【技术实现步骤摘要】
本技术属于探针,具体为一种便于调节间距的测试探针针座。
技术介绍
1、探针座主要应用于半导体器件的检测,实现对探针的位移微调操作,目前传统探针座调试过程的调试操作方式主要是实现多向调节,这样便能够实现探针座的x轴、x轴以及z轴方向的微调,然而常见探针座的结构在进行微调的时候,结构与结构之间容易发生细微的晃动,这样便会影响到探针对半导体器件的检测,为了能够更加稳定且有效的让探针进行检测,本申请提出了一种便于调节间距的测试探针针座。
技术实现思路
1、为解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术提供如下技术方案:一种便于调节间距的测试探针针座,包括底座,底座的顶部设置有可x轴方向移动的x轴滑动块,在x轴滑动块的顶部设置有可x轴方向移动的l形的y轴滑动块,y轴滑动块竖直部的一端与x轴滑动块连接,在y轴滑动块横直部的一端固定安装有固定板,在固定板的侧面设置有可z轴方向移动的z轴滑动块,y轴滑动块横直部的底部固定连接有支撑杆,支撑杆呈倾斜状,且支撑杆远离y轴滑动块的一端固定连接在固定板的侧面。
2、优选的,底座的顶部且位于x轴滑动块的两侧均开设有第一滑槽,在两个第一滑槽内均固定安装有固定杆,x轴滑动块左右两侧的中间位置处均固定安装有l形的第一衔接杆,两个第一衔接杆竖直部的一端均开设有通口,两个第一衔接杆的竖直端分别延伸至两个第一滑槽内,且两个第一衔接杆一端的通口分别活动套接在相对应的固定杆上。
3、优选的,x轴滑动块前后两侧的靠上位置处均固定安装有定位杆,y轴滑动块竖直部底
4、优选的,固定板的两侧均开设有第二滑槽,在z轴滑动块的两侧均固定安装有第二衔接杆,两个第二衔接杆远离z轴滑动块的一端分别位于固定板两侧的第二滑槽处,在两个第二衔接杆远离z轴滑动块的一端且靠近固定板的侧面均开设有半圆槽,在两个半圆槽内均设置有可旋转的限位球,两个限位球伸出半圆槽的部分分别位于固定板两侧的第二滑槽内并能够在其内部进行滑动。
5、优选的,固定板侧面的截面与z轴滑动块侧面的截面相同。
6、优选的,衔接板可沿着定位杆的方向移动。
7、与现有技术相比,本技术的有益效果是:
8、通过各个结构之间的连接组件,能够使各个结构之间连接的更加牢固,这样在x轴滑动块、y轴滑动块和z轴滑动块在分别进行不同方向的移动时,能够更加稳定的进行调节,从而避免出现结构之间发生细微的晃动,使得针座上安装的探针能够稳定的进行探测试。
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1.一种便于调节间距的测试探针针座,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部设置有可X轴方向移动的X轴滑动块(2),在X轴滑动块(2)的顶部设置有可X轴方向移动的L形的Y轴滑动块(3),所述Y轴滑动块(3)竖直部的一端与X轴滑动块(2)连接,在Y轴滑动块(3)横直部的一端固定安装有固定板(4),在固定板(4)的侧面设置有可Z轴方向移动的Z轴滑动块(5),Y轴滑动块(3)横直部的底部固定连接有支撑杆(6),所述支撑杆(6)呈倾斜状,且支撑杆(6)远离Y轴滑动块(3)的一端固定连接在固定板(4)的侧面。
2.根据权利要求1所述的一种便于调节间距的测试探针针座,其特征在于:所述底座(1)的顶部且位于X轴滑动块(2)的两侧均开设有第一滑槽(7),在两个第一滑槽(7)内均固定安装有固定杆(8),所述X轴滑动块(2)左右两侧的中间位置处均固定安装有L形的第一衔接杆(9),两个第一衔接杆(9)竖直部的一端均开设有通口(10),两个所述第一衔接杆(9)的竖直端分别延伸至两个第一滑槽(7)内,且两个第一衔接杆(9)一端的通口(10)分别活动套接在相对应的固定杆(8)上。
...【技术特征摘要】
1.一种便于调节间距的测试探针针座,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部设置有可x轴方向移动的x轴滑动块(2),在x轴滑动块(2)的顶部设置有可x轴方向移动的l形的y轴滑动块(3),所述y轴滑动块(3)竖直部的一端与x轴滑动块(2)连接,在y轴滑动块(3)横直部的一端固定安装有固定板(4),在固定板(4)的侧面设置有可z轴方向移动的z轴滑动块(5),y轴滑动块(3)横直部的底部固定连接有支撑杆(6),所述支撑杆(6)呈倾斜状,且支撑杆(6)远离y轴滑动块(3)的一端固定连接在固定板(4)的侧面。
2.根据权利要求1所述的一种便于调节间距的测试探针针座,其特征在于:所述底座(1)的顶部且位于x轴滑动块(2)的两侧均开设有第一滑槽(7),在两个第一滑槽(7)内均固定安装有固定杆(8),所述x轴滑动块(2)左右两侧的中间位置处均固定安装有l形的第一衔接杆(9),两个第一衔接杆(9)竖直部的一端均开设有通口(10),两个所述第一衔接杆(9)的竖直端分别延伸至两个第一滑槽(7)内,且两个第一衔接杆(9)一端的通口(10)分别活动套接在相对应的固定杆(8)上。
3.根据权利要求1所述的一种便于调...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵明,
申请(专利权)人:深圳市瑞顺科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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