【技术实现步骤摘要】
本技术涉及工业溅渡靶材，具体为一种用于检测溅渡靶材中靶材和靶材贴合缺陷的大型水浸靶材超声检测设备。
技术介绍
1、在半导体产品的制程中，为了在基材上形成预定材料的膜层，经常通过溅镀装置利用离子化的气体(电浆)冲击溅镀靶材而释放出预定的粒子，使粒子附着于基材表面而形成所期望的该膜层。
2、为了避免因溅镀靶材中的缺陷影响溅镀制造制程，如何不对靶材造成破坏而完成靶材内部缺陷检测、焊合缺陷检测等，进而从中筛选出不良的溅镀靶材。而且溅镀靶材包括有平面型靶材、圆筒型靶材或异型靶材等多种型式，基于各型式靶材的形状差异，现有溅镀靶材检测机构皆存在有无法通用于各类型(平面型、圆筒形、异型等)溅镀靶材的问题。
技术实现思路
1、本技术的专利技术目的：如何在不破坏靶材表面的条件下，更好的检测靶材和靶材焊接质量，而且尽可能可以检测多种靶材类型，实现环保高效成本低廉的目标。
2、为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：
3、一种水浸靶材超声检测设备，包含水槽、超声检测头、三轴空间位移台，二轴机械位移台，所述三轴空间位移台架设于所述水槽上，所述二轴机械位移台固定在三轴空间位移台，所述超声检测头固定于所述二轴机械位移台上。
4、水槽一侧设有出水孔、进水孔、循环管、溢流管，其中进水孔、循环管和溢流管通过水泵与过滤器连接，水泵将水槽内的介质通过循环管抽至过滤器器内滤除杂质后，再重新循环至水槽内，水槽一侧安有配电柜。
5、所述过滤器的进水管与所述循环管
6、设备以水为耦合剂来检测靶材和靶材与背板的焊接情况，半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准，随着靶材尺寸的增大,对溅射靶材的焊接结合率、平整度等指标也提出了更高的要求。因此通过水作为耦合剂的检测，可以减少误差，保证工件的完整度。
7、一种水浸靶材超声检测设备可以增加设置设备旋转位移轴，圆筒形靶材可以固定到设备旋转位移轴上，随设备旋转位移轴转动，在转动过程中超声检测头可以对其表面进行检测，因为超声检测头只能在上部检测，所以转动的过程可以将检测靶材的下面部分转到上面，从而实现全面检测。
8、设备旋转位移轴可以和靶材支撑件灵活设置，根据需要拆卸安装，提高了设备检测靶材类型的多样性，降低了购买多种检测专用产品的成本。
9、所述三轴空间位移台采用齿轮传动装置，拖链走线，采用三轴伺服系统控制，三轴空间位移台可以将超声探测头快速移动到检测目标物理空间位置的上方。三轴空间位移台起始点安有三个机械限位，防止在超声检测头在移动过程中脱轨。
10、所述超声检测头安装在二轴机械位移台，二轴机械位移台上接有两个伺服电机，二轴机械位移台可以将超声探测头的位置和角度进行微调，可以从不同的位置和角度对靶材进行检测，特别适用于异形表面的靶材。
11、所述超声检测头是专门针对金属靶、陶靶、ito靶、旋转靶等各类靶材自动扫查设备，适用靶材bonding粘接率检测，同时还可以进行靶材内部缺陷检测；不仅对靶材宏观缺陷进行清晰显示和定性分析，同时也可以通过底波的衰减情况对组织性微观缺陷(致密度、弥散型气孔、偏析等)进行定性分析；实现a、b、c、d扫三种成像方式，直观方便的了解靶材缺陷分布情况；高效的扫查和分析：一次扫查，全波储存，多次分析。此设备广泛应用于溅渡靶材的靶材超声检测，设备可实现x轴、y轴、z轴、w轴、r轴联动自动扫查、在实时显示扫查过程中获取图像，超声和扫描数据。
12、二轴机械位移台设置位移转接板，位移转接板上安有两个毛刷调整板，两个毛刷调整板各安装一个毛刷，可以对检测表面进行清洁。
13、所述超声检测头可以设置n个，n为正整数，n个超声检测头可以同时协作检测，可以提高检测效率和质量，n个超声检测头同时检测，检测靶材面积更大，重复检测可以提高检测质量。
14、所述三轴空间位移台可以设置m个，m为正整数，m个三轴空间位移台可以相互协作，当检测靶材检测点较多时，m个三轴空间位移台可以分别设置不同的检测区域，进行协同检测，提高检测的速度。
15、本技术具有的有益效果是：
16、一种水浸靶材超声检测设备，包含水槽、超声检测头、三轴空间位移台，二轴机械位移台，可以通过超声检测头的空间位置角度移动，实现不破坏靶材内部结构，不损害靶材表面的前提下，快速高效的检测出靶材内部是否存在裂纹、夹杂物、孔洞等质量问题，同时可以实现使用一台设备检测多种靶材类型和循环使用介质水的目的，大大提高了检测效率和降低了检测成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，包含水槽、超声检测头、三轴空间位移台，二轴机械位移台，所述三轴空间位移台架设于所述水槽上，所述二轴机械位移台固定在三轴空间位移台上，所述超声检测头固定于所述二轴机械位移台上。
2.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，水槽一侧设有出水孔、进水孔、循环管、溢流管，其中进水孔、循环管和溢流管通过水泵与过滤器连接，水泵将水槽内的介质通过循环管抽至过滤器内滤除杂质后，再重新循环至水槽内，水槽一侧安有配电柜。
3.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，增加设置设备旋转位移轴。
4.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，所述三轴空间位移台采用齿轮传动装置，拖链走线，采用三轴伺服系统控制。
5.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，所述三轴空间位移台起始点安有三个机械限位。
6.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，所述超声检测头安装在二轴机械位移台，二轴机械位移台上接有两个伺服电机。
<...【技术特征摘要】
1.一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，包含水槽、超声检测头、三轴空间位移台，二轴机械位移台，所述三轴空间位移台架设于所述水槽上，所述二轴机械位移台固定在三轴空间位移台上，所述超声检测头固定于所述二轴机械位移台上。
2.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，水槽一侧设有出水孔、进水孔、循环管、溢流管，其中进水孔、循环管和溢流管通过水泵与过滤器连接，水泵将水槽内的介质通过循环管抽至过滤器内滤除杂质后，再重新循环至水槽内，水槽一侧安有配电柜。
3.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，增加设置设备旋转位移轴。
4.根据权利要求1所述的一种水浸靶材超声检测设备，其特征在于，所述三轴空间位移台采用齿轮传动装置，拖链走线，采用三轴伺服系统控制。
【专利技术属性】
技术研发人员：刘文超，王锴健，李玉坤，
申请(专利权)人：诚探北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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