 阅读:4 留言:0更新日期:2024-08-16 14:29
一种基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,包括照明模块、辅助定位模块、切换模块、分析模块以及物镜,照明模块用于进行明场成像;辅助定位模块包括焦点辅助激光器、相机和反射镜组,反射镜组用于将焦点辅助激光器发出的激光反射到样品上、以及收集样品反射的光到相机上成像;切换模块包括可以进行互相切换的成像档位和分析档位,成像档位用于辅助定位模块进行成像;分析模块包括脉冲激光器以及光谱仪,用于在切换模块为分析档位时,根据辅助定位模块以及照明模块的成像对样品进行光谱分析;物镜用于设置在样品前。本申请提供的系统,通过辅助定位模块进行精准定位和调焦,具有定位准确度高,对焦精度高等优势。

【技术实现步骤摘要】

【】本申请涉及样品检测领域,特别涉及一种基于libs的激光焦点辅助寻找系统。


技术介绍

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技术介绍

1、激光诱导击穿光谱技术(laser induced breakdown spectroscopy,libs)是一种通过脉冲激光与物质相互作用产生等离子体,并通过分析等离子体中的光谱来实现对待测物质进行定性和定量分析的方法。libs技术目前正处于快速发展阶段,相较于其他物质判别技术,它具有快速、无接触测量的优点,因此其应用领域也在逐步扩大。但是现有的libs设备中,没有采用光学准确定位方法,无法做到单点识别所需要识别待测物质位置,其次,如果待检测样品的表面凹凸不平,没有光学准确的定位方法的情况时,对样品调焦精度也不够高,无法对样品进行更加准确的分析。

2、因此,有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。


技术实现思路

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技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种基于libs的激光焦点辅助寻找系统,通过辅助定位模块进行精准定位和调焦,具有定位准确度高,对焦精度高等优势。

2、本申请的目的是通过以下技术方案实现:一种基于libs的激光焦点辅助寻找系统,包括:照明模块,用于进行明场成像;

3、辅助定位模块,包括焦点辅助激光器、相机和反射镜组,所述反射镜组用于将所述焦点辅助激光器发出的激光反射到样品上、以及收集样品反射的光到相机上成像;

4、切换模块,包括可以进行互相切换的成像档位和分析档位,所述成像档位用于辅助定位模块进行成像;

5、分析模块,包括脉冲激光器以及光谱仪,用于在切换模块为所述分析档位时,根据辅助定位模块以及照明模块的成像对样品进行光谱分析;以及,

6、物镜,用于设置在样品前。

7、进一步地,所述切换模块包括可活动设置的第一反射镜,所述第一反射镜具有位于成像档位的第一位置和分析档位的第二位置;

8、其中,在所述第一反射镜位于所述第二位置时用于反射样品反射的光至分析模块。

9、进一步地,所述切换模块还包括底座和推拉机构,所述第一反射镜在所述底座上可移动设置,所述推拉结构与所述第一反射镜连接,所述推拉结构推动所述第一反射镜在所述第一位置和所述第二位置之间来回移动。

10、进一步地,所述分析模块包括:

11、透镜组,用于将所述脉冲激光器中射出的平行激光扩束并且准直;

12、第四反射镜,用于反射所述透镜组射出的光;以及,

13、滤光片,设置为反射所述第四反射镜射出的光以及滤掉所述第一反射镜反射的光。

14、进一步地,所述透镜组设置为使所述脉冲激光器发出的激光扩束至与所述物镜的入瞳直径相同。

15、进一步地,所述透镜组包括同轴设置的第一透镜和第二透镜。

16、进一步地,所述分析模块还包括耦合透镜,所述耦合透镜用于通过所述滤光片的光耦合进所述光谱仪的光纤中。

17、进一步地,所述耦合透镜的焦距为50-100mm。

18、进一步地,所述辅助定位模块还包括管镜,所述管镜设置在所述相机的平行光路上。

19、进一步地,所述照明模块包括落射式照明模块。

20、与现有技术相比,本申请具有如下有益效果:当需要对待测物品进行光学检测时,照明模块和辅助定位模块同时进行工作,通过焦点辅助激光器发射的激光、反射镜组和物镜在样品上找到待测点,样品反射的光反射到相机上成像,此时切换模块处于成像档位,帮助辅助定位模块找到待测点和调焦,当焦点辅助激光器发出的激光焦点在相机上成像最小时,即为样品的焦面位置。然后切换模块切换至分析档位,分析模块开始工作,脉冲激光器将激光发射至通过辅助定位模块和照明模块找到的样品焦面位置,然后通过样品表面激发的等离子体发射光谱至光谱仪中进行光学分析。本申请提出的系统,能够随意选择待测点位置进行单点识别,同时具有更高的定位准确度和对焦精度。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述切换模块包括可活动设置的第一反射镜,所述第一反射镜具有位于成像档位的第一位置和分析档位的第二位置;

3.如权利要求2所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述切换模块还包括底座和推拉结构,所述第一反射镜在所述底座上可移动设置,所述推拉结构与所述第一反射镜连接,所述推拉结构推动所述第一反射镜在所述第一位置和所述第二位置之间来回移动。

4.如权利要求2所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述分析模块包括:

5.如权利要求4所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述透镜组设置为使所述脉冲激光器发出的激光扩束至与所述物镜的入瞳直径相同。

6.如权利要求5所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述透镜组包括同轴设置的第一透镜和第二透镜。

7.如权利要求4所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述分析模块还包括耦合透镜,所述耦合透镜用于通过所述滤光片的光耦合进所述光谱仪的光纤中。

8.如权利要求7所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述耦合透镜的焦距为50-100mm。

9.如权利要求2所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述辅助定位模块还包括管镜,所述管镜设置在所述相机的平行光路上。

10.如权利要求1所述的基于LIBS的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述照明模块包括落射式照明模块。

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【技术特征摘要】

1.一种基于libs的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的基于libs的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述切换模块包括可活动设置的第一反射镜,所述第一反射镜具有位于成像档位的第一位置和分析档位的第二位置;

3.如权利要求2所述的基于libs的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述切换模块还包括底座和推拉结构,所述第一反射镜在所述底座上可移动设置,所述推拉结构与所述第一反射镜连接,所述推拉结构推动所述第一反射镜在所述第一位置和所述第二位置之间来回移动。

4.如权利要求2所述的基于libs的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述分析模块包括:

5.如权利要求4所述的基于libs的激光焦点辅助寻找系统,其特征在于,所述透镜组设置为使所述脉冲激光器发...

【专利技术属性】
技术研发人员:兰璐夏炎张超解圳皓章路平
申请(专利权)人:振电苏州医疗科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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