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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及生产异型管的领域,尤其是涉及一种异型管生产工艺及其生产设备。
技术介绍
1、集成电路需要硅片作为原料制作微型电路,硅片作为中间产品,生产过程中需要经过气体镀膜工艺对硅片进行镀膜操作,该过程需要将硅片排列在支架上,放入管中进行镀膜。
2、气体镀膜技术是一种在真空或低气压环境下对物体进行镀膜的方法,在真空环境下,将镀膜材料支撑气体,在硅片表面产生化学反应,形成一层均匀、致密和具有特定性质的薄膜,气体镀膜技术可以用来保护硅片表面,并且增强硅片耐磨性、耐腐蚀性、导电性等,气体镀膜技术的镀膜质量与实际镀膜空间的利用率有关,镀膜空间的利用率越高,镀膜效果越好。
3、参照图1,目前的支架6包括底座61以及四个连接杆62,底座61包括两个交错焊接的钢筋,四个连接杆62分别与两个钢筋的两端一一对应,连接杆62的长度垂直于两个钢筋构成的平面,连接杆62焊接于钢筋上,需要进行气体镀膜的硅片位于四个连接杆62之间并沿连接杆62的长度方向间隔设置,支架6用于放置于镀膜空间利用率较高的异形管7内,异形管7包括圆柱管71以及四个弧形片72,四个弧形片72沿圆柱管71的轴线周向分布,弧形片72的长度方向平行于圆柱管71的轴线方向,弧形片72固定设置于圆柱管71的侧壁上,弧形片72与圆柱管71连通,弧形片72与圆柱管71构成镀膜空间,弧形片72供连接杆62容纳。
4、由于硅片的尺寸不同,因此所需异形管的直径不同,现在急需一种能够生产不同直径异形管的设备。
技术实现思路
2、第一方面,本申请提供的一种异型管的生产设备,采用如下的技术方案:
3、一种异型管的生产设备,包括机架、用于将圆柱管侧壁开设安装槽的切割组件以及用于将圆弧片安装至圆柱管上的安装组件以及夹持组件,所述切割组件以及所述安装组件均设置于所述机架上,所述夹持组件包括夹持座以及两个用于夹持圆柱管的端面夹持件,所述夹持座沿所述切割组件至所述安装组件的方向滑移连接于所述机架上,所述端面夹持件沿圆柱管的长度方向分布,所述端面夹持件包括夹持气缸、伸入管、气泵以及四个顶块,所述伸入管的长度方向平行于圆柱管的长度方向,所述伸入管沿所述伸入管的长度方向滑移连接于所述夹持座上,四个所述顶块沿所述伸入管的轴线周向分布,所述顶块沿所述伸入管的径向方向滑移连接于所述伸入管的侧壁上,所述伸入管的两端密封设置,所述气泵用于向所述伸入管内通气,所述夹持气缸用于带动所述伸入管进入圆柱管内。
4、通过采用上述技术方案,工作人员将圆柱管放置于两个端面夹持件之间,之后工作人员通过驱动夹持气缸,夹持气缸的活塞杆伸长,使得伸入管穿入圆柱管内,之后工作人员启动气泵,气泵向伸入管内供气,伸入管的气压增加,四个顶块在伸入管内气压的作用下将朝远离伸入管轴线的方向移动,直至顶块抵接于圆柱管的内侧壁,之后工作人员将夹持座依次通过切割组件以及安装组件,切割组件用于将圆柱管的侧壁开设安装槽,安装组件用于将弧形片安装至圆柱管的安装槽处,通过端面夹持件实现了可夹持不同直径的圆柱管,异形管生产设备适用异型管的范围。
5、可选的,所述伸入管的一端转动连接于所述夹持气缸的活塞杆上,所述夹持组件还包括带动伸入管转动的转动件,所述转动件包括转动盘、拨动杆以及转动电机,所述转动盘与所述伸入管同轴设置,所述转动盘转动连接于所述夹持座上,所述转动盘沿所述伸入管的长度方向滑移连接于所述伸入管上,所述转动盘上开设有四个拨动槽,四个所述拨动槽沿所述转动盘的轴线周向分布,所述拨动槽沿所述转动盘的径向方向延伸,所述转动电机设置于所述夹持座上,所述拨动杆设置于所述转动电机上,所述拨动杆与所述拨动槽配合带动所述转动盘转动。
6、通过采用上述技术方案,切割组件对圆柱管表面进行切割,由于支架共有四个连接杆,圆柱管表面需安装四个弧形片,圆柱管表面需开设四个安装槽,当圆柱管被夹持组件送至切割组件的工位时,工作人员可启动转动电机,转动电机带动拨动杆绕转动电机的输出轴转动,拨动杆转动会与转动盘上的拨动槽配合,拨动杆带动转动盘转动,每当驱动电机转动一周时,转动盘转动90°,在转动电机无法带动转动盘转动时,切割组件即可对圆柱管进行开槽处理,圆柱管的转动和圆柱管的表面开槽处理交错进行,大大提高了设备的工作效率。
7、可选的,所述转动件还包括限位盘,所述限位盘设置于所述转动电机的输出轴上,所述转动盘上设置有四个限位槽,四个所述限位槽与四个拨动槽交错设置,所述限位槽用于与所述限位盘的弧形侧壁配合,所述限位盘上开设有避让槽,所述避让槽用于避让转动过程中的转动盘。
8、通过采用上述技术方案,在拨动杆带动转动盘转动时,转动盘转动,此时限位盘的避让槽用于避让转动盘,当拨动杆脱离转动盘的拨动槽时,此时限位槽与限位盘相互配合,转动盘无法转动,以确保被夹持的圆柱管无法随意转动,提高了夹持组件的夹持精度。
9、可选的,所述夹持组件还包括用于穿入安装槽的定位件,所述定位件包括定位盘、四个定位块、带动盘、四个配合杆以及定位电机,所述定位盘与所述伸入管同轴设置,所述定位盘设置于所述伸入管背离所述夹持气缸的一端上,所述带动盘与所述定位盘同轴设置,所述带动盘转动连接于所述定位盘上,四个所述定位块沿所述定位盘的轴线周向分布,所述定位块沿所述定位盘的径向方向滑移连接于所述定位盘上,四个所述配合杆与四个所述定位块一一对应,所述配合杆的一端转动连接于所述定位块上,所述配合杆的另一端转动连接于所述带动盘上,所述定位电机用于带动所述带动盘转动。
10、通过采用上述技术方案,当圆柱管完成开设四个安装槽后,夹持组件会带动圆柱管进入到安装组件的工位上,此时工作人员可驱动定位电机,定位电机会带动带动盘转动,带动盘带动四个配合杆转动,四个配合杆将四个定位块沿定位盘的径向方向滑移,四个定位块朝远离定位盘轴线方向移动,四个定位块与四个安装槽一一对应,四个定位块穿出圆柱管,后续弧形片的内弧面可根据定位块定位在圆柱管上,提高弧形片的安装精度,定位件结构简单,便于工作人员操作。
11、可选的,所述切割组件包括龙门架、横向移动件、纵向移动件以及切割激光头,所述横向移动件包括横向螺杆以及横向电机,所述龙门架设置于所述机架上,所述横向螺杆的长度方向平行于所述圆柱管的长度方向,所述横向螺杆转动连接于所述横向轨道上,所述横向电机用于带动所述横向螺杆转动,所述横向螺杆用于带动所述纵向移动件沿圆柱管的长度方向移动,所述切割激光头设置于所述纵向移动件上,所述纵向移动件用于带动所述激光切割头朝垂直于圆柱管的长度方向移动。
12、通过采用上述技术方案,当圆柱管在夹持组件的带动下进入到切割组件所在的工位处时,工作人员可启动切割组件对圆柱管进行切割处理,横向电机会带动横向螺杆转动,横向螺杆带动纵向移动件以及切割激光头一并沿着圆柱管的长度方向移动,而纵向移动件可带动圆柱管沿圆柱管的径向方向移动,使得圆柱管的侧壁上开设一个安装槽本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种异型管的生产设备,其特征在于:包括机架(1)、用于将圆柱管(71)侧壁开设安装槽(73)的切割组件(2)、用于将圆弧片安装至圆柱管(71)上的安装组件(3)以及夹持组件(4),所述切割组件(2)以及所述安装组件(3)均设置于所述机架(1)上,所述夹持组件(4)包括夹持座(41)以及两个用于夹持圆柱管(71)的端面夹持件(42),所述夹持座(41)沿所述切割组件(2)至所述安装组件(3)的方向滑移连接于所述机架(1)上,所述端面夹持件(42)沿圆柱管(71)的长度方向分布,所述端面夹持件(42)包括夹持气缸(421)、伸入管(422)、气泵(423)以及四个顶块(424),所述伸入管(422)的长度方向平行于圆柱管(71)的长度方向,所述伸入管(422)沿所述伸入管(422)的长度方向滑移连接于所述夹持座(41)上,四个所述顶块(424)沿所述伸入管(422)的轴线周向分布,所述顶块(424)沿所述伸入管(422)的径向方向滑移连接于所述伸入管(422)的侧壁上,所述伸入管(422)的两端密封设置,所述气泵(423)用于向所述伸入管(422)内通气,所述夹持气缸(421)用
2.根据权利要求1所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述伸入管(422)的一端转动连接于所述夹持气缸(421)的活塞杆上,所述夹持组件(4)还包括带动伸入管(422)转动的转动件(43),所述转动件(43)包括转动盘(431)、拨动杆(432)以及转动电机(433),所述转动盘(431)与所述伸入管(422)同轴设置,所述转动盘(431)转动连接于所述夹持座(41)上,所述转动盘(431)沿所述伸入管(422)的长度方向滑移连接于所述伸入管(422)上,所述转动盘(431)上开设有四个拨动槽(436),四个所述拨动槽(436)沿所述转动盘(431)的轴线周向分布,所述拨动槽(436)沿所述转动盘(431)的径向方向延伸,所述转动电机(433)设置于所述夹持座(41)上,所述拨动杆(432)设置于所述转动电机(433)上,所述拨动杆(432)与所述拨动槽(436)配合带动所述转动盘(431)转动。
3.根据权利要求2所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述转动件(43)还包括限位盘(434),所述限位盘(434)设置于所述转动电机(433)的输出轴上,所述转动盘(431)上设置有四个限位槽(437),四个所述限位槽(437)与四个拨动槽(436)交错设置,所述限位槽(437)用于与所述限位盘(434)的弧形侧壁配合,所述限位盘(434)上开设有避让槽(438),所述避让槽(438)用于避让转动过程中的转动盘(431)。
4.根据权利要求3所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述夹持组件(4)还包括用于穿入安装槽(73)的定位件(44),所述定位件(44)包括定位盘(441)、四个定位块(442)、带动盘(443)、四个配合杆(444)以及定位电机(445),所述定位盘(441)与所述伸入管(422)同轴设置,所述定位盘(441)设置于所述伸入管(422)背离所述夹持气缸(421)的一端上,所述带动盘(443)与所述定位盘(441)同轴设置,所述带动盘(443)转动连接于所述定位盘(441)上,四个所述定位块(442)沿所述定位盘(441)的轴线周向分布,所述定位块(442)沿所述定位盘(441)的径向方向滑移连接于所述定位盘(441)上,四个所述配合杆(444)与四个所述定位块(442)一一对应,所述配合杆(444)的一端转动连接于所述定位块(442)上,所述配合杆(444)的另一端转动连接于所述带动盘(443)上,所述定位电机(445)用于带动所述带动盘(443)转动。
5.根据权利要求1所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述切割组件(2)包括龙门架(21)、横向移动件(22)、纵向移动件(23)以及切割激光头(24),所述横向移动件(22)包括横向螺杆(221)以及横向电机(222),所述龙门架(21)设置于所述机架(1)上,所述横向螺杆(221)的长度方向平行于所述圆柱管(71)的长度方向,所述横向螺杆(221)转动连接于所述龙门架(21)上,所述横向电机(222)用于带动所述横向螺杆(221)转动,所述横向螺杆(221)用于带动所述纵向移动件(23)沿圆柱管(71)的长度方向移动,所述切割激光头(24)设置于所述纵向移动件(23)上,所述纵向移动件(23)用于带动所述切割激光头(24)朝垂直于圆柱管(71)的长度方向移动。
6.根据权利要求5所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述安装组件(3)包括焊接件(3...
【技术特征摘要】
1.一种异型管的生产设备,其特征在于:包括机架(1)、用于将圆柱管(71)侧壁开设安装槽(73)的切割组件(2)、用于将圆弧片安装至圆柱管(71)上的安装组件(3)以及夹持组件(4),所述切割组件(2)以及所述安装组件(3)均设置于所述机架(1)上,所述夹持组件(4)包括夹持座(41)以及两个用于夹持圆柱管(71)的端面夹持件(42),所述夹持座(41)沿所述切割组件(2)至所述安装组件(3)的方向滑移连接于所述机架(1)上,所述端面夹持件(42)沿圆柱管(71)的长度方向分布,所述端面夹持件(42)包括夹持气缸(421)、伸入管(422)、气泵(423)以及四个顶块(424),所述伸入管(422)的长度方向平行于圆柱管(71)的长度方向,所述伸入管(422)沿所述伸入管(422)的长度方向滑移连接于所述夹持座(41)上,四个所述顶块(424)沿所述伸入管(422)的轴线周向分布,所述顶块(424)沿所述伸入管(422)的径向方向滑移连接于所述伸入管(422)的侧壁上,所述伸入管(422)的两端密封设置,所述气泵(423)用于向所述伸入管(422)内通气,所述夹持气缸(421)用于带动所述伸入管(422)进入圆柱管(71)内。
2.根据权利要求1所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述伸入管(422)的一端转动连接于所述夹持气缸(421)的活塞杆上,所述夹持组件(4)还包括带动伸入管(422)转动的转动件(43),所述转动件(43)包括转动盘(431)、拨动杆(432)以及转动电机(433),所述转动盘(431)与所述伸入管(422)同轴设置,所述转动盘(431)转动连接于所述夹持座(41)上,所述转动盘(431)沿所述伸入管(422)的长度方向滑移连接于所述伸入管(422)上,所述转动盘(431)上开设有四个拨动槽(436),四个所述拨动槽(436)沿所述转动盘(431)的轴线周向分布,所述拨动槽(436)沿所述转动盘(431)的径向方向延伸,所述转动电机(433)设置于所述夹持座(41)上,所述拨动杆(432)设置于所述转动电机(433)上,所述拨动杆(432)与所述拨动槽(436)配合带动所述转动盘(431)转动。
3.根据权利要求2所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述转动件(43)还包括限位盘(434),所述限位盘(434)设置于所述转动电机(433)的输出轴上,所述转动盘(431)上设置有四个限位槽(437),四个所述限位槽(437)与四个拨动槽(436)交错设置,所述限位槽(437)用于与所述限位盘(434)的弧形侧壁配合,所述限位盘(434)上开设有避让槽(438),所述避让槽(438)用于避让转动过程中的转动盘(431)。
4.根据权利要求3所述的一种异型管的生产设备,其特征在于:所述夹持组件(4)还包括用于穿入安装槽(73)的定位件(44),所述定位件(44)包括定位盘(441)、四个定位块(442)、带动盘(443)、四个配合杆(444)以及定位电机(445),所述定位盘(441)与所述伸入管(422)同轴设置,所述定位盘(441)设置于所述伸入管(422)背离所述夹持气缸(421)的一端上,所述带动盘(443)与所述定位盘(441)同轴设置,所述带动盘(443)转动连接于所述定位盘(441)上,四个所述定位块(442)沿所述定位盘(441)的轴线周向分布,所述定位块(442)沿所述定位盘(441)的径向方向滑移连接于所述定位盘(441)上,四个所述配合杆(444)与四个所述定位块(442)一一对应,所述配合杆(444)的一端转动连接于所述定位块(442)上,所述配合杆(444)的另一端转动连接于所述带动盘(443)上,所述定位电机(445)用于带动所述带动盘(443)转...
【专利技术属性】
技术研发人员:王卫良,李士昌,刘超平,曹飞,
申请(专利权)人:盛吉盛精密制造绍兴有限公司,
类型:发明
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