System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种改善TOPCon电池漏电的氧化机台制造技术_技高网

一种改善TOPCon电池漏电的氧化机台制造技术

技术编号:42339657 阅读:5 留言:0更新日期:2024-08-14 16:16
本发明专利技术公开了一种改善TOPCon电池漏电的氧化机台,涉及电池组件优化技术领域,包括聚温箱体,所述聚温箱体的内部固定安装有石英空心内胆,所述聚温箱体的底部固定安装有底置托架,所述聚温箱体的顶部固定安装有顶置盖板,所述底置托架的底部设有数据捕获机构,所述聚温箱体的正表面设有流速控制机构,所述顶置盖板的顶部设有拼接放料机构,机构采用激光反射法结合反应容器物理特性,实时在机台底部构建测量条件,随氧化层厚度增加而间歇改变光路偏移量,准确得到氧化层厚度变化值,当数值即将达到标准范围后,可将信号迅速反馈至设备系统中,逐一关闭对应部件,快速停止反应的进行,保证所处理的每块硅片均符合后续加工要求,避免残次品的产生。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电池组件优化,具体为一种改善topcon电池漏电的氧化机台。


技术介绍

1、topcon电池为太阳能光伏电池(简称光伏电池)用于把太阳的光能直接转化为电能,地面光伏系统大量使用的是以硅为基底的硅太阳能电池,可分为单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池,在能量转换效率和使用寿命等综合性能方面,单晶硅和多晶硅电池优于非晶硅电池。

2、硅片氧化层具有防腐功能,能够抵御酸、碱等化学腐蚀物质的侵蚀,保护芯片内部电路不受损坏,同时硅片氧化层能够降低电子器件内的漏电流,改善芯片的电性能,硅片氧化是制造集成电路中的重要工艺步骤之一,决定着集成电路的质量和性能,因此,制造集成电路首先要保证氧化层的质量。

3、但现有改善topcon电池漏电的氧化机台存在以下不足:

4、氧化机台实际加工基底硅片,过程中氧化层的薄厚分别受到温度和氧分子(水分子)的反应时间的限制,若氧化层过厚需硅片绝缘性和隔离性显著提高,但电子迁移率会受到影响,反之氧化层过薄导致硅片表面保护不足,在后续加工或使用时,容易造成pn结的损坏,增大漏电的概率,现有氧化机台存在的不足分别有:

5、因机台硅片氧化方式多为湿式处理法,过程中氧化层厚度检测只能在机外进行,传统机台本体受自身结构限制,无法自主在机体内对氧化层厚度进行实时监测,因此不能控制残次品产出的数量。

6、由于硅片氧化后自身温度较高,需要在机体内完成冷却,避免温差较大导致本体断裂,然传统机体温度检测方式较为盲目,因空间内部和硅片本体降温速率不一致,且温度检测不能直接作用到硅片本体上,若硅片未达到扯离条件,也会增大本体损伤的概率。

7、所以我们提出了一种改善topcon电池漏电的氧化机台,以便于解决上述中提出的问题。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种改善topcon电池漏电的氧化机台,通过与底置托架相连的数据捕获机构,当硅片在石英空心内胆中反应时,由聚焦镜头实时向硅片一面发射一束单色激光,反射光束由光电探测器接收,并产生光电信号,再由信号处理模块根据光电信号的强度和时间延迟,准确计算出光路偏移量,且光路偏移量与氧化层表面到光电探测器的距离成正比,从而可准确推算出氧化层的厚度,待氧化层即将达到标准范围后,信号可迅速反馈至设备系统,快速控制对应部件的关闭,达到阻止反应进行的目的,以解决上述
技术介绍
提出的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种改善topcon电池漏电的氧化机台,包括聚温箱体,所述聚温箱体的内部固定安装有石英空心内胆,所述聚温箱体的底部固定安装有底置托架,所述聚温箱体的顶部有固定安装有顶置盖板;

3、所述底置托架的底部设有数据捕获机构,所述聚温箱体的正表面设有流速控制机构,所述顶置盖板的顶部设有拼接放料机构;

4、所述数据捕获机构包括一组第一承重架,每个所述第一承重架的外表壁均焊接有定位夹板,一组定位夹板的内表壁之间固定插设有装配托板,所述装配托板的顶部分别固定安装有独立供电模块和一组u型座,所述独立供电模块的外表壁固定安装有接线罩,所述接线罩的内部固定安装有光电探测器,所述独立供电模块与光电探测器电性连接,所述光电探测器的输入端等距安装有一组捕获探头,所述光电探测器的中心处固定安装有第一空心套筒,所述第一空心套筒的内表壁固定插设有发射头,所述发射头与光电探测器电性连接,所述发射头的发射端固定连接有聚焦镜头,所述装配托板的底部分别固定安装有第一加强板和第二加强板,所述第一加强板和第二加强板的底部分别固定安装有信号处理模块和接收模块,一组所述u型座的内表壁之间固定安装有接线护壳,所述接线护壳的内部设有红外测温视窗。

5、优选的,所述接收模块的内部开设有条形槽,且条形槽的内部固定安装有矩形壳套,所述矩形壳套的内部设有可视屏幕。

6、优选的,所述接线罩的外表壁固定安装有接线基座,所述接线基座与光电探测器电性连接,所述接线基座的内部固定连接有一组第一信息线,一组所述第一信息线的输出端均与信号处理模块的接线端相连接,所述信号处理模块的输出端与设备内部排线相连接。

7、优选的,所述接线护壳的外表壁设有接线插槽,所述接线插槽和红外测温视窗电性连接,所述接线插槽的内部固定连接有一组第二信息线,一组所述第二信息线的输出端均与矩形壳套的接线端相连接,所述矩形壳套的输出端与设备内部排线相连接。

8、优选的,所述流速控制机构包括密封板,所述密封板固定安装在聚温箱体的正表面,所述密封板的外表壁固定安装有一组过渡接头,一组所述过渡接头的排气端均贯穿密封板,并与底置托架的内部相连通,每个所述过渡接头的内部均设有电动阀门。

9、优选的,所述聚温箱体的正表面固定安装有一组衔接块,一组所述衔接块的数量与过渡接头相等,每个所述衔接块的外表壁均固定安装有流量控制器,每个所述流量控制器的进气端均固定连接有进气接头,每个所述流量控制器的排气端均固定连通有排气接头,每个所述排气接头的内部均固定连通有输送管道,每个所述输送管道的排气端分别与对应一个过渡接头的外壁一端相连通。

10、优选的,所述拼接放料机构包括矩形框架,所述矩形框架设置在顶置盖板的中心处,所述顶置盖板的顶部固定安装有第二承重架,所述第二承重架的中心处固定安装有第二空心套筒,所述第二空心套筒的内表壁固定插设有电动推杆。

11、优选的,所述电动推杆的轴端固定套设有高温瓷板,所述高温瓷板的底部固定安装有石英对接板,所述石英对接板的底部相连有石英托架,所述石英托架的内壁两侧均设有一组限位条。

12、优选的,所述石英空心内胆的顶部分别开设有外开槽和下料窗口,所述外开槽的内壁尺寸与高温瓷板相适配,所述下料窗口的内壁尺寸与石英对接板相适配。

13、优选的,一组所述第一承重架的顶部均焊接在底置托架的底部,所述聚温箱体的内壁两侧均固定安装有第三加强板,两个所述第三加强板的相对一侧均固定安装有隔温挂板,每个所述隔温挂板的内部均开设有内开凹槽,每个所述内开凹槽的内表壁均固定安装有一组定位架,每组所述定位架的内部均设有高阻电热丝,所述底置托架的底部焊接一组延长架,每两个延长架的外表壁之间依次焊接有一个底托板。

14、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:

15、1、本专利技术通过设置数据捕获机构,硅片置于石英空心内胆中,达到反应后,氧化层持续在硅片表面上形成,随反应时间的增加,氧化层厚度也随之增大,反应过程中,由聚焦镜头处发射单色激光束,可持续照射在硅片一面,因石英空心内胆为石英材料,具备良好通光性,其通光率基本可达到85%-90%,因此可以保证反射光束的准确性,反射光束由光电探测器接收,并产生光电信号,再由信号处理模块根据光电信号的强度和时间延迟,准确计算出光路偏移量,且光路偏移量与氧化层表面到光电探测器的距离成正比,从而可准确推算出氧化层的厚度,机构采用激光反射法结合反应容器物理特性,实时在机台底部构建测量条件,随氧化层厚度增加而间歇改变光路偏移本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:包括聚温箱体(1),所述聚温箱体(1)的内部固定安装有石英空心内胆(2),所述聚温箱体(1)的底部固定安装有底置托架(3),所述聚温箱体(1)的顶部有固定安装有顶置盖板(4);

2.根据权利要求1所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述接收模块(517)的内部开设有条形槽,且条形槽的内部固定安装有矩形壳套(518),所述矩形壳套(518)的内部设有可视屏幕(519)。

3.根据权利要求1所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述接线罩(505)的外表壁固定安装有接线基座(520),所述接线基座(520)与光电探测器(506)电性连接,所述接线基座(520)的内部固定连接有一组第一信息线(521),一组所述第一信息线(521)的输出端均与信号处理模块(512)的接线端相连接,所述信号处理模块(512)的输出端与设备内部排线相连接。

4.根据权利要求1所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述接线护壳(514)的外表壁设有接线插槽(522),所述接线插槽(522)和红外测温视窗(515)电性连接,所述接线插槽(522)的内部固定连接有一组第二信息线(523),一组所述第二信息线(523)的输出端均与矩形壳套(518)的接线端相连接,所述矩形壳套(518)的输出端与设备内部排线相连接。

5.根据权利要求1所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述流速控制机构(6)包括密封板(601),所述密封板(601)固定安装在聚温箱体(1)的正表面,所述密封板(601)的外表壁固定安装有一组过渡接头(602),一组所述过渡接头(602)的排气端均贯穿密封板(601),并与底置托架(3)的内部相连通,每个所述过渡接头(602)的内部均设有电动阀门(608)。

6.根据权利要求5所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述聚温箱体(1)的正表面固定安装有一组衔接块(603),一组所述衔接块(603)的数量与过渡接头(602)相等,每个所述衔接块(603)的外表壁均固定安装有流量控制器(604),每个所述流量控制器(604)的进气端均固定连接有进气接头(605),每个所述流量控制器(604)的排气端均固定连通有排气接头(606),每个所述排气接头(606)的内部均固定连通有输送管道(607),每个所述输送管道(607)的排气端分别与对应一个过渡接头(602)的外壁一端相连通。

7.根据权利要求1所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述拼接放料机构(7)包括矩形框架(701),所述矩形框架(701)设置在顶置盖板(4)的中心处,所述顶置盖板(4)的顶部固定安装有第二承重架(702),所述第二承重架(702)的中心处固定安装有第二空心套筒(703),所述第二空心套筒(703)的内表壁固定插设有电动推杆(704)。

8.根据权利要求7所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述电动推杆(704)的轴端固定套设有高温瓷板(705),所述高温瓷板(705)的底部固定安装有石英对接板(706),所述石英对接板(706)的底部相连有石英托架(707),所述石英托架(707)的内壁两侧均设有一组限位条(708)。

9.根据权利要求8所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述石英空心内胆(2)的顶部分别开设有外开槽(709)和下料窗口(710),所述外开槽(709)的内壁尺寸与高温瓷板(705)相适配,所述下料窗口(710)的内壁尺寸与石英对接板(706)相适配。

10.根据权利要求1所述的改善TOPCon电池漏电的氧化机台,其特征在于:一组所述第一承重架(501)的顶部均焊接在底置托架(3)的底部,所述聚温箱体(1)的内壁两侧均固定安装有第三加强板(10),两个所述第三加强板(10)的相对一侧均固定安装有隔温挂板(11),每个所述隔温挂板(11)的内部均开设有内开凹槽(12),每个所述内开凹槽(12)的内表壁均固定安装有一组定位架(13),每组所述定位架(13)的内部均设有高阻电热丝(14),所述底置托架(3)的底部焊接一组延长架(8),每两个延长架(8)的外表壁之间依次焊接有一个底托板(9)。

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【技术特征摘要】

1.一种改善topcon电池漏电的氧化机台,其特征在于:包括聚温箱体(1),所述聚温箱体(1)的内部固定安装有石英空心内胆(2),所述聚温箱体(1)的底部固定安装有底置托架(3),所述聚温箱体(1)的顶部有固定安装有顶置盖板(4);

2.根据权利要求1所述的改善topcon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述接收模块(517)的内部开设有条形槽,且条形槽的内部固定安装有矩形壳套(518),所述矩形壳套(518)的内部设有可视屏幕(519)。

3.根据权利要求1所述的改善topcon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述接线罩(505)的外表壁固定安装有接线基座(520),所述接线基座(520)与光电探测器(506)电性连接,所述接线基座(520)的内部固定连接有一组第一信息线(521),一组所述第一信息线(521)的输出端均与信号处理模块(512)的接线端相连接,所述信号处理模块(512)的输出端与设备内部排线相连接。

4.根据权利要求1所述的改善topcon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述接线护壳(514)的外表壁设有接线插槽(522),所述接线插槽(522)和红外测温视窗(515)电性连接,所述接线插槽(522)的内部固定连接有一组第二信息线(523),一组所述第二信息线(523)的输出端均与矩形壳套(518)的接线端相连接,所述矩形壳套(518)的输出端与设备内部排线相连接。

5.根据权利要求1所述的改善topcon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述流速控制机构(6)包括密封板(601),所述密封板(601)固定安装在聚温箱体(1)的正表面,所述密封板(601)的外表壁固定安装有一组过渡接头(602),一组所述过渡接头(602)的排气端均贯穿密封板(601),并与底置托架(3)的内部相连通,每个所述过渡接头(602)的内部均设有电动阀门(608)。

6.根据权利要求5所述的改善topcon电池漏电的氧化机台,其特征在于:所述聚温箱体(1)的正表面固定安装有一组衔接块(603),一组所述衔接块(603)的数量与过渡接头(602)相等,每个所述衔接块(603)...

【专利技术属性】
技术研发人员:陆银川黄浩郭拥晋余博
申请(专利权)人:浙江日月光能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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