【技术实现步骤摘要】
本公开涉及真空设备，具体涉及一种裂解源装料装置。
技术介绍
1、分子束外延系统所用到的裂解源装料，裂解源内壁一般为圆柱形，装料口也是圆形，材料为棒料，垂直装入会造成料装不满，且棒料之间会存在较多空隙，因而无法充分利用裂解源内部空间。
技术实现思路
1、本公开提供了一种裂解源装料装置，包括：
2、第一纵向支架；
3、第二纵向支架，与第一纵向支架相对设置；
4、承载支架，设置于第一纵向支架与第二纵向支架之间，用于承载裂解源；
5、第一转轴，将承载支架的第一侧与第一纵向支架转动连接；
6、第二转轴，将承载支架的第二侧与第二纵向支架转动连接；以及
7、翻转蜗轮蜗杆减速机，翻转蜗轮蜗杆减速机的输出端与第一转轴或第二转轴连接，用于驱动承载支架翻转。
8、在一些实施例中，裂解源装料装置还包括：
9、辅助支架，设置于承载支架上，与承载支架呈角度，用于辅助承载裂解源；
10、辅助轮组件，包括：
11、安装板，与辅助支架固定连接；
12、至少一根导轨，设置于安装板上，沿着靠近或远离裂解源的方向延伸；
13、滑板，与至少一根导轨滑动连接，以靠近或远离裂解源；以及支撑座，与滑板固定连接，用于支撑裂解源，且能够在滑板的带动下在至少一根导轨上滑动。
14、在一些实施例中，辅助轮组件还包括：
15、固定座，设置于安装板远离裂解源的一端；
<...【技术保护点】
1.一种裂解源装料装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述裂解源装料装置，其特征在于，所述辅助轮组件还包括：
4.根据权利要求2所述裂解源装料装置，其特征在于，所述支撑座包括第一凸起和第二凸起，所述第一凸起和所述第二凸起之间的空间用于容纳所述裂解源；
5.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，所述承载支架包括：
6.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，所述承载支架还包括旋转机构，所述旋转机构包括：
8.根据权利要求7所述裂解源装料装置，其特征在于，所述转轴包括设置在外侧的上级台阶和下级台阶；
9.根据权利要求7所述裂解源装料装置，其特征在于，还包括过渡安装板，所述过渡安装板的底面与所述转轴固定连接，所述过渡安装板的顶面与所述裂解源连接板固定连接。
10.根据权利要求7所述裂解源装料装置，其特征在于，还包括翻转驱动组件和旋转驱动组件
11.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，还包括多组脚轮，安装于所述第一纵向支架和第二纵向支架的底部。
...【技术特征摘要】
1.一种裂解源装料装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述裂解源装料装置，其特征在于，所述辅助轮组件还包括：
4.根据权利要求2所述裂解源装料装置，其特征在于，所述支撑座包括第一凸起和第二凸起，所述第一凸起和所述第二凸起之间的空间用于容纳所述裂解源；
5.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，所述承载支架包括：
6.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1所述裂解源装料装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵东，谢斌平，张朱锋，郭维，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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