【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种电容式压力传感器。
技术介绍
1、电容薄膜压力传感器的工作原理是感压薄膜电极在差压作用下产生位移，引起薄膜电极与安置在靠近薄膜固定电极之间距离发生变化，从而改变电容量。电容的变化，转换成信号输出，这样就可以获得待测真空度。电容薄膜压力传感器具有准确度高、稳定性好，能够测量气体的全压力且测量结果与气体成分无关等优点，因此广泛应用于工业生产、真空计量、重大科研仪器等领域的真空度测量。
2、由于使用环境的复杂性，薄膜处于不同的测量气氛中，各种颗粒物会沉积在感压薄膜的表面。随着时间的推移，沉积物逐渐累积在薄膜表面，导致薄膜的重量发生变化，同时有些沉积物会与薄膜发生反应，改变薄膜的一些性质，从而使测量精度的降低。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种电容式压力传感器，用以解决各种颗粒物会沉积在感压薄膜的表面，进而使得测量精度降低的问题。
2、本专利技术提供一种电容式压力传感器，包括：
3、壳体，所述壳体设有容置腔；
4、固定电极和弹性膜片，所述弹性膜片设于所述固定电极，所述弹
5、性膜片能够相对所述固定电极发生形变，所述固定电极和弹性膜片设于所述容置腔内，以将所述容置腔分隔为测量室和参考腔，所述壳体还设有与所述测量室连通的进气通道；
6、污染物阻挡沉积组件，设于所述进气通道内，所述污染物阻挡沉
7、积组件包括导向板以及至少两张层板，每张所述层板沿所述进气通道长度方向依次设置，
8、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，所述层板的数量为两张，靠近所述测量室的所述层板上的通气孔的孔径为5um～50um，远离所述测量室的所述层板上的通气孔的孔径为50um～500um。
9、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，所述导向板的数量为多张，平行设置的多张所述导向板沿与所述进气通道长度方向相垂直方向依次设置。
10、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，所述导向板与远离所述测量室的所述层板之间的夹角为a，0°≤a≤90°，所述导向板与靠近所述测量室的所述层板之间的夹角为b，其中，a+b＝180°。
11、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，所述层板的数量大于等于三张，最底层的所述层板上的所述通气孔的孔径为d1，其余的所述层板上的所述通气孔的孔径均为d2，其中，d1大于d2。
12、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，所述层板的数量为三张，靠近所述测量室的两张所述层板上的通气孔的孔径为5um～50um，远离所述测量室的所述层板上的通气孔的孔径为50um～500um。
13、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，相邻的两张所述层板之间的所述导向板的数量为多张，平行设置的多张所述导向板沿与所述进气通道长度方向相垂直方向依次设置。
14、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，位于相邻两层的所述导向板的朝向相反，且位于相邻两层的所述导向板交错设置。
15、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，所述层板的数量大于等于三张，沿远离所述测量室的方向，多张所述层板上的通气孔的孔径依次增大。
16、根据本专利技术实施例提供的一种电容式压力传感器，最底层的所述层板上的所述通气孔的孔径为50um～500um，其余的所述层板上的所述通气孔的孔径均为5um～50um。
17、本专利技术提供的电容式压力传感器，最底层的层板直接与设备工艺气体接触，导向板呈一定的角度位于相邻的两张层板之间，通过优化设置导向板的倾斜方向与角度、层板的层数和层板上通气孔的孔径，以显著减少沉积在弹性膜片上的沉积物的数量，减缓弹性膜片测量精度降低趋势，延长传感器的使用寿命。
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1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述层板的数量为两张，靠近所述测量室的所述层板上的通气孔的孔径为5um～50um，远离所述测量室的所述层板上的通气孔的孔径为50um～500um。
3.根据权利要求2所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述导向板的数量为多张，平行设置的多张所述导向板沿与所述进气通道长度方向相垂直方向依次设置。
4.根据权利要求2所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述导向板与远离所述测量室的所述层板之间的夹角为a，0°≤a≤90°，所述导向板与靠近所述测量室的所述层板之间的夹角为b，其中，a+b＝180°。
5.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述层板的数量大于等于三张，最底层的所述层板上的所述通气孔的孔径为d1，其余的所述层板上的所述通气孔的孔径均为d2，其中，d1大于d2。
6.根据权利要求5所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述层板的数量为三张，靠近所述测量室的两张所述层板上的通气孔的孔径为5um～50um，远离
7.根据权利要求5所述的电容式压力传感器，其特征在于，相邻的两张所述层板之间的所述导向板的数量为多张，平行设置的多张所述导向板沿与所述进气通道长度方向相垂直方向依次设置。
8.根据权利要求7所述的电容式压力传感器，其特征在于，位于相邻两层的所述导向板的朝向相反，且位于相邻两层的所述导向板交错设置。
9.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述层板的数量大于等于三张，沿远离所述测量室的方向，多张所述层板上的通气孔的孔径依次增大。
10.根据权利要求9所述的电容式压力传感器，其特征在于，最底层的所述层板上的所述通气孔的孔径为50um～500um，其余的所述层板上的所述通气孔的孔径均为5um～50um。
...【技术特征摘要】
1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述层板的数量为两张，靠近所述测量室的所述层板上的通气孔的孔径为5um～50um，远离所述测量室的所述层板上的通气孔的孔径为50um～500um。
3.根据权利要求2所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述导向板的数量为多张，平行设置的多张所述导向板沿与所述进气通道长度方向相垂直方向依次设置。
4.根据权利要求2所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述导向板与远离所述测量室的所述层板之间的夹角为a，0°≤a≤90°，所述导向板与靠近所述测量室的所述层板之间的夹角为b，其中，a+b＝180°。
5.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述层板的数量大于等于三张，最底层的所述层板上的所述通气孔的孔径为d1，其余的所述层板上的所述通气孔的孔径均为d2，其中，d1大于d2。
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘旭强，林立男，陶硕，王迪，
申请(专利权)人：北京晶芯电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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