【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及设备方式环境分析系统，具体为一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机设备方式环境分析系统的主要作用是监测和控制镀膜机的工作环境和工艺过程，以确保镀膜质量和设备的稳定运行。
2、现有技术中的真空镀膜机使用时，仅提供一些直接测量的参数可供工作人员进行使用时的参考判断，如压力值、温度值、运行功率以及清洁指针显示的清洁度等，工作人员在接收这些参数时只能粗略判断出当前设备的运行情况，难以对其进一步进行分析以判断设备运行过程的稳定性，并且除此之外还有许多数据需要人工观察得到，如设备接口是否对接准确牢固、镀膜室内装载座是否安装牢固、安全插销是否正确插入以及镀膜室内实际清洁度，会在真空镀膜机实际使用时占用大量时间，因此，需要一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统以方便工作人员直观、快捷地判断真空镀膜机使用时的稳定性和安全性，提升真空镀膜机使用时的效率。
3、为了解决上述缺陷，现提供一种技术方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于为了解决现有真空镀膜机使用时，只能粗略判断出当前设备的运行情况，难以对其进一步进行分析以判断设备运行过程的稳定性，以及许多数据需要人工观察得到的问题，而提出一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统。
3、所述状态判断模块用于接收采集到的各项表观图像数据，各项表观图像数据包括真空镀膜机内部和外部关键点位的表观图像，将各点表观图像与数据库云台中的参照高清图像数据进行比对，判断真空镀膜机运行状态并发现设备异常；
4、所述安全稳定分析模块接收数据采集模块采集的安全性参考数据，安全性参考数据包括定期采集的地图定位数据、内部温度ki、输入电压ui、内部绝对压强pi以及附近安全员数pni，其中i表示记录时刻的序号，i∈[1,n]，i∈n+，n为记录时刻的总次数，n+表示正整数；设定内部温度ki、输入电压ui的正常区间分别为rk、ru，对不属于正常区间rk、ru内的ki、ui进行计数求和得到温压异常个数ct′，再采集内部温度ki、输入电压ui的总数进行计数求和得到温压整体总数ct，代入公式得到温压异值
5、数据库云台还用于储存每个定位数据所对应的当地大气压值pjw，代入公式计算真空镀膜机的真空度pi′，设定一个安全阈值代入公式计算得出真空异值其中jw表示当地的经纬度；
6、将每个安全员分别进行标号记为adp，其中p＝1，2，3......pni，pni为安全员的人数，计算每个安全员adp距离真空镀膜机的距离sp，设置厂区范限制值s′，代入公式计算的得到个体距离差值，进一步筛选得到负距集合和正距集合其中s″为最大距离参考值，将负距集合和正距集合中的元素代入公式计算得到安全员影响参数
7、将安全员影响参数、真空异值、温压异值代入模型计算得出安全稳定系数θaq，其中λ1、λ2、λ3均为设定好的系数；预先设定一个安全稳定系数阈值将θaq与进行比对，当时，生成安全稳定性良好信号；当时，生成安全稳定性异常信号；
8、设有两组参考值集合，分别为集合和集合将两组参考值集合均储存在数据库云台中，其中集合a中各项数据用于工作时的安全稳定性分析，集合b中的各项参数用于停机时的安全稳定性分析，根据状态判断模块输出的运行状态和停止状态指令进行对应调用。
9、作为本专利技术的一种优选实施方式，还包括质量稳定分析模块，质量稳定分析模块内包括运前质稳分析单元；
10、运前质稳分析单元用于获取清洁系数相关数据，其中清洁系数相关数据包括清洁指针转动角度、镀膜室内部的悬浮粒子浓度值、湿度值、温度值以及镀膜室内部高清图像和使用时长，再将清洁指针转动角度记为α，设定相邻的三个角度区间，分别为设定相对应的表显系数ρα，当α位于区间内时，输出ρα＝1，并生成镀膜室污染物较多信号，当α位于区间内时，输出ρα＝2，并生成清洁度一般信号，当α位于区间内时，输出ρα＝3，并生成清洁度良好信号；
11、将悬浮粒子浓度值中pm2.5的浓度值和pm10的浓度值进行归一化处理并取其数值，分别记为h2.5和h10，代入公式计算得到悬浮粒影响系数ρh，其中λ4为设定好的系数；
12、将采集到的真空镀膜机内部的温度值、湿度值进行归一化处理并取其数值，分别标记为μk、μrh，代入公式计算的得到水汽影响系数ρw；
13、将采集到的高清图像集合标记为pt，数据库云台内还储存有镀膜室出厂状态时内部的高清图像集合将两组高清图像集合进行比对，并对直径范围大于阈值的差异区块进行计数得到总计污点数wd，将使用时长以天为单位，不足一天的按一天计算，取其数值记为t，将总计污点数wd和使用时长t，代入公式计算得到实际污点影响系数ρwd，其中λ5、λ6均为设定好的系数；
14、将表显系数、悬浮粒影响系数、水汽影响系数、实际污点影响系数代入数学模型计算得出真空镀膜机镀膜室内部的清洁参数σ。
15、作为本专利技术的一种优选实施方式，质量稳定分析模块内还包括运中质稳分析单元，运中质稳分析单元用于在真空镀膜机运行时，接收质量影响因素数据，其中质量影响因素数据包括定期采集的镀膜室内真空度、气体流量、氩气浓度和真空镀膜机的功率；再对镀膜室内真空度、气体流量、氩气浓度和真空镀膜机的功率进行归一化处理取其数值，并按记录时间排序分别记为pij′、qtj、arj和pj，其中j＝1、2、3……n，n为记录的总次数，代入数学模型计算得到质量影响参数φ，其中δ1、δ2、k1、k2、k3均为设定好的常数因子。
16、作为本专利技术的一种优选实施方式，还包括执行优选终端：
17、执行优选终端接收数据采集模块采集当前在线的安全员参考信息，对各个安全员进行标号，记为adx，x＝1、2、3……m，m为在线安全员的总数，安全员参考信息包括在线安全员的入职时长tx、真空镀膜机设备的目前运行时长在线安全员执行指令的次数nx、在线安全员距离真空镀膜机的距离lx；
18、设在线安全员的设备操作时长为tx，将真空镀膜机设备的目前运行时长和每个安全员的入职时长tx代入公式计算得出每个在线安全员的设备操作时长tx；
19、将设备操作时长tx、在线安全员执行指令的次数nx、在线安全员距离真空镀膜机的距离lx代入公式计算得出每个在线安全员的指令执行优选参数ε，其中ω1、ω2、ω3分别为设备操作时长、在线安全员执行指令的次数和在线安全员距离真空镀膜机距离的权重因子；根据每个在线安全员对应的指令执行优选参数对安全员进行排序本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统，包括用于采集各项所需数据的数据采集模块和用于储存各项参考数据的数据库云台，其特征在于，还包括状态判断模块和安全稳定分析模块：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统，其特征在于，还包括质量稳定分析模块，质量稳定分析模块内包括运前质稳分析单元；
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统，其特征在于，质量稳定分析模块内还包括运中质稳分析单元，运中质稳分析单元用于在真空镀膜机运行时，接收质量影响因素数据，其中质量影响因素数据包括定期采集的镀膜室内真空度、气体流量、氩气浓度和真空镀膜机的功率；再对镀膜室内真空度、气体流量、氩气浓度和真空镀膜机的功率进行归一化处理取其数值，并按记录时间排序分别记为P′ij、QTj、Arj和Pj，其中j＝1、2、3……n，n为记录的总次数，代入数学模型计算得到质量影响参数φ，其中δ1、δ2、k1、k2、k3均为设定好的常数因子。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统，其特征在于，还包括执行优选终端：
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...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统，包括用于采集各项所需数据的数据采集模块和用于储存各项参考数据的数据库云台，其特征在于，还包括状态判断模块和安全稳定分析模块：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统，其特征在于，还包括质量稳定分析模块，质量稳定分析模块内包括运前质稳分析单元；
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用设备方式环境分析系统，其特征在于，质量稳定分析模块内还包括运中质稳分析单元，运中质稳分析单元用于在真空镀膜机运行时，接收质量影响因素数据，其中质量影响因素数据包括定期采集的镀膜室内真空度、气体流量、氩气浓度和真空镀膜机的功率；再对镀膜室内真空度、气体流量、氩气浓度和真空镀膜机的功率进行归一化处理取其数值，并按记录时间排序分别记为p′ij、qtj、a...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱九菊，刘年生，安建昊，唐欢欢，许帮洪，赵剑光，
申请(专利权)人：江苏派莱特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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