一种悬臂式探针卡的放置治具制造技术

技术编号:42324222 阅读:7 留言:0更新日期:2024-08-14 16:03
本技术公开了一种悬臂式探针卡的放置治具,涉及探针卡技术领域,包括底座,所述底座的底端固定连接有吸盘,所述底座的顶端固定操作台,且操作台的顶端固定连接有安装筒,所述安装筒的内部活动连接有夹持机构,所述安装筒的外壁开设有一组前后对称的滑槽,且滑槽的内部滑动连接有顶出机构,所述操作台远离安装筒的一侧固定连接有控制钮。本技术通过控制电机进行转动,当电机带动凸轮转动时,凸轮的凸起处会顶住传动杆的底端两侧,从而使其顶端相互靠近,以此来通过连接杆带动夹板之间相互靠近,从而对探针卡进行夹持固定,此时人员即可对探针进行测试检验。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及探针卡,具体是一种悬臂式探针卡的放置治具


技术介绍

1、探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口,主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量,并筛选出不良芯片后,再进行之后的封装工程,探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触,导出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆,它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要,是晶圆造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。

2、现有设备在使用过程中稳定性较差,从而导致在对探针进行检查时给人员带来较大的不便,同时,现有的设备不方便人员进行拿取。为此,我们提供了一种悬臂式探针卡的放置治具解决以上问题。


技术实现思路

1、解决的技术问题

2、本技术的目的就是为了弥补现有技术的不足,提供了一种悬臂式探针卡的放置治具。

3、技术方案

4、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种悬臂式探针卡的放置治具,包括底座,所述底座的底端固定连接有吸盘,所述底座的顶端固定操作台,且操作台的顶端固定连接有安装筒,所述安装筒的内部活动连接有夹持机构,所述安装筒的外壁开设有一组前后对称的滑槽,且滑槽的内部滑动连接有顶出机构,所述操作台远离安装筒的一侧固定连接有控制钮。

5、上述的,所述夹持机构包括电机、凸轮、传动杆、弹簧一、连接杆和夹板,所述电机的输出端固定连接于凸轮的轴心处,所述传动杆设置有左右对称的两个,且弹簧一的两端分别固定连接于传动杆的底端一侧,所述凸轮活动连接于传动杆的底端相对侧,所述连接杆的一端铰接于传动杆的顶端,且连接杆的另一端铰接于夹板的外壁。

6、上述的,所述夹板活动连接于安装筒的顶端内部,所述连接杆活动连接于安装筒的顶端,所述传动杆设置呈l形。

7、上述的,所述电机的固定端固定连接于底座与操作台的内部相对侧,所述凸轮位于弹簧一的正上方,所述电机与控制钮电性连接。

8、上述的,所述顶出机构包括气缸、弹簧二和抬升板,所述气缸的输出端固定连接于抬升板的底端,所述弹簧二设置有左右对称的两个,且弹簧二的一端固定连接于抬升板的底端。

9、上述的,所述气缸位于弹簧二的相对侧,所述抬升板均滑动连接于滑槽的内部,且抬升板的一端贯穿滑槽并延伸至安装筒的内部。

10、上述的,所述气缸的固定端固定连接于操作台的顶端,所述气缸与控制器电性连接。

11、有益效果:

12、与现有技术相比,该一种悬臂式探针卡的放置治具具备如下有益效果:

13、一、本技术通过设置的夹持机构,控制电机进行转动,当电机带动凸轮转动时,凸轮的凸起处会顶住传动杆的底端两侧,从而使其顶端相互靠近,以此来通过连接杆带动夹板之间相互靠近,从而对探针卡进行夹持固定,此时人员即可对探针进行测试检验,当控制凸轮的凸起处远离时,底端的弹簧一会带动夹持机构进行复位,通过此装置可在保证探针卡在使用过程中稳定性的同时,还有效提高设备的适用性,减少人员更换设备零件带来的不便。

14、二、本技术通过设置的顶出机构,当人员需要更换设备时可控制气缸运作,气缸会将抬升板顶起,从而使抬升板在滑槽的内部滑动,使其将夹板上的探针卡顶出安装筒的内部,从而防止人员在拿取过程中导致探针卡损坏的情况,同时也更加方便人员进行拿取更换。

15、本技术的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上,基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的,或者可以从本技术的实践中得到教导。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种悬臂式探针卡的放置治具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的底端固定连接有吸盘(2),所述底座(1)的顶端固定操作台(3),且操作台(3)的顶端固定连接有安装筒(4),所述安装筒(4)的内部活动连接有夹持机构(5),所述安装筒(4)的外壁开设有一组前后对称的滑槽(6),且滑槽(6)的内部滑动连接有顶出机构(7),所述操作台(3)远离安装筒(4)的一侧固定连接有控制钮(8)。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述夹持机构(5)包括电机(501)、凸轮(502)、传动杆(503)、弹簧一(504)、连接杆(505)和夹板(506),所述电机(501)的输出端固定连接于凸轮(502)的轴心处,所述传动杆(503)设置有左右对称的两个,且弹簧一(504)的两端分别固定连接于传动杆(503)的底端一侧,所述凸轮(502)活动连接于传动杆(503)的底端相对侧,所述连接杆(505)的一端铰接于传动杆(503)的顶端,且连接杆(505)的另一端铰接于夹板(506)的外壁。

3.根据权利要求2所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述夹板(506)活动连接于安装筒(4)的顶端内部,所述连接杆(505)活动连接于安装筒(4)的顶端,所述传动杆(503)设置呈L形。

4.根据权利要求2所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述电机(501)的固定端固定连接于底座(1)与操作台(3)的内部相对侧,所述凸轮(502)位于弹簧一(504)的正上方,所述电机(501)与控制钮(8)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述顶出机构(7)包括气缸(701)、弹簧二(702)和抬升板(703),所述气缸(701)的输出端固定连接于抬升板(703)的底端,所述弹簧二(702)设置有左右对称的两个,且弹簧二(702)的一端固定连接于抬升板(703)的底端。

6.根据权利要求5所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述气缸(701)位于弹簧二(702)的相对侧,所述抬升板(703)均滑动连接于滑槽(6)的内部,且抬升板(703)的一端贯穿滑槽(6)并延伸至安装筒(4)的内部。

7.根据权利要求5所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述气缸(701)的固定端固定连接于操作台(3)的顶端,所述气缸(701)与控制器电性连接。

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【技术特征摘要】

1.一种悬臂式探针卡的放置治具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的底端固定连接有吸盘(2),所述底座(1)的顶端固定操作台(3),且操作台(3)的顶端固定连接有安装筒(4),所述安装筒(4)的内部活动连接有夹持机构(5),所述安装筒(4)的外壁开设有一组前后对称的滑槽(6),且滑槽(6)的内部滑动连接有顶出机构(7),所述操作台(3)远离安装筒(4)的一侧固定连接有控制钮(8)。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述夹持机构(5)包括电机(501)、凸轮(502)、传动杆(503)、弹簧一(504)、连接杆(505)和夹板(506),所述电机(501)的输出端固定连接于凸轮(502)的轴心处,所述传动杆(503)设置有左右对称的两个,且弹簧一(504)的两端分别固定连接于传动杆(503)的底端一侧,所述凸轮(502)活动连接于传动杆(503)的底端相对侧,所述连接杆(505)的一端铰接于传动杆(503)的顶端,且连接杆(505)的另一端铰接于夹板(506)的外壁。

3.根据权利要求2所述的一种悬臂式探针卡的放置治具,其特征在于:所述夹板(506)活动连接于安装筒(4)的顶端...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙波波
申请(专利权)人:江苏鹏利芝达恩半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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