【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器生产，尤其涉及一种光纤光栅镀膜设备。
技术介绍
1、光纤光栅是一种通过一定方法使光纤纤芯的折射率发生轴向周期性调制而形成的衍射光栅，是一种无源滤波器件。由于光栅光纤具有体积小、熔接损耗小、全兼容于光纤、能埋入智能材料等优点，并且其谐振波长对温度、应变、折射率、浓度等外界环境的变化比较敏感，因此在光纤通信和传感领域得到了广泛的应用。
2、由于光纤光栅在使用过程中易在光纤表面形成氧化层影响光纤光栅的敏感度，因此，在光纤光栅使用过程中需要在光纤表面镀膜以提高光纤的抗氧化性。
3、磁控溅射的方法通常都会用于制备薄金属涂层，通过在溅射期间令光纤自转，可以在短光纤的表面上形成均匀的金属薄层。然而，现有磁控溅射设备所溅射出的薄膜均匀区域的面积较小，对于长光纤而言，例如已经制作好的tfbg或fbg，为了溅射出具有较大均匀区域的薄膜，通常需要定制更大尺寸的磁控溅射靶，导致生产成本增加。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有磁控溅射设备在对长光纤镀膜时需要更换大尺寸磁控溅射靶的缺点，而提出的一种光纤光栅镀膜设备。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、设计一种光纤光栅镀膜设备，包括底座，所述底座上固接有安装板，所述安装板上可转动的安装有圆形的壳体，所述壳体内部设有两个夹持机构以对光纤的两端进行夹持，所述安装板上设有加热器及磁控溅射耙，所述磁控溅射耙的中心点与光纤的中心点不重合。
4、优选的，
5、优选的，所述夹持机构包括密封板，所述密封板可转动的安装在壳体上，在密封板上可转动的安装有多个滑套，且多个胡滑套处于同一圆周上，在滑套内可滑动的配合有第一滑杆及第二滑杆，在第一滑杆上固接有半圆形的第一弹性摩擦轮，在第二滑杆上固接有半圆形的第二弹性摩擦轮。
6、优选的，任意两个第一弹性摩擦轮之间的最小距离或任意两个第二弹性摩擦轮之间的最小距离均小于光纤的直径。
7、优选的，第一弹性摩擦轮及第二弹性摩擦轮上均设有防滑条纹。
8、优选的，所述壳体上设有转动结构以驱动滑套转动，所述转动结构包括端面齿轮，所述端面齿轮固接在安装板上，所述壳体上可转动的安装有第一环形齿轮，所述滑套上固接有行星齿轮，所述行星齿轮与第一环形齿轮相匹配，所述第一环形齿轮上同轴线固接有第二环形齿轮，所述第二环形齿轮与端面齿轮相匹配。
9、优选的，所述壳体上固接有安装架，所述安装架上可转动的安装有环件，环件上可转动的安装有多个转盘，所述转盘上可转动的安装有第一从动轮及第二从动轮，其中：
10、第一从动轮上同轴线固接有第一螺杆，所述第一滑杆螺纹配合在第一螺杆上；
11、第二从动轮上同轴线固接有第二螺杆，所述第二滑杆螺纹配合在第二螺杆上。
12、优选的，所述安装架上固接有环形驱动轮，所述第一从动轮及第二从动轮两者与环形驱动轮相配合，安装架上固接有固定轴，固定轴上固接有中心齿轮，所述中心齿轮与行星齿轮相匹配。
13、本专利技术提出的一种光纤光栅镀膜设备，有益效果在于：本装置通过光纤与磁控溅射耙中心点不重合的方式，能够在面积较小磁控溅射耙实现对长光纤的全面扫描，制备出均匀的薄膜，对于同样大的靶，也能够大幅度提高溅射成膜的面积。
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1.一种光纤光栅镀膜设备，包括底座(1)，所述底座(1)上固接有安装板(5)，所述安装板(5)上可转动的安装有圆形的壳体(6)，其特征在于，所述壳体(6)内部设有两个夹持机构以对光纤的两端进行夹持，所述安装板(5)上设有加热器(501)及磁控溅射耙(502)，所述磁控溅射耙(502)的中心点与光纤的中心点不重合。
2.根据权利要求1所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，底座(1)上安装有气缸(2)，气缸(2)的输出端上固接有电机(3)，电机(3)上的输出轴上固接有密封盖(4)，壳体(6)与电机(3)同轴线设置。
3.根据权利要求1所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，所述夹持机构包括密封板(8)，所述密封板(8)可转动的安装在壳体(6)上，在密封板(8)上可转动的安装有多个滑套(14)，且多个胡滑套(14)处于同一圆周上，在滑套(14)内可滑动的配合有第一滑杆(17)及第二滑杆(18)，在第一滑杆(17)上固接有半圆形的第一弹性摩擦轮(19)，在第二滑杆(18)上固接有半圆形的第二弹性摩擦轮(20)。
4.根据权利要求3所述的光纤光栅镀膜设备，其特
5.根据权利要求4所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，第一弹性摩擦轮(19)及第二弹性摩擦轮(20)上均设有防滑条纹。
6.根据权利要求3所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，所述壳体(6)上设有转动结构以驱动滑套(14)转动，所述转动结构包括端面齿轮(7)，所述端面齿轮(7)固接在安装板(5)上，所述壳体(6)上可转动的安装有第一环形齿轮(13)，所述滑套(14)上固接有行星齿轮(15)，所述行星齿轮(15)与第一环形齿轮(13)相匹配，所述第一环形齿轮(13)上同轴线固接有第二环形齿轮(12)，所述第二环形齿轮(12)与端面齿轮(7)相匹配。
7.根据权利要求6所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，所述壳体(6)上固接有安装架(9)，所述安装架(9)上可转动的安装有环件(22)，环件(22)上可转动的安装有多个转盘(23)，所述转盘(23)上可转动的安装有第一从动轮(24)及第二从动轮(25)，其中：
8.根据权利要求7所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，所述安装架(9)上固接有环形驱动轮(21)，所述第一从动轮(24)及第二从动轮(25)两者与环形驱动轮(21)相配合，安装架(9)上固接有固定轴(10)，固定轴(10)上固接有中心齿轮(11)，所述中心齿轮(11)与行星齿轮(15)相匹配。
...【技术特征摘要】
1.一种光纤光栅镀膜设备，包括底座(1)，所述底座(1)上固接有安装板(5)，所述安装板(5)上可转动的安装有圆形的壳体(6)，其特征在于，所述壳体(6)内部设有两个夹持机构以对光纤的两端进行夹持，所述安装板(5)上设有加热器(501)及磁控溅射耙(502)，所述磁控溅射耙(502)的中心点与光纤的中心点不重合。
2.根据权利要求1所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，底座(1)上安装有气缸(2)，气缸(2)的输出端上固接有电机(3)，电机(3)上的输出轴上固接有密封盖(4)，壳体(6)与电机(3)同轴线设置。
3.根据权利要求1所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，所述夹持机构包括密封板(8)，所述密封板(8)可转动的安装在壳体(6)上，在密封板(8)上可转动的安装有多个滑套(14)，且多个胡滑套(14)处于同一圆周上，在滑套(14)内可滑动的配合有第一滑杆(17)及第二滑杆(18)，在第一滑杆(17)上固接有半圆形的第一弹性摩擦轮(19)，在第二滑杆(18)上固接有半圆形的第二弹性摩擦轮(20)。
4.根据权利要求3所述的光纤光栅镀膜设备，其特征在于，任意两个第一弹性摩擦轮(19)或任意两个第二弹性摩擦轮(20)之间的距离小于光纤的直径。
5.根据权利要求4所...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵德春，赵才高，赵勇，
申请(专利权)人：深圳市畅格光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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