喷出装置、控制方法、基板处理装置及物品的制造方法制造方法及图纸

技术编号：42314749 阅读：3 留言：0更新日期：2024-08-14 15:57

本发明专利技术提供喷出装置、控制方法、基板处理装置及物品的制造方法。喷出装置的特征在于，所述喷出装置具有：喷出头，包括喷出喷出液的多个喷出口，经由所述多个喷出口在基板上配置所述喷出液；清洗部，使用粘度与所述喷出液不同的清洗液，对所述多个喷出口露出的喷出面进行清洗；确定部，在所述清洗部清洗了所述喷出面之后，从所述多个喷出口确定出在喷出口内残留有所述清洗液的第一喷出口；以及控制部，使所述喷出头进行预备喷出，以从所述多个喷出口中的由所述确定部确定了的所述第一喷出口喷出第一喷出量的所述喷出液。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及喷出装置、控制方法、基板处理装置及物品的制造方法。

技术介绍

1、近年来，在制造各种功能元件时，尝试着使用喷墨装置(液体喷出装置)在基板上赋予(配置)功能元件的材料来形成图案(图案化)。使用喷墨装置的图案化由于能够进行按需图案化，因此具有材料的使用效率高、由于是非真空工艺所以制造装置比较小型、能够大面积高速地赋予材料等优点。

2、在喷墨装置中，在从喷出口喷出墨等液体(喷出液)的期间(图案化时)或待命时异物附着在喷出口的表面或内部时，有时会发生喷出不良或配置在基板上的墨产生不均匀等不良情况。为了消除该不良情况，考虑使喷出口的表面或内部与清洗液接触而除去异物，但清洗液有可能进入到喷出口的内部而残留。若在喷出口的内部残留有清洗液的状态下喷出墨，则会喷出含有杂质的墨，导致由配置有该墨的基板制造的物品的品质降低。

3、因此，在日本专利第6796498号公报和韩国公开专利公报第10-2011-0012730号中提出了用于抑制清洗液残留在喷出口内部的技术。在日本专利第6796498号公报中，公开了一种使被清洗液(擦拭液)润湿的擦拭器不与喷出口的表面接触且以清洗液不侵入喷出口的移动速度沿着喷出口的表面擦拭的技术。另外，在韩国公开专利公报第10-2011-0012730号中，公开了在使包括多个喷出口的喷出头为负压的状态下浸渍在清洗液中，使清洗液流入喷出口的内部，然后，使喷出头为正压，从喷出口排出清洗液的技术。

技术实现思路

1、专利技术要解决的课题

3、另外，在韩国公开专利公报第10-2011-0012730号所公开的技术中，通过对喷出头所包括的各喷出口施加负压，清洗液流入喷出口的内部，但若全部喷出口的负压不均匀，则流入各喷出口的清洗液的量(流入量)不同。在这种情况下，若从各喷出口排出清洗液，则会从清洗液的流入量少的喷出口或者清洗液没有流入的喷出口与清洗液一起排出(喷出)墨，因此无端消耗墨。

4、本专利技术提供一种有利于包括喷出喷出液的多个喷出口在内的喷出头的预备喷出的技术。

5、用于解决课题的方案

6、作为本专利技术的一方式的喷出装置，其特征在于，所述喷出装置具有：喷出头，包括喷出喷出液的多个喷出口，经由所述多个喷出口在基板上配置所述喷出液；清洗部，使用粘度与所述喷出液不同的清洗液，对所述多个喷出口露出的喷出面进行清洗；确定部，在所述清洗部清洗了所述喷出面之后，从所述多个喷出口确定出在喷出口内残留有所述清洗液的第一喷出口；以及控制部，使所述喷出头进行预备喷出，以从所述多个喷出口中的由所述确定部确定了的所述第一喷出口喷出第一喷出量的所述喷出液。

7、作为本专利技术的另一方式的控制方法，是喷出装置的控制方法，该喷出装置具有包括喷出喷出液的多个喷出口，经由所述多个喷出口在基板上配置所述喷出液的喷出头，其特征在于，所述控制方法具有：在使用与所述喷出液粘度不同的清洗液清洗了所述多个喷出口露出的喷出面后，从所述多个喷出口确定在喷出口内残留有所述清洗液的第一喷出口的工序；以及使所述喷出头进行预备喷出，以从所述多个喷出口中的在所述工序中确定了的所述第一喷出口喷出所述喷出液的工序。

8、作为本专利技术的再一方式的基板处理装置，是处理基板的基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置具有：载台，保持所述基板；以及所述喷出装置，对保持在所述载台上的所述基板喷出喷出液。

9、作为本专利技术的再一方式的物品的制造方法，其特征在于，所述物品的制造方法具有：使用所述基板处理装置向基板喷出喷出液的工序；对喷出有所述喷出液的所述基板进行加工的工序；以及由加工后的所述基板制造物品的工序。

10、本专利技术的进一步的目的或其它的方式在下面参考附图说明的实施方式中阐明。

11、专利技术的效果

12、根据本专利技术，例如能够提供一种有利于包括喷出喷出液的多个喷出口在内的喷出头的预备喷出的技术。

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【技术保护点】

1.一种喷出装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的喷出装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的喷出装置，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的喷出装置，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于，

11.一种控制方法，是喷出装置的控制方法，该喷出装置具有包括喷出喷出液的多个喷出口，经由所述多个喷出口在基板上配置所述喷出液的喷出头，其特征在于，

12.一种基板处理装置，是处理基板的基板处理装置，其特征在于，

13.一种物品的制造方法，其特征在于，

【技术特征摘要】