用于将基板引入处理室的系统和方法技术方案

提供了一种用于将基板引入处理室的系统和方法。半导体或平板显示器的制造设备的台面上是否存在基板可以通过用于加载和卸载基板抬升销来确定，从而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂状态或错误加载状态可以被检测。闸门阀的开闭也可以被确定，并且可以在闸门阀关闭时防止将基板引入处理室。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板处理系统，特别涉及用在基板处理系统中以方便传送基板的监视 系统。
技术介绍
平板显示器可包括液晶显示器、等离子显示板、有机发光二极管以及其它类似器 件。这些平板显示器可以利用包括处理室、加载锁定真空室和传送室的真空处理设备来制 造。 处理室处理基板的表面，例如，通过在真空中使用等离子、热能或类似物而进行蚀 刻处理。加载锁定真空室从外侧接收未处理基板，并将处理后的基板排放到外侧，同时在大 气状态和真空状态之间进行交替。当将基板引入处理室和由处理室排放时，传送室可以用 作中间保持地点。为此，传送室可以布置在处理室和加载锁定真空室之间。正确排序和传 送基板进出处理室，对于确保正确处理基板和防止基板在传送过程中受损是重要的。附图说明 下面将参照附图描述本专利技术的实施方式，在附图中以相同的附图标记表示类似的 元件。在附图中 图1A和1B是代表性处理室的剖视图，其中图1A示出了抬升销的升高状态，图1B 示出了抬升销的降低状态； 图2A和2B是图1A和1B中所示代表性处理室中安置的基板的俯视图，其中图2A 示出了基板的破裂状态，图2B示出了基板的错误加载状态； 图3是用于制造平板显示器的代表性设备的俯视图； 图4是处理室的剖视图，根据这里在广泛意义上描述的第一实施方式的利用抬升 销判断是否存在基板的装置可被采用于此； 图5是图4中的部分'A'的放大图； 图6是根据这里在广泛意义上描述的第二实施方式的利用抬升销判断是否存在 基板的装置的局部剖视图； 图7是根据这里在广泛意义上描述的第三实施方式的利用抬升销判断是否存在 基板的装置的局部剖视图； 图8是根据这里在广泛意义上描述的一个实施方式的通过利用抬升销判断是否 存在基板的装置来引入基板并且检测所引入基板状态的方法的流程图； 图9是处理室的剖视图，其中根据这里在广泛意义上描述的第四实施方式的利用 抬升销判断是否存在基板的装置可被采用于此； 图IOA和10B是图9中的部分'B'的放大图，其中图10A示出了抬升销不发生位 移的状态，图10B示出了抬升销发生位移的状态； 图IIA和IIB是根据这里在广泛意义上描述的第五实施方式的利用抬升销判断是 否存在基板的装置的剖视图； 图12A-12D是代表性位移检测装置的剖视图，其可被用在图9所示的利用抬升销 判断是否存在基板的装置中； 图13A-13D是各种位移检测装置的剖视图，它们可被用在图ll所示的利用抬升销 判断是否存在基板的装置中； 图14是用于通过图9或图11中所示的利用抬升销判断是否存在基板的装置来引 入基板并且检测所引入基板状态的方法的流程图； 图15是平板显示器制造设备的剖视图，其中，根据这里在广泛意义上描述的第六 实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置可被采用于此； 图16是图15所示的闸门阀检测装置的放大图； 图17是图15所示的闸门阀检测装置的沿着箭头A'所示的方向所作的剖视图； 图18是根据这里在广泛意义上描述的第七实施方式的用于判断闸门阀开闭的装 置的局部剖视图； 图19是根据这里在广泛意义上描述的第八实施方式的用于判断闸门阀开闭的装 置的局部剖视图； 图20是根据这里在广泛意义上描述的第九实施方式的用于判断闸门阀开闭的装 置的局部剖视图；以及 图21是代表性传送机器人的透视图。 具体实施例方式下面参看本专利技术的各种实施方式，它们的例子显示在附图中。尽可能地在所有附 图和说明书中用相同的附图标记表示相同或相似的部件。 图1A和1B是代表性实施方式的处理室的剖视图。处理室可包括室ll，其在侧壁 中具有闸门缝(gate slit)llg，以使得基板可以被引入室ll或从室ll排出，安装于室ll 的上部区域中的上侧电极组件12，安置在上侧电极组件12下面的下侧电极组件13，安装于 下侧电极组件13中的多个抬升销14，以及同时升降所述多个抬升销14的抬升机构15。如 有必要，闸门缝和闸门阀也可以配备给传送室和/或加载锁定真空室。 闸门缝llg可以通过闸门阀llv而被开闭。待处理基板可以布置在下侧电极组件 13的上表面或"台面"上。抬升机构15可包括销板16，其上固定着相应抬升销14的下端， 以及以滚珠丝杠驱动方式升降销板16的滚珠丝杠17和电机18。 为将基板引入处理室，在加载锁定真空室(未示出)中处于待用状态的传送机器 人(未示出)可被致动。基板可以被保持在下侧电极组件13(以下称作"台面")上方，如 显示于图1A，并且抬升销14可以通过抬升机构15而被抬升。然后，当抬升销14被充分抬 升后，传送机器人可以将基板安置在升高的抬升销14上并移出室11，并且抬升销14可以被 降低。如显示于图1B，一旦被完全降低，抬升销14即完全撤入台面13中并且不再突伸到台 面13的上表面上方，而基板由台面13支撑。 当基板的表面处理完成后，抬升销14可以被抬升以从台面13升高基板，传送机器 人的臂可以移动到基板下面的位置。之后，随着抬升销14下降，基板可以在传送机器人移 出室11时支靠在传送机器人的臂上，以从室11排放基板。在如前所述的处理室中，连续引 入基板容易持续进行，除非处理过程被手工中断。因此，如果基板被引入室11中以便处理， 并且另一基板已经安置在室11处，则传送机器人的臂和先前引入的基板可能相互干涉，有 可能损坏一或两个基板。 为了解决这一问题，室11可包括检测窗(未示出)，以允许从外侧观察室11的内 部。然而，室11的内部可能照明不佳，或未照明，因此可能难以确实地证实基板是否存在于 室11中。另外，每次为将被引入室11的新基板实施视频检测室11的内部以检查基板是否 存在是耗时的并且可能导致制造过程缓慢。 如果不执行视频检测，或检测不精确，基板可能会在破裂状态下被引入室11，如显 示于图2A，或者，取决于传送机器人的状态，所引入的基板可能被错误地加载，如显示于图 2B。如果破裂或错位的基板被引入室ll，处理操作可能被实施于最终被废弃的基板。 图3是用于制造平板显示器的代表性设备的俯视图，所述设备可包括加载锁定真 空室(load lock chamber) l，具有闸门缝22和闸门阀24的处理室(process chamber) 2， 传送室3，传送机器人4，和导向件5。传送机器人4可包括机器人本体42，其在驱动装置产 生的驱动力作用下沿着导向件5移动，以及手部44，其配备给机器人本体42，以接收将被传 送的基板。 为将基板引入处理室2以便处理，闸门阀24可以被打开以敞开闸门缝22。传送 机器人4可以被加载锁定真空室1中的基板加载并沿着导向件5朝向处理室2移动，并且 可以通过闸门缝22进入处理室2。然后，传送机器人4可以卸载基板并且返回至传送室3。 在处理过程中，闸门阀24和闸门缝22可以保持关闭。 如前所述，当将基板引入处理室2时，闸门阀24需要被打开以敞开闸门缝22。然 而，如果闸门阀24由于例如故障或误操作而保持关闭，则由于如前所述设备的构造和检测 能力，这种状态可能不被识别出来。因此，通过传送机器人4而被传送进入处理室2的基板 可能碰撞到闸门阀24，有可能损坏基板、传送机器人4和/或闸门阀24。 为解决这些问题，如显示于图4和5，处理室可包括室51，其可以提供真空空间以 用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种与用于处理基板的处理室一起使用的装置，所述装置包括：闸门阀传感器，其被构造成检测用于打开或关闭处理室中开口的闸门阀的位置并且输出相应的信号；判断装置，其被构造成从闸门阀传感器接收信号，以判断闸门阀处于相对于处理室中开口的打开还是关闭位置，并且输出相应的信号；以及通知装置，其被构造成从所述判断装置接收信号，并且提供闸门阀位置的视频和声频指示中的至少一种。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李仁宅，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]