【技术实现步骤摘要】
本技术涉及研磨液加工相关，尤其涉及一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱。
技术介绍
1、研磨液主要用于半导体晶圆的机械抛光，其主要成分为二氧化硅，其特性容易发生沉积并产生结晶，并对晶圆产生刮伤，因此研磨液供应系统需求供应管路内的液体一直保持流动状态，才不会产生结晶，若管路内液体停止流动时间超过一定时间，则需要停机对管路进行清洗。若后续需增加下游的供应机台，则需要进行二次分配阀箱的扩展，此时需将系统停下，将供应管路切开，再将二次分配阀箱加到供应管路中。
2、经过海量检索，发现现有技术公开号为cn219798855u，公开了一种研磨液混配取样阀箱，包括取样箱，所述取样箱内水平设置有固定板和防溅板，固定板和防溅板将取样箱内部的箱体空间从上往下分隔成用以容纳取样支管上的控制阀门的第一腔室、用以放置取样瓶的第二腔室和用以收集飞溅出的废液的第三腔室，所述取样支管从取样箱的顶部伸入第一腔室并穿过固定板后伸入放置在防溅板上的取样瓶内。通过在研磨液供应设备内部设置本申请的研磨液混配取样阀箱，不仅可以收集取样过程中飞溅的液体，避免取样瓶底部积液，而且也能对研磨液混配过程中不同阶段的管路内的液体配比进行监测，从而保证研磨液的混配精度和混配效率。
3、目前主流研磨液系统二次分配阀箱，若需新增至主管路，需将系统停下，将供应管路切开，再将二次分配阀箱加到供应管路中。此种方式需将供应系统完全停下，因停机时间较久，二次阀箱增加完成后还需对管路进行清洗(停机时间较久产生结晶)，耗时耗力，对产能的影响较大。
4、有鉴于上述的
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱。
2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
3、一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，包括主阀箱和至少一个分配阀箱；
4、在主阀箱的左侧顶部安装有供应管路，在主阀箱的左侧底部安装有排液管路，位于主阀箱内的供应管路和排液管路之间连接有主阀箱回流管路；
5、进入到主阀箱内的供应管路继续进入到右侧的分配阀箱内，进入到主阀箱内的排液管路继续进入到右侧的分配阀箱内，位于分配阀箱内的供应管路和排液管路之间连接有分配阀箱回流管路；
6、在主阀箱回流管路上安装有主阀箱回流阀，位于主阀箱和分配阀箱之间的供应管路上安装有供应阀，位于主阀箱和分配阀箱之间的排液管路上安装有排液阀，在分配阀箱回流管路上安装有分配阀箱回流阀。
7、作为本技术的进一步改进，主阀箱或分配阀箱包括阀箱本体，在阀箱本体顶部的一侧设置有排气管道。
8、作为本技术的进一步改进，在排气管道上安装有排气阀和泄漏传感器。
9、作为本技术的进一步改进，在阀箱本体内侧的顶部安装有至少一个液位传感器。
10、作为本技术的进一步改进，在阀箱本体的底部安装有振荡装置。
11、作为本技术的进一步改进，振荡装置为超声波发生器。
12、借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
13、本技术通过二次分配阀箱的改进，方便实现阀箱内研磨液的二次分配，改善当前二次分配阀箱作业耗时耗力的状况。
14、本技术的分配阀箱可进行拓展，进而适用于多种分配阀箱之间的分配使用，适用性范围较广。
15、本技术通过振荡装置与排气管道的协同配合，可以将研磨液中的气泡进行排出，减少气泡对后续研磨液加工的影响。
16、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，包括主阀箱(1)和至少一个分配阀箱(2)；
2.如权利要求1所述的一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，其特征在于，所述主阀箱(1)或分配阀箱(2)包括阀箱本体(11)，在所述阀箱本体(11)顶部的一侧设置有排气管道(13)。
3.如权利要求2所述的一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，其特征在于，在所述排气管道(13)上安装有排气阀和泄漏传感器。
4.如权利要求2所述的一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，其特征在于，在所述阀箱本体(11)内侧的顶部安装有至少一个液位传感器(12)。
5.如权利要求2所述的一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，其特征在于，在所述阀箱本体(11)的底部安装有振荡装置(14)。
6.如权利要求5所述的一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，其特征在于，所述振荡装置(14)为超声波发生器。
【技术特征摘要】
1.一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，包括主阀箱(1)和至少一个分配阀箱(2)；
2.如权利要求1所述的一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，其特征在于，所述主阀箱(1)或分配阀箱(2)包括阀箱本体(11)，在所述阀箱本体(11)顶部的一侧设置有排气管道(13)。
3.如权利要求2所述的一种易于扩展的研磨液供应系统二次分配阀箱，其特征在于，在所述排气管道(13)上安装有排气阀和泄漏传感器...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐有佩，
申请(专利权)人：苏州凯米科机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。