【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻机，具体涉及一种用于ldi设备的曝光面能量闭环控制方法。
技术介绍
1、在pcb制作领域，无掩膜直写光刻机(ldi)的光刻精度与设备激光器能量精度有很大的关联，激光器出光能量的变化会直接的影响到曝光的精度,而由于激光器的长期使用，激光器的能量衰减是不可避免的，曝光过程中的激光器能量的变化会导致曝光出现明显的偏位问题，进而造成产出pcb无法使用只能报废。
2、现有技术中的ldi设备中，在设备连续曝光一定时间后，或者发生了解析不良的情况才会去使用软件标定功能去进行偏差确认，后续用功率计去对曝光面能量进行测量，去校准激光器的出光能量，这个工作的过程极大地影响了生产效率，不仅会浪费很多的人力，并且影响了生产的时间，造成成本过大的问题，因此这一问题亟需得到解决。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于ldi设备的曝光面能量闭环控制方法，解决现有技术用功率计去对曝光面能量进行测量，去校准激光器的出光能量，影响生产效率，成本过大的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于ldi设备的曝光面能量闭环控制方法，所述方法包括如下步骤：
3、s1：激光器出光经过光路后到达能量采集装置中的能量探头反光镜，经过反光镜衰减功率后到达pd；
4、s2：电流信号传入到信号处理装置中的板卡，通过运算放大器u9a把电流信号转换为电压信号；
5、s3：通过运算放大器u9b进行放大信号后进入模数转化芯片，转为数
6、s4：经过mcu进行5次数据平均值运算后通过串口把数字量信号传入到主控机中，pcb板卡同时接受4个能量探头传回来的数据，满足所有光路被采集到数据；
7、s5：数据处理模块反馈回来的电压是四个值，根据得到的数据拟合出一条线性的曲线，把得到的曲线设置为出厂设置，与出厂值进行比较，当激光器产生衰减时，同样的功率，照射的能量会衰减，此时反馈回来的电压值，也会降低，做一个对比完成自检。
8、优选的，所述步骤s2中的板卡处理并采集能量探头产生的电信号。
9、优选的，所述板卡的运行步骤具体包括程序开始运行之后，进入主循环中，在主循环一直采集能量，并将能量转为数字量，当采集次数大于4次时，将计算采集能量的平均值，将结果保存在数组中，当接收到上位机发送的读取命令时，程序进入中断，将保存在数组中的数据发送给上位机。
10、优选的，所述激光器能量标定检测激光器当前能量和出厂能量差值，当误差超过设定阈值时，进行激光器能量衰减报警，并进行激光器能量补偿。
11、优选的，所述整机调试完成之后，对所有激光器进行能量标定，并设为出厂值，后续能量标定皆以出厂值为比较基准，当机台能量标定与出厂值对比误差超过设定阈值5％时，进行报警提示，并可进行能量补偿。
12、由上述技术方案可知，本专利技术具有如下有益效果：
13、该用于ldi设备的曝光面能量闭环控制方法，通过电流信号传入到信号处理装置中的板卡，通过运算放大器u9a把电流信号转换为电压信号，通过运算放大器u9b进行放大信号后进入模数转化芯片，转为数字量信号，传入到mcu，经过mcu进行5次数据平均值运算后通过串口把数字量信号传入到主控机中，pcb板卡同时接受4个能量探头传回来的数据，满足所有光路被采集到数据，数据处理模块反馈回来的电压是四个值，根据得到的数据拟合出一条线性的曲线，把得到的曲线设置为出厂设置，与出厂值进行比较，当激光器产生衰减时，同样的功率，照射的能量会衰减，此时反馈回来的电压值，也会降低，做一个对比完成自检，实现全自动的校准功能，并且精度很高，解决了现有技术中的ldi设备中，在设备连续曝光一定时间后，或者发生了解析不良的情况才会去使用软件标定功能去进行偏差确认，后续用功率计去对曝光面能量进行测量，去校准激光器的出光能量，这个工作的过程极大地影响了生产效率，不仅会浪费很多的人力，并且影响了生产的时间，造成成本过大的问题。
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1.一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于：所述步骤S2中的板卡处理并采集能量探头产生的电信号。
3.根据权利要求2所述的一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于：所述板卡的运行步骤具体包括程序开始运行之后，进入主循环中，在主循环一直采集能量，并将能量转为数字量，当采集次数大于4次时，将计算采集能量的平均值，将结果保存在数组中，当接收到上位机发送的读取命令时，程序进入中断，将保存在数组中的数据发送给上位机。
4.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于：所述激光器能量标定检测激光器当前能量和出厂能量差值，当误差超过设定阈值时，进行激光器能量衰减报警，并进行激光器能量补偿。
5.根据权利要求1所述的一种用于LD I设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于：所述整机调试完成之后，对所有激光器进行能量标定，并设为出厂值，后续能量标定皆以出厂值为比较基准，当机台能量标定与出厂
...【技术特征摘要】
1.一种用于ldi设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种用于ldi设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于：所述步骤s2中的板卡处理并采集能量探头产生的电信号。
3.根据权利要求2所述的一种用于ldi设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于：所述板卡的运行步骤具体包括程序开始运行之后，进入主循环中，在主循环一直采集能量，并将能量转为数字量，当采集次数大于4次时，将计算采集能量的平均值，将结果保存在数组中，当接收到上位机发送的读取命令时，程序进入...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢佳初，朱会敏，李致樯，郭弘丽，占亚利，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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