【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及透射电子显微镜(transmission electron microscope，简称tem)测试所用的载网(简称tem载网)领域，尤其涉及的是一种可多区域制样的tem载网。
技术介绍
1、tem载网是透射电子显微镜(简称透射电镜或电镜)最常用的消耗品，其主要用于对样品起加固和支撑作用，在电镜观察时承载被检测样品，tem载网呈圆片状，其通用直径为3mm，目前最常见的tem载网大都采用铜片制作，由于其加工简单、硬度适宜、性价比高等的特点而被广泛应用，所以也常以"铜网"来泛指“载网”，如图1所示，传统的tem载网由一个外环102和连接在该外环102内的载网区域101组成，且该载网区域101是一个连续的区域，只能承载一种样品。
2、同时，tem载网还需要装载在样品杆上，才能移送至tem电子束区域下进行测试，样品杆包括单倾样品杆、双倾样品杆及类似可以承载3mm载网的样品杆；单倾样品杆只能沿一个方向进行倾斜或旋转，分为单倾单载网样品杆和单倾多载网样品杆，结合图2所示，单倾单载网样品杆是指仅能装载一片tem载网的样品杆，结合图3所示，单倾多载网样品杆是指可以装载多片tem载网的样品杆；结合图4所示，而双倾样品杆能够分别沿两个相互垂直的方向进行倾斜或旋转，但双倾样品杆也仅能装载一片tem载网；结合图5和图6所示，单倾样品杆只能够在α方向进行旋转，双倾样品杆则能够在α方向或β方向分别进行旋转。
3、而在tem测试中，旋转样品杆是非常有必要的，因为在晶体样品测试中，经常需要调整样品的角度使晶体样品的晶带轴与电
4、结合图8所示，当电子束透过晶体样品，电子束与晶体样品发生相干作用，产生衍射花样，通过解析衍射花样就可以获知样品的晶体结构；仅有当电子束与晶体样品的晶带轴平行时才能获得有效的衍射花样，然而，在实际制样过程中，将样品承载在tem载网上时，并不是所有样品的晶带轴都能与电子束相平行，由此就需要对tem载网上的样品在α或β方向进行旋转，以使其晶带轴与电子束平行，进而产生有效的衍射花样。
5、但是，传统的tem载网是一个连续的区域，只能承载一种样品，在测试过程中需要频繁进行换样，费时费力费财；而图3中的单倾多载网样品杆在测试时也只能进行α方向的旋转，并不能进行β方向的旋转，这就使得在获得有效衍射花样时调整其晶带轴的操作受到了限制，难以提高多样品的tem测试和分析效率。
6、因此，传统的tem载网还有待改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种可多区域制样的tem载网，可提高多样品的tem测试和分析效率。
2、本专利技术的技术方案如下：一种可多区域制样的tem载网，由内环、外环和载网区域组成，载网区域连接在内环和外环之间，内环与外环之间还连接有至少两根分隔条，将内环与外环之间的载网区域隔断成两个以上的制样区域。
3、所述的可多区域制样的tem载网，其中：所述内环与外环之间连接有两根分隔条，两根分隔条呈一字形位于穿过内环中心的同一直线上，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的两个制样区域。
4、所述的可多区域制样的tem载网，其中：所述内环与外环之间连接有三根分隔条，三根分隔条位于穿过内环中心的不同直线上，且相邻分隔条之间的夹角为120°，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的三个制样区域。
5、所述的可多区域制样的tem载网，其中：所述内环与外环之间连接有四根分隔条，四根分隔条呈十字交叉状位于穿过内环中心的两直线上，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的四个制样区域。
6、所述的可多区域制样的tem载网，其中：所述内环与外环之间连接有五根分隔条，五根分隔条均布在穿过内环中心的不同直线上，且相邻分隔条之间的夹角为72°，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的五个制样区域。
7、所述的可多区域制样的tem载网，其中：所述内环与外环之间连接有六根分隔条，六根分隔条均布在穿过内环中心的三条直线上，且相邻分隔条之间的夹角为60°，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的六个制样区域。
8、所述的可多区域制样的tem载网，其中：所述分隔条由两条平行的连接线组成，两条连接线之间的区域为分隔带，用于隔断不同的制样区域。
9、所述的可多区域制样的tem载网，其中：所述制样区域的表面涂覆有聚乙烯醇缩甲醛膜，聚乙烯醇缩甲醛膜的表面喷涂有碳支持膜。
10、所述的可多区域制样的tem载网，其中：该tem载网为金属材质网，且采用模板蚀刻法制作。
11、所述的可多区域制样的tem载网，其中：该tem载网为非金属材质网，并采用3d打印机制作。
12、与传统的tem载网相比，本专利技术可多区域制样的tem载网的有益效果是：通过分隔条对载网区域进行了隔断分区，由此在制样时就不会造成互相污染，尤其是将该tem载网装载在双倾样品杆上，可以在α和β方向进行旋转，使得样品的晶带轴与电子束平行，以快速获得有效衍射花样，这一点是单倾单载网样品杆和单倾多载网样品杆都无法做到的；并且各个制样区域在进行图案或数字标识后，能够在电镜观察窗口被快速识别，也不会发生混淆，可精准、快速地进行测试工作，极大地提升了多样品的tem测试和分析效率。
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1.一种可多区域制样的TEM载网，其特征在于：由内环、外环和载网区域组成，载网区域连接在内环和外环之间，内环与外环之间还连接有至少两根分隔条，将内环与外环之间的载网区域隔断成两个以上的制样区域。
2.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有两根分隔条，两根分隔条呈一字形位于穿过内环中心的同一直线上，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的两个制样区域。
3.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有三根分隔条，三根分隔条位于穿过内环中心的不同直线上，且相邻分隔条之间的夹角为120°，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的三个制样区域。
4.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有四根分隔条，四根分隔条呈十字交叉状位于穿过内环中心的两直线上，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的四个制样区域。
5.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有五根分隔条，五根分隔条均布在穿
6.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有六根分隔条，六根分隔条均布在穿过内环中心的三条直线上，且相邻分隔条之间的夹角为60°，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的六个制样区域。
7.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：所述分隔条由两条平行的连接线组成，两条连接线之间的区域为分隔带，用于隔断不同的制样区域。
8.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：所述制样区域的表面涂覆有聚乙烯醇缩甲醛膜，聚乙烯醇缩甲醛膜的表面喷涂有碳支持膜。
9.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：该TEM载网为金属材质网，且采用模板蚀刻法制作。
10.根据权利要求1所述的可多区域制样的TEM载网，其特征在于：该TEM载网为非金属材质网，并采用3D打印机制作。
...【技术特征摘要】
1.一种可多区域制样的tem载网，其特征在于：由内环、外环和载网区域组成，载网区域连接在内环和外环之间，内环与外环之间还连接有至少两根分隔条，将内环与外环之间的载网区域隔断成两个以上的制样区域。
2.根据权利要求1所述的可多区域制样的tem载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有两根分隔条，两根分隔条呈一字形位于穿过内环中心的同一直线上，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的两个制样区域。
3.根据权利要求1所述的可多区域制样的tem载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有三根分隔条，三根分隔条位于穿过内环中心的不同直线上，且相邻分隔条之间的夹角为120°，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的三个制样区域。
4.根据权利要求1所述的可多区域制样的tem载网，其特征在于：所述内环与外环之间连接有四根分隔条，四根分隔条呈十字交叉状位于穿过内环中心的两直线上，将内环与外环之间的载网区域隔断成等面积的四个制样区域。
5.根据权利要求1所述的可多区域制样的tem载网，其特征在于：所述内环与外环之间...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟雷，黄希哲，孟跃中，韩东梅，邱钧城，肖敏，王拴紧，黄盛，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：
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