【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种高速比公自转真空镀膜转架结构。
技术介绍
1、目前市场上大多数公自转转架的公自速比较低，镀膜过程中工件自转圈数相对较少或转架结构复杂，同时源基距离忽近忽远，工件个体间的镀膜一致性能和每个工件镀膜的成膜质量不能保障。同时转架空间利用率相对较低，一次装夹工件的数量少，易造成膜材的浪费。市场上轴类零件的镀膜过程中，有的往往需要沉积多种镀层，所以有必要设计出一种镀膜转架，能够应用在多种镀膜源存在的镀膜系统中，使工件在有效的镀膜区域进行较多圈的自转从而保证镀膜的质量及均匀性的镀膜，同时在有效的镀膜区域内要求转架可装夹的零件数量尽量多，从而避免浪费镀膜靶材和提高生产效率。
技术实现思路
1、针对上述问题，本专利技术提供了一种整体采用模块化设计，可大幅提高设备的安装和维护效率的高速比公自转真空镀膜转架结构。
2、为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是：一种高速比公自转真空镀膜转架结构，由六部分组成，分别为动力输入装置、转架公转装置、自转一级传动齿轮组、自转二级传动齿轮组、自转三级传动齿轮组和转架自转装置，所述动力输入装置固定安装在真空腔体上，所述动力输入装置通过转架公转装置为工件提供公转及支撑承载，自转一级传动齿轮组、自转二级传动齿轮组、自转三级传动齿轮组共同组成轮系，所述动力输入装置包括真空密封传动装置、驱动齿轮、膜片联轴器、蜗轮减速机、三相异步电机，所述蜗轮减速机输入端与三相异步电机连接，输出端安装有绝缘转接轴套，再通过通过膜
3、所述转架公转装置由转盘支撑座、转盘齿轮、公转传动轴、传动齿轮组成，所述公转传动轴外套装有推力球轴承、两组深沟球轴承，并且在两组深沟球轴承中间安装有轴承隔套，公转传动轴安装于转盘支撑座中，上端面与转盘齿轮固定连接，下轴端与传动齿轮连接靠平键传递动力并用挡圈固定，所述公转传动轴、转盘齿轮、传动齿轮三者组装形成一个刚性整体，所述动力输入装置的驱动齿轮与转盘齿轮组成的齿轮副通过齿轮啮合带动其整体转动；
4、所述自转一级传动齿轮组由一级齿轮、固定座、固定轴组成，所述一级齿轮内孔安装于固定轴上，固定轴固定安装在固定座上，形成一个转动隋轮，所述一级齿轮与传动齿轮相啮合；
5、所述自转二级传动齿轮组由固定板、二级齿轮、二级传动轴、二级传动齿轮、二级固定轴组成，所述二级齿轮与一级齿轮相啮合，所述二级传动轴套装在二级固定轴上并在两端内孔设有二级深沟球轴承，二级传动轴两端分别固定有二级齿轮和二级传动齿轮，二级固定轴锁紧于固定板上；
6、所述自转三级传动齿轮组由三级齿轮、三级传动轴、三级传动齿轮组成，所述三级齿轮与二级传动齿轮相啮合，所述三级传动轴两端分别固定三级齿轮和三级传动齿轮并在其内孔安装有三级深沟球轴承；
7、所述转架自转装置由自转齿轮、自转传动轴、自转固定座组成，所述自转齿轮与三级传动齿轮相啮合，自转固定座内圈安装有自转深沟球轴承，所述自转传动轴一端安装有自转齿轮靠平键传递动并用紧定螺栓固定，另一端开有设用于安装工件工装的u型槽，从转盘齿轮上的开孔处穿出。
8、进一步的，所述真空密封传动装置中套有绝缘垫圈再安装固定于真空腔体底板上，通过附加有绝缘套的螺栓固定于真空腔体底面。
9、进一步的，所述真空密封传动装置侧边连接有偏压接入线。
10、进一步的，所述转盘支撑座安装在真空腔体底板上，转盘支撑座与真空腔体底板之间设置转盘绝缘垫圈，并由附加有转盘绝缘套的螺栓固定。
11、进一步的，所述自转一级传动齿轮组整体通过螺栓固定于自转二级传动齿轮组的固定板上。
12、进一步的，所述自转二级传动齿轮组在固定板下方安装有二级绝缘垫并固定于真空腔体底板上。
13、进一步的，所述自转三级传动齿轮组整体套装于转架公转装置的转盘支撑座外圈上，通过套装在公转传动轴外的推力球轴承、两组深沟球轴承与转架公转装置互不干涉转动。
14、由上述对本专利技术结构的描述可知，和现有技术相比，本专利技术具有如下优点：
15、1、本专利技术转架结构整体采用模块化设计，可大幅提高设备的安装和维护效率，转架整体结构更加紧凑，工件装载量大，可同时安装多组工件挂架，多工件进行同时镀膜，提高镀膜效率。
16、2、在自转转动中引入多级齿轮组，提高公自转速比，且传动比可依据需要自行设计，这样工件在公转一圈的情况下能达到较多圈数的自转，重点是满足公转小角度范围内的多圈自转，实现工件进入镀膜区域后进行多次自传镀膜，大大提高三维工件镀膜均匀性，该结构确保每个工件在公自转镀膜过程中，每次经过镀膜源时的源基距保持一致，避免源基距离忽近忽远，既保障了个体间的镀膜一致性能又提高了每个工件镀膜的成膜质量。
17、3、工件偏压安装更加简洁且安全可靠，确保产品镀层的牢固性，提高镀膜质量，多处使用绝缘垫圈、绝缘套，引入绝缘转接轴套，有效保证真空腔体与转架的整体绝缘。
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1.一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：由六部分组成，分别为动力输入装置(A)、转架公转装置(B)、自转一级传动齿轮组(C)、自转二级传动齿轮组(D)、自转三级传动齿轮组(E)和转架自转装置(F)，所述动力输入装置(A)固定安装在真空腔体(G)上，所述动力输入装置(A)通过转架公转装置(B)为工件提供公转及支撑承载，自转一级传动齿轮组(C)、自转二级传动齿轮组(D)、自转三级传动齿轮组(E)共同组成轮系，所述动力输入装置(A)包括真空密封传动装置(A1)、驱动齿轮(A2)、膜片联轴器(A5)、蜗轮减速机(A7)、三相异步电机(A8)，所述蜗轮减速机(A7)输入端与三相异步电机(A8)连接，输出端安装有绝缘转接轴套(A6)，再通过通过膜片联轴器(A5)与真空密封传动装置(A1)输入轴连接，所述真空密封传动装置(A1)输出端固定安装驱动齿轮(A2)；
2.根据权利要求1所述一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：所述真空密封传动装置(A1)中套有绝缘垫圈(A3)再安装固定于真空腔体(G)底板上，通过附加有绝缘套(A4)的螺栓固定于真空腔体(G)底面。>
3.根据权利要求1所述一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：所述真空密封传动装置(A1)侧边连接有偏压接入线(A9)。
4.根据权利要求1所述一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：所述转盘支撑座(B1)安装在真空腔体(G)底板上，转盘支撑座(B1)与真空腔体(G)底板之间设置转盘绝缘垫圈(B9)，并由附加有转盘绝缘套(B10)的螺栓固定。
5.根据权利要求1所述一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：所述自转一级传动齿轮组(C)整体通过螺栓固定于自转二级传动齿轮组的固定板(D1)上。
6.根据权利要求1所述一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：所述自转二级传动齿轮组(D)在固定板(D1)下方安装有二级绝缘垫(D7)并固定于真空腔体(G)底板上。
7.根据权利要求1所述一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：所述自转三级传动齿轮组(E)整体套装于转架公转装置的转盘支撑座(B1)外圈上，通过套装在公转传动轴(B3)外的推力球轴承(B5)、两组深沟球轴承(B6)与转架公转装置(B)互不干涉转动。
...【技术特征摘要】
1.一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：由六部分组成，分别为动力输入装置(a)、转架公转装置(b)、自转一级传动齿轮组(c)、自转二级传动齿轮组(d)、自转三级传动齿轮组(e)和转架自转装置(f)，所述动力输入装置(a)固定安装在真空腔体(g)上，所述动力输入装置(a)通过转架公转装置(b)为工件提供公转及支撑承载，自转一级传动齿轮组(c)、自转二级传动齿轮组(d)、自转三级传动齿轮组(e)共同组成轮系，所述动力输入装置(a)包括真空密封传动装置(a1)、驱动齿轮(a2)、膜片联轴器(a5)、蜗轮减速机(a7)、三相异步电机(a8)，所述蜗轮减速机(a7)输入端与三相异步电机(a8)连接，输出端安装有绝缘转接轴套(a6)，再通过通过膜片联轴器(a5)与真空密封传动装置(a1)输入轴连接，所述真空密封传动装置(a1)输出端固定安装驱动齿轮(a2)；
2.根据权利要求1所述一种高速比公自转真空镀膜转架结构，其特征在于：所述真空密封传动装置(a1)中套有绝缘垫圈(a3)再安装固定于真空腔体(g)底板上，通过附加有绝缘套(a4)的螺栓固定于真空腔体(g)底面。
【专利技术属性】
技术研发人员：曲永鹏，刘杰波，陈志伟，李志达，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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