【技术实现步骤摘要】
本申请涉及等离子体光源，尤其是涉及一种调整装置以及激光维持等离子体光源。
技术介绍
1、激光维持等离子体(lsp)光源能够产生高功率宽带(190-2300nm)激光，用于半导体明场检测设备。lsp光源原理：利用聚光镜将红外激光辐射聚焦到灯泡内，维持一个极小的等离子体，等离子体持续发出190-2300nm的连续光谱。明场检测设备需要lsp光源的紫外波段光强足够亮，相干性足够好，这要求lsp发光等离子体的温度足够高，体积足够小。但是目前的激光维持等离子体光源的灯泡和聚光镜的位置相对固定，根据灯泡内等离子体生成情况、红外激光变化、灯泡不同批次加工误差不同、聚光镜长时间使用的性能变化等，对光源性能有负面影响。
技术实现思路
1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本申请提供一种调整装置以及激光维持等离子体光源，该调整装置可以确保红外激光聚焦点在灯泡内最优位置，所产生的等离子体温度和体积足够好，使得激光维持等离子体光源始终工作在光学性能最佳状态。
2、根据本技术的一个方面，提供一种调整装置，包括：聚光镜位置调节器，用于所述聚光镜的安装并调节；光传感器，安装于所述灯泡出射光路上；控制器，与所述光传感器和所述聚光镜位置调节器信号连接，根据所述光传感器检测的光相关指标，控制所述聚光镜位置调节器调节所述聚光镜相对所述灯泡的空间位置。
3、通过使用本技术方案中的调整装置，首先光传感器对灯泡所发光的光通量、光强等光相关指标进行检测，然后控制器实时接收该检测数据，之后控制器根据光传感器检测的
4、另外，根据本申请的调整装置，还可具有如下附加的技术特征：
5、在本技术的一些实施方式中，调整装置还包括：灯泡位置调节器，用于所述灯泡的安装，用于调节所述灯泡相对所述聚光镜的空间位置。
6、在本技术的一些实施方式中，所述灯泡位置调节器与所述控制器信号连接。
7、在本技术的一些实施方式中，所述激光器和所述聚光镜之间设有冷光镜；所述调整装置还包括：冷光镜位置调节器，用于所述冷光镜的安装，用于调节所述冷光镜相对所述聚光镜的空间位置。
8、在本技术的一些实施方式中，所述冷光镜位置调节器与所述控制器信号连接。
9、在本技术的一些实施方式中，所述冷光镜反射面所形成的所述出射光路上设有透镜；所述调整装置还包括：透镜位置调节器，用于所述透镜的安装，用于调节所述透镜相对所述冷光镜的空间位置。
10、在本技术的一些实施方式中，所述透镜位置调节器与所述控制器信号连接。
11、在本技术的一些实施方式中，调整装置还包括：激光器位置调节器，用于所述激光器的安装，用于调节所述激光器相对所述聚光镜的空间位置，所述激光器位置调节器与所述控制器信号连接。
12、在本技术的一些实施方式中，所述聚光镜位置调节器为四轴直线模组。
13、根据本技术的另一方面，提供一种激光维持等离子体光源，包括上述的调整装置。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种调整装置，用于调节激光维持等离子体光源，所述激光维持等离子体光源包括激光器、聚光镜和灯泡，所述灯泡位于所述激光器和所述聚光镜之间，其特征在于，所述调整装置包括：
2.根据权利要求1所述的调整装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的调整装置，其特征在于，所述灯泡位置调节器与所述控制器信号连接。
4.根据权利要求1所述的调整装置，其特征在于，所述激光器和所述聚光镜之间设有冷光镜；所述调整装置还包括：
5.根据权利要求4所述的调整装置，其特征在于，所述冷光镜位置调节器与所述控制器信号连接。
6.根据权利要求4所述的调整装置，其特征在于，所述冷光镜反射面所形成的所述出射光路上设有透镜；所述调整装置还包括：
7.根据权利要求6所述的调整装置，其特征在于，所述透镜位置调节器与所述控制器信号连接。
8.根据权利要求1所述的调整装置，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求1所述的调整装置，其特征在于，所述聚光镜位置调节器为四轴直线模组。
10.一种激光维持等离子体光源，
...【技术特征摘要】
1.一种调整装置，用于调节激光维持等离子体光源，所述激光维持等离子体光源包括激光器、聚光镜和灯泡，所述灯泡位于所述激光器和所述聚光镜之间，其特征在于，所述调整装置包括：
2.根据权利要求1所述的调整装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的调整装置，其特征在于，所述灯泡位置调节器与所述控制器信号连接。
4.根据权利要求1所述的调整装置，其特征在于，所述激光器和所述聚光镜之间设有冷光镜；所述调整装置还包括：
5.根据权利要求4所述的调整装置，其特征在于，所述冷光镜...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐忠元，杨文秀，裴德奎，
申请(专利权)人：北京子牛亦东科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。