【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅制备，尤其涉及用于多晶硅制备的硅芯还原装置。
技术介绍
1、多晶硅是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，在对多晶硅进行生产时，需要使用到多晶硅还原炉，多晶硅还原炉由底盘、混合气体进气管、混合尾气出气管、炉体冷却水进水管炉体冷却水出水管、钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管(另外视孔一般还有冷却水设备，因为视孔一般是石英玻璃也需要冷却，还有一根视孔氢的管道吹扫视孔不然si也要沉积在上面影响视镜的功能)以及其他附属部件组成，为减少设备材质对产品的污染，还原炉体采用306l不锈钢材料制成，每对还原电极分正、负极均匀设置在底盘上，混合气体进气管分为多个喷口均匀设置在底盘上，混合气体尾气的出气口设置在底盘中心位置。
2、在多晶硅还原炉生产完成后，需要将还原钟罩打开，对硅棒进行取出，完成后，需要人工依次将硅芯插入安装孔内，再关闭还原钟罩继续进行生产，但是，硅芯的数量较多，人工依次对硅芯进行安装，效率较低，从而影响了多晶硅的生产效率，因此提供了一种用于多晶硅制备的硅芯还原装置。
技术实现思路
1、基于
技术介绍
存在的技术问题，本专利技术提出了用于多晶硅制备的硅芯还原装置，无需手动依次对硅芯进行安装，从而提高了对硅芯的安装效率，提高了对多晶硅的生产效率。
2、本专利技术提出
3、所述安装机构包括安装盘，所述安装盘的顶端固定连接有活动架，所述安装盘贯通设置有若干与所述安装孔位置相配的插孔，所述安装盘的外圆周开设有若干均匀分布的滑槽，所述滑槽内滑动连接有固定机构，所述安装盘内设置有夹持组件，通过固定机构在滑槽内的位移实现夹持组件对硅芯的夹持。
4、优选地，所述夹持组件包括一端延伸至所述插孔的第一夹块和第二夹块，所述第一夹块和第二夹块与所述安装盘滑动连接，所述安装盘内还滑动连接有第一活动杆和第二活动杆，所述第一活动杆和第二活动杆一端均延伸至所述滑槽内，所述第一活动杆和第二活动杆另一端固定连接有活动板，所述活动板滑动连接于所述安装盘的内部，所述活动板与所述安装盘之间连接有第一弹簧，通过固定机构在滑槽内的位移推动所述第一活动杆和第二活动杆的位移。
5、优选地，所述固定机构包括活动座，所述活动座滑动连接于所述滑槽的内壁，所述滑槽的内壁固定连接有滑块，所述活动座的外壁开设有导向槽，所述滑块位于所述导向槽的内壁，所述滑块在所述导向槽内滑动用于对所述活动座的移动进行导向，所述底座的顶端开设有与所述固定机构相配的凹槽。
6、优选地，所述固定机构还包括有固定槽，所述固定槽开设于所述滑槽的内壁，所述活动座的内部滑动连接有延伸出所述活动座的固定块，所述固定块与所述活动座之间连接有第二弹簧，所述固定块的一端固定连接有连接杆，所述连接杆的一端延伸至所述活动座的外壁并固定连接有位移块。
7、优选地，所述固定块延伸出所述活动座外部的一端设置有斜面，所述固定块的外壁与所述固定槽的内壁相贴合。
8、优选地，所述导向槽的内壁与所述滑块的外壁相贴合，所述导向槽由第一竖槽、斜槽和第二竖槽所组成。
9、优选地，所述安装机构还包括有第一直齿轮，所述第一直齿轮转动连接于所述安装盘的内部并位于所述第一夹块的顶端，所述第一直齿轮的一端固定连接有第二直齿轮，所述第二直齿轮与所述第一活动杆相接触，所述第一活动杆通过所述第一直齿轮和所述第二直齿轮带动所述第一夹块进行移动，所述安装盘的内部位于所述第二夹块的顶端转动连接有第三直齿轮，所述第三直齿轮的一端固定连接有第四直齿轮，所述第四直齿轮与所述第二活动杆相接触，所述第二活动杆通过所述第三直齿轮和所述第四直齿轮带动所述第二夹块进行移动。
10、优选地，所述第一夹块的外壁开设有第一齿槽，所述第一齿槽与所述第一直齿轮相啮合，所述第二夹块的外壁开设有第二齿槽，所述第二齿槽与所述第三直齿轮相啮合。
11、优选地，所述第一活动杆的外壁开设有第三齿槽，所述第三齿槽与所述第二直齿轮相啮合，所述第二活动杆的外壁开设有第四齿槽，所述第四齿槽与所述第四直齿轮相啮合。
12、优选地，所述安装盘的内部开设有供所述活动板进行滑动的活动槽，所述活动板的形状呈方形。
13、本专利技术的有益技术效果：
14、本专利技术通过设置安装机构和固定机构，将硅芯依次放入插孔内，活动架进行移动，活动座向下进行移动，第一夹块和第二夹块相互靠近位移，对硅芯进行夹持固定，安装盘移动带动硅芯进行移动；当将安装盘放在底座上，使得硅芯与安装孔对齐后进入安装孔，同时第一夹块和第二夹块自动对硅芯松开，便于可提前将硅芯安装在安装盘上，之后通过吊机，直接对多个硅芯同步进行安装，无需手动依次对硅芯进行安装，从而提高了对硅芯的安装效率，提高了对多晶硅的生产效率。
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1.用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)顶部设置有若干用于固定硅芯(3)的安装孔(2)，所述底座(1)上端设置有用于夹持硅芯(3)的安装机构(4)；
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述夹持组件包括一端延伸至所述插孔(403)的第一夹块(405)和第二夹块(406)，所述第一夹块(405)和第二夹块(406)与所述安装盘(401)滑动连接，所述安装盘(401)内还滑动连接有第一活动杆(407)和第二活动杆(408)，所述第一活动杆(407)和第二活动杆(408)一端均延伸至所述滑槽(404)内，所述第一活动杆(407)和第二活动杆(408)另一端固定连接有活动板(409)，所述活动板(409)滑动连接于所述安装盘(401)的内部，所述活动板(409)与所述安装盘(401)之间连接有第一弹簧(410)，通过固定机构(5)在滑槽(404)内的位移推动所述第一活动杆(407)和第二活动杆(408)的位移。
3.根据权利要求2所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述固定机构(5)包括
4.根据权利要求3所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述固定机构(5)还包括有固定槽(505)，所述固定槽(505)开设于所述滑槽(404)的内壁，所述活动座(501)的内部滑动连接有延伸出所述活动座(501)的固定块(506)，所述固定块(506)与所述活动座(501)之间连接有第二弹簧(507)，所述固定块(506)的一端固定连接有连接杆(508)，所述连接杆(508)的一端延伸至所述活动座(501)的外壁并固定连接有位移块(509)。
5.根据权利要求4所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述固定块(506)延伸出所述活动座(501)外部的一端设置有斜面，所述固定块(506)的外壁与所述固定槽(505)的内壁相贴合。
6.根据权利要求3所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述导向槽(504)的内壁与所述滑块(503)的外壁相贴合，所述导向槽(504)由第一竖槽(6)、斜槽(7)和第二竖槽(8)所组成。
7.根据权利要求2所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述安装机构(4)还包括有第一直齿轮(411)，所述第一直齿轮(411)转动连接于所述安装盘(401)的内部并位于所述第一夹块(405)的顶端，所述第一直齿轮(411)的一端固定连接有第二直齿轮(412)，所述第二直齿轮(412)与所述第一活动杆(407)相接触，所述第一活动杆(407)通过所述第一直齿轮(411)和所述第二直齿轮(412)带动所述第一夹块(405)进行移动，所述安装盘(401)的内部位于所述第二夹块(406)的顶端转动连接有第三直齿轮(413)，所述第三直齿轮(413)的一端固定连接有第四直齿轮(414)，所述第四直齿轮(414)与所述第二活动杆(408)相接触，所述第二活动杆(408)通过所述第三直齿轮(413)和所述第四直齿轮(414)带动所述第二夹块(406)进行移动。
8.根据权利要求7所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述第一夹块(405)的外壁开设有第一齿槽，所述第一齿槽与所述第一直齿轮(411)相啮合，所述第二夹块(406)的外壁开设有第二齿槽，所述第二齿槽与所述第三直齿轮(413)相啮合。
9.根据权利要求7所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述第一活动杆(407)的外壁开设有第三齿槽，所述第三齿槽与所述第二直齿轮(412)相啮合，所述第二活动杆(408)的外壁开设有第四齿槽，所述第四齿槽与所述第四直齿轮(414)相啮合。
10.根据权利要求2所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述安装盘(401)的内部开设有供所述活动板(409)进行滑动的活动槽，所述活动板(409)的形状呈方形。
...【技术特征摘要】
1.用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)顶部设置有若干用于固定硅芯(3)的安装孔(2)，所述底座(1)上端设置有用于夹持硅芯(3)的安装机构(4)；
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述夹持组件包括一端延伸至所述插孔(403)的第一夹块(405)和第二夹块(406)，所述第一夹块(405)和第二夹块(406)与所述安装盘(401)滑动连接，所述安装盘(401)内还滑动连接有第一活动杆(407)和第二活动杆(408)，所述第一活动杆(407)和第二活动杆(408)一端均延伸至所述滑槽(404)内，所述第一活动杆(407)和第二活动杆(408)另一端固定连接有活动板(409)，所述活动板(409)滑动连接于所述安装盘(401)的内部，所述活动板(409)与所述安装盘(401)之间连接有第一弹簧(410)，通过固定机构(5)在滑槽(404)内的位移推动所述第一活动杆(407)和第二活动杆(408)的位移。
3.根据权利要求2所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述固定机构(5)包括活动座(501)，所述活动座(501)滑动连接于所述滑槽(404)的内壁，所述滑槽(404)的内壁固定连接有滑块(503)，所述活动座(501)的外壁开设有导向槽(504)，所述滑块(503)位于所述导向槽(504)的内壁，所述滑块(503)在所述导向槽(504)内滑动用于对所述活动座(501)的移动进行导向，所述底座(1)的顶端开设有与所述固定机构(5)相配的凹槽(502)。
4.根据权利要求3所述的用于多晶硅制备的硅芯还原装置，其特征在于，所述固定机构(5)还包括有固定槽(505)，所述固定槽(505)开设于所述滑槽(404)的内壁，所述活动座(501)的内部滑动连接有延伸出所述活动座(501)的固定块(506)，所述固定块(506)与所述活动座(501)之间连接有第二弹簧(507)，所述固定块(506)的一端固定连接有连接杆(508)，所述连接杆(508)的一端延伸至所述活动座(501)的外壁并固定连接有位移块(509)。
5.根据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵磊，刘立轩，聂娅玲，李春霞，曹金松，席佳，李林，王竹红，
申请(专利权)人：东华工程科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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