【技术实现步骤摘要】
本专利技术提出了一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置及方法，涉及加热，具体涉及cvd真空炉载气管道自控温热辅助。
技术介绍
1、电磁感应加热技术是一种直接非接触式加热方式。该技术以交变电流为基础，交变电流产生交变磁场，磁场内金属导体通过磁力线时，产生感应电流，此时的导体相当于一个闭合回路，也称涡流。涡流作用于导体表面时，会使金属内部电子异常活跃，相互摩擦而升温。电磁感应加热技术热转化率较高，最高可达95％。电磁感应加热技术目前也应用到了各种领域，例如：专利cn213073151u中，将电磁感应技术应用到了防爆领域,在保证设备运输易燃气体的同时，维持设备正常工作温度；专利cn109640423a中将电磁感应加热技术应用到了管道原油传输领域，提高管道的运输效率。但是目前对于电磁感应加热技术在cvd真空炉载气管道方面没有应用。
2、cvd是指将气态反应物或者液态反应物的蒸汽以合理的流速引入反应室，并在衬底表面反应沉积为固相。当反应物为固相时，常需要将反应物进行加热升华为气相，再由氩气(ar)载入反应仓中。当固相反应物升华后的蒸汽途经载气管道时，会由于管道温度较低，导致反应物蒸汽凝华为固相，减少反应物的浓度以及堵塞进气管道，降低生产效率，甚至导致产品不合格，耗时耗力。
3、目前应用于固相反应物cvd真空炉的管道加热装置结构较为简单，通过加热线圈束缚于管道，进行热传导。该种方法加热效率低，升温、降温慢，且在未接触加热线圈处存在加热死角，极易使反应物蒸汽凝华，阻塞进气口管道。因此，在进气反应前需要将管道提前加热，
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置及方法，用以解决在传统cvd过程中，当固相反应物升华后的蒸汽途经载气管道时，会由于管道温度较低，导致反应物蒸汽凝华为固相，减少反应物的浓度以及堵塞进气管道，降低生产效率，甚至导致产品不合格，耗时耗力，传统管道加热装置加热效率低，升温、降温慢，且在未接触加热线圈处存在加热死角，极易使反应物蒸汽凝华，阻塞进气口管道。因此，在进气反应前需要将管道提前加热，但管壁上始终会有凝华后的固体反应物，当预热温度较低时还会出现堵塞管道的现象，极大降低生产效率等问题：
2、本专利技术提出的一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置及方法，所述装置包括：
3、装置控温模块，用于通过感应线圈、保温棉、感温元件和电磁控制器构建自控温热辅助装置，获取控温过程的载气管道实时温度数据存储于数据库中；
4、温度调节模块，用于将实时温度数据与预设温度范围进行比较，判断管道温度状态，进而计算温度调节值，根据所述温度调节值对感应线圈温度进行调节，获得调节结果；
5、温度补偿模块，用于通过预设温度范围和当前实时温度数据判断温度损耗情况，当温度存在损耗时，计算管道温度损耗值，进而计算温度补偿值，对温度进行判定补偿。
6、进一步地，所述装置控温模块包括：
7、构建模块，用于在载气管道外表面包裹一层保温棉，将所述感应线圈均匀缠绕于保温棉表面，感应线圈的控制信号输入端与电磁控制器的控制信号输出端相连，所述管道的温度信号输出端与感温元件的温度信号输入端相连，所述感温元件的温度信号输出端与电磁控制器的数字信号输入端相连，形成自控温热辅助装置；
8、数据获取模块，用于使电磁控制器通过所述感温元件获取载气管道实时温度数据，对所述实时温度数据进行时间标记，获得温度时间标记，存储于预设实时温度数据库中。
9、进一步地，所述温度调节模块包括：
10、温度判断模块，用于将实时温度数据与预设温度范围进行比较，获得比较结果，根据比较结果判断管道温度状态，获得温度判断结果；
11、调节计算模块，用于根据所述温度判断结果、实时温度数据和预设温度范围计算温控调节值，电磁控制器根据所述温控调节值对所述感应线圈温度进行调节，获得调节结果。
12、进一步地，所述温度补偿模块包括：
13、损耗判断模块，用于通过所述预设温度范围和当前实时温度数据判断温度损耗情况，当所述当前实时温度数据在预设温度范围之内时，判定温度无异常，当所述当前实时温度数据在预设温度范围之外时，判定温度有异常，当所述当前实时温度数据大于预设温度范围时，判定温度过高异常，当所述当前实时温度数据小于预设温度范围时，判定温度损耗异常；
14、损耗值计算模块，用于当电磁控制器监测到温度损耗异常时，计算所述当前实时温度数据相对于所述预设温度范围的损耗值，获得管道温度损耗值。
15、进一步地，所述温度补偿模块还包括：
16、补偿值计算模块，用于通过所述管道温度损耗值、温控调节值和温度调节速度计算温度补偿值，通过温度补偿值对温度进行实时补偿，获得补偿结果；
17、补偿调节模块，用于当补偿结果在预设温度范围内时，停止温度补偿，当补偿结果小于预设温度范围时，持续补偿，当补偿结果大于预设温度范围时，通过风冷方式将温度降低至预设温度范围。
18、进一步地，所述方法包括：
19、s1、通过感应线圈、保温棉、感温元件和电磁控制器构建自控温热辅助装置，获取控温过程的载气管道实时温度数据存储于数据库中；
20、s2、将实时温度数据与预设温度范围进行比较，判断管道温度状态，进而计算温度调节值，根据所述温度调节值对感应线圈温度进行调节，获得调节结果；
21、s3、通过预设温度范围和当前实时温度数据判断温度损耗情况，当温度存在损耗时，计算管道温度损耗值，进而计算温度补偿值，对温度进行判定补偿。
22、进一步地，所述s1包括：
23、在载气管道外表面包裹一层保温棉，将所述感应线圈均匀缠绕于保温棉表面，感应线圈的控制信号输入端与电磁控制器的控制信号输出端相连，所述管道的温度信号输出端与感温元件的温度信号输入端相连，所述感温元件的温度信号输出端与电磁控制器的数字信号输入端相连，形成自控温热辅助装置；
24、电磁控制器通过所述感温元件获取载气管道实时温度数据，对所述实时温度数据进行时间标记，获得温度时间标记，存储于预设实时温度数据库中。
25、进一步地，所述s2包括：
26、将实时温度数据与预设温度范围进行比较，获得比较结果，根据比较结果判断管道温度状态，获得温度判断结果；
27、根据所述温度判断结果、实时温度数据和预设温度范围计算温控调节值，电磁控制器根据所述温控调节值对所述感应线圈温度进行调节，获得调节结果。
28、进一步地，所述s3包括：
29、通过所述预设温度范围和当前实时温度数据判断温度损耗情况，当所述当前实时温度数据在预设温度范围之内时，判定温度无异常，当所述当前实时温度数据在预设温度范围之外时，判定温度有异常，当所述当前实时温度数据大于预设温度范本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置控温模块包括：
3.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度调节模块包括：
4.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块包括：
5.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块还包括：
6.一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助方法，其特征在于，所述方法包括：
7.根据权利要求6所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助方法，其特征在于，所述S1包括：
8.根据权利要求6所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助方法，其特征在于，所述S2包括：
9.根据权利要求6所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助方法，其特征在于，所述S3包括：
10.根据权利要求6所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助
...【技术特征摘要】
1.一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置控温模块包括：
3.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度调节模块包括：
4.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块包括：
5.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡滨旭，何少龙，李翔翔，胡任浩，丁柳宁，朱世相，
申请(专利权)人：浙江六方半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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