一种电子级磷化氢充装装置制造方法及图纸

一种电子级磷化氢充装装置，包括通过管线依次连接成品单元A、充装单元B和辅助单元C。成品单元A通过产品总管N0经成品控制总阀T0后分别与成品罐V1、V2连接；充装单元B包括质量流量计M、过滤器L、充装钢瓶、液氮冷肼及精密电子秤；辅助单元C主要包括尾气总管N1、真空总管N2、高纯氮气总管N3、高纯氦气总管N4以及放空总管N5。该装置能安全稳定高效地完成电子级磷化氢的充装。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子级特种气体充装，特别是一种电子级磷化氢充装装置。

技术介绍

1、磷化氢，是一种无机化合物，化学式为ph3，是一种无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体。现有的充装技术是采用传统的工业气体充装技术，即采用增压的方式使磷化氢在气瓶内液化完成充装。传统的方法由于充装时需增压而导致充装过程难以控制，而且危险系数较高，且充装效率较低，充装重量误差较大。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是提供一种电子级磷化氢充装装置，可安全稳定高效地完成电子级磷化氢的充装。

2、为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：

3、一种电子级磷化氢充装装置，包括通过管线依次连接的成品单元a、充装单元b和辅助单元c；

4、成品单元a输入端设有产品总管n0，产品总管n0通过进料总控制阀t0分别与第一成品罐v1和第二成品罐v2输入端连接，第一成品罐v1和第二成品罐v2输出端与充装单元b连接；

5、充装单元b包括通过管线依次连的充装控制总阀t3、质量流量计m、过滤器l以及多个充装控制分阀，每个充装控制分阀对应设有一个充装钢瓶组，充装控制总阀t3输入端与第一成品罐v1和第二成品罐v2输出端连接；

6、辅助单元c包括尾气总管n1、真空总管n2、高纯氮气总管n3、高纯氦气总管n4以及放空总管n5，真空总管n2、高纯氮气总管n3、高纯氦气总管n4以及放空总管n5对应设有控制阀t5、t6、t7和t8。

7、上述的辅助单元c中尾气总管n1、真空总管n2、高纯氮气总管n3以及高纯氦气总管n4与过滤器l的输出端连接，成品单元a、充装单元b和辅助单元c之间设有角式弹簧安全阀t4与尾气总管n1连接。

8、上述的第一成品罐v1和第二成品罐v2输入端设有进料控制阀t01和t02，第一成品罐v1和第二成品罐v2输出端设有出料控制阀t1和t2。

9、上述的第一成品罐v1、第二成品罐v2和出料管线均设有伴冷夹套。

10、上述的充装单元b中各充装控制分阀与对应的充装钢瓶组充装口连接，各充装钢瓶组均设有液氮冷肼且抽真空。

11、上述的充装单元b中包含的充装控制分阀tb1、tb2-1、tb2-2、tb3-1、tb3-2、tb4对应控制充装钢瓶组b1、b2、b3、b4的充装进料，钢瓶组b1、b2、b3、b4中b1与b4为备用充装瓶组。

12、上述的尾气总管n1和放空总管n5均将接入到尾气系统，真空总管n2连接真空系统。

13、尾气总管n1通过管线连接角式弹簧安全阀t4后与成品单元a、充装单元b连接，以此来防止整个充装装置系统压力过载。

14、本技术提供的一种电子级磷化氢充装装置，通过设置成品单元以及充装单元和辅助单元，通过对物料的物理及化学性质的分析，采用管道伴冷、真空处理及液氮冷肼的手段来保证了电子级磷化氢充装的安全、稳定、高效地完成。

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【技术保护点】

1.一种电子级磷化氢充装装置，其特征是：包括通过管线依次连接的成品单元(A)、充装单元(B)和辅助单元(C)；

2.根据权利要求1所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的辅助单元(C)中尾气总管(N1)、真空总管(N2)、高纯氮气总管(N3)以及高纯氦气总管(N4)与过滤器(L)的输出端连接，成品单元(A)、充装单元(B)和辅助单元(C)之间设有角式弹簧安全阀(T4)与尾气总管(N1)连接。

3.根据权利要求2所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的第一成品罐(V1)和第二成品罐(V2)输入端设有进料控制阀T01和T02，第一成品罐(V1)和第二成品罐(V2)输出端设有出料控制阀T1和T2。

4.根据权利要求3所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的第一成品罐(V1)、第二成品罐(V2)和出料管线均设有伴冷夹套。

5.根据权利要求4所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的充装单元(B)中各充装控制分阀与对应的充装钢瓶组充装口连接，各充装钢瓶组均设有液氮冷肼且抽真空。

6.根据权利要求5所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的充装单元(B)中包含的充装控制分阀TB1、TB2-1、TB2-2、TB3-1、TB3-2、TB4对应控制充装钢瓶组B1、B2、B3、B4的充装进料，钢瓶组B1、B2、B3、B4中B1与B4为备用充装瓶组。

7.根据权利要求6所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的尾气总管(N1)和放空总管(N5)均将接入到尾气系统，真空总管(N2)连接真空系统。

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【技术特征摘要】

1.一种电子级磷化氢充装装置，其特征是：包括通过管线依次连接的成品单元(a)、充装单元(b)和辅助单元(c)；

2.根据权利要求1所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的辅助单元(c)中尾气总管(n1)、真空总管(n2)、高纯氮气总管(n3)以及高纯氦气总管(n4)与过滤器(l)的输出端连接，成品单元(a)、充装单元(b)和辅助单元(c)之间设有角式弹簧安全阀(t4)与尾气总管(n1)连接。

3.根据权利要求2所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特征在于，所述的第一成品罐(v1)和第二成品罐(v2)输入端设有进料控制阀t01和t02，第一成品罐(v1)和第二成品罐(v2)输出端设有出料控制阀t1和t2。

4.根据权利要求3所述的一种电子级磷化氢充装装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾靖淞，贺兆波，杨着，夏致远，冯志澳，田坤，卢声，蔡俊霄，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：