一种晶体生长引晶装置制造方法及图纸

技术编号:42301495 阅读:4 留言:0更新日期:2024-08-14 15:49
本技术公开了一种晶体生长引晶装置,包括安装板,所述安装板上安装有壳体,所述壳体的顶部安装有盖板,所述盖板上转动连接有活动座,所述活动座的顶部安装有电动推杆,所述电动推杆的输出轴贯穿活动座并预期滑动连接,所述活动座的底部固定有固定架。相较于现有技术,本技术通过重量传感器在晶体生长过程中进行晶体的质量测量,利用电动推杆通过花键杆带动晶体夹运动,同时设置电机、蜗杆和蜗轮带动花键套转动,利用花键套带动花键杆和晶体夹,使晶体夹进行晶体生长作业,在晶体生长过程中可以完成引晶、缩颈、放肩、等径生长和收尾的作业,装置结构简单,在晶体生长过程中,使用非常方便。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及引晶装置,尤其涉及一种晶体生长引晶装置


技术介绍

1、晶体是在物相转变的情况下形成的。公告号为cn210657220u的中国专利“一种晶体生长引晶装置”提出了利用重量感应器对晶体进行称重,用以提高晶体生长的品质。

2、在实施上述申请的实施例过程中,发现至少存在如下缺陷:

3、由于减震支架设置在重量感应器与波纹管之间,将重量感应器与波纹管进行隔离,进而隔离波纹管震动和弹力的影响,但是减震支架的本身会对重量感应器的检测结果产生影响,会影响重量感应器的检测精度,使用存在一定的不足,为此我们提出一种晶体生长引晶装置。


技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种晶体生长引晶装置。

2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:

3、一种晶体生长引晶装置,包括安装板,所述安装板上安装有壳体,所述壳体的顶部安装有盖板,所述盖板上转动连接有活动座,所述活动座的顶部安装有电动推杆,所述电动推杆的输出轴贯穿活动座并预期滑动连接,所述活动座的底部固定有固定架,所述固定架上固定有花键套,所述花键套贯穿壳体并与其滑动连接,所述花键套内安装有花键杆,所述花键杆与电动推杆的输出轴之间安装有重量传感器,所述花键杆贯穿花键套并连接有晶体夹。

4、优选的,所述活动座、花键套和花键杆为同轴心,所述花键杆与花键套为滑动连接。

5、优选的,所述花键套上固定套接有蜗轮,所述壳体的侧面安装有电机,所述电机的输出轴插入壳体的内部并连接有蜗杆。

6、优选的,所述蜗轮与蜗杆为啮合传动。

7、优选的,所述安装板通过螺栓固定在坩埚的顶部,所述盖板通过卡扣安装在壳体的顶部。

8、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

9、本技术通过重量传感器在晶体生长过程中进行晶体的质量测量,利用电动推杆通过花键杆带动晶体夹运动,同时设置电机、蜗杆和蜗轮带动花键套转动,利用花键套带动花键杆和晶体夹,使晶体夹进行晶体生长作业,在晶体生长过程中可以完成引晶、缩颈、放肩、等径生长和收尾的作业,装置结构简单,在晶体生长过程中,使用非常方便。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶体生长引晶装置,包括安装板(1),其特征在于,所述安装板(1)上安装有壳体(2),所述壳体(2)的顶部安装有盖板(4),所述盖板(4)上转动连接有活动座(5),所述活动座(5)的顶部安装有电动推杆(6),所述电动推杆(6)的输出轴贯穿活动座(5)并预期滑动连接,所述活动座(5)的底部固定有固定架(8),所述固定架(8)上固定有花键套(9),所述花键套(9)贯穿壳体(2)并与其滑动连接,所述花键套(9)内安装有花键杆(10),所述花键杆(10)与电动推杆(6)的输出轴之间安装有重量传感器(7),所述花键杆(10)贯穿花键套(9)并连接有晶体夹(11)。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长引晶装置,其特征在于,所述活动座(5)、花键套(9)和花键杆(10)为同轴心,所述花键杆(10)与花键套(9)为滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶体生长引晶装置,其特征在于,所述花键套(9)上固定套接有蜗轮(12),所述壳体(2)的侧面安装有电机(13),所述电机(13)的输出轴插入壳体(2)的内部并连接有蜗杆(14)。

4.根据权利要求3所述的一种晶体生长引晶装置,其特征在于,所述蜗轮(12)与蜗杆(14)为啮合传动。

5.根据权利要求1所述的一种晶体生长引晶装置,其特征在于,所述安装板(1)通过螺栓固定在坩埚的顶部,所述盖板(4)通过卡扣安装在壳体(2)的顶部。

...

【技术特征摘要】

1.一种晶体生长引晶装置,包括安装板(1),其特征在于,所述安装板(1)上安装有壳体(2),所述壳体(2)的顶部安装有盖板(4),所述盖板(4)上转动连接有活动座(5),所述活动座(5)的顶部安装有电动推杆(6),所述电动推杆(6)的输出轴贯穿活动座(5)并预期滑动连接,所述活动座(5)的底部固定有固定架(8),所述固定架(8)上固定有花键套(9),所述花键套(9)贯穿壳体(2)并与其滑动连接,所述花键套(9)内安装有花键杆(10),所述花键杆(10)与电动推杆(6)的输出轴之间安装有重量传感器(7),所述花键杆(10)贯穿花键套(9)并连接有晶体夹(11)。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长...

【专利技术属性】
技术研发人员:毋俊颖黄志强洪杨
申请(专利权)人:福州致卓晶体光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1