【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氮化铝晶体生长设备，具体为一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置。
技术介绍
1、大尺寸氮化铝晶体生长制备过程中，需要用到热场装置，传统的热场装置顶部的密封件是直接放置在，与热场装置之间的固定效果薄弱，当热场装置产生轻微震动时，其顶部的密封件的位置会产生移动，降低了热场装置的密封安全性。
2、因此，需要对氮化铝晶体生长热场装置进行设计改造，有效的防止其密封效果不稳定的现象。
技术实现思路
1、为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术的目的在于提供一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，具备了稳定密封的优点，解决了热场装置顶部的密封件是直接放置在，与热场装置之间的固定效果薄弱，当热场装置产生轻微震动时，其顶部的密封件的位置会产生移动，降低了热场装置密封安全性的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，包括炉膛，所述炉膛的顶部设置有密封板，所述炉膛的内部设置有金属筒，所述金属筒的内部设置有侧隔热外屏，所述侧隔热外屏的内部固定连接有侧隔热内屏，所述炉膛内壁的底部固定连接有坩埚支架，所述坩埚支架的顶部固定连接有坩埚，所述坩埚支架的外侧设置有网状加热器，所述网状加热器的顶部电连接有铜电极，所述坩埚的顶部设置有中隔热屏，所述中隔热屏的顶部设置有上隔热屏，所述炉膛表面顶部的四角均设置有紧密机构。
3、作为本技术优选的，所述紧密机构包括安装块，所述安装块固定连接在炉膛表面顶部的四角，所述安装块的内部通过销轴连接有齿轮一，所
4、作为本技术优选的，所述卡板的顶部设置有保护罩，所述保护罩的底部固定连接在密封板的顶部，所述保护罩位于炉膛的顶部。
5、作为本技术优选的，所述弧形弹力板的顶部活动连接有滑轮，所述滑轮的表面与卡板的表面接触，所述滑轮位于安装块的内部。
6、作为本技术优选的，所述弧形弹力板的内侧固定连接有弹片，所述弹片的表面固定连接在安装块的内壁，所述弹片的形状为v字形。
7、作为本技术优选的，所述推板的表面固定连接有遮挡布，所述遮挡布的表面固定连接在安装块的内壁，所述遮挡布位于齿轮一的底部。
8、作为本技术优选的，所述安装块的底部固定连接有加固块，所述加固块的表面固定连接在炉膛的表面，所述加固块的形状为三角形。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
10、1、本技术通过图中为炉膛和密封板固定密封状态，密封板不会因外力的干扰而松动，需要将密封板和炉膛分离时，推动推板向内侧旋转，推板带动齿轮一旋转，齿轮一带动齿轮二旋转，齿轮二带动卡板旋转，卡板压缩弧形弹力板，卡板和密封板分离，密封板失去固定，向上移动密封板，密封板与炉膛分离，炉膛打开完成，具备了稳定密封的优点，热场装置顶部的密封件是固定的，与炉膛之间的固定效果强，提高了热场装置密封安全性。
11、2、本技术通过设置紧密机构，能够对密封板进行加固密封，避免密封板使用的过程中松动，防止密封板降低密封效率，提高了密封板的工作效果。
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1.一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，包括炉膛(1)，其特征在于：所述炉膛(1)的顶部设置有密封板(2)，所述炉膛(1)的内部设置有金属筒(3)，所述金属筒(3)的内部设置有侧隔热外屏(4)，所述侧隔热外屏(4)的内部固定连接有侧隔热内屏(5)，所述炉膛(1)内壁的底部固定连接有坩埚支架(6)，所述坩埚支架(6)的顶部固定连接有坩埚(7)，所述坩埚支架(6)的外侧设置有网状加热器(8)，所述网状加热器(8)的顶部电连接有铜电极(9)，所述坩埚(7)的顶部设置有中隔热屏(10)，所述中隔热屏(10)的顶部设置有上隔热屏(11)，所述炉膛(1)表面顶部的四角均设置有紧密机构(12)。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，其特征在于：所述紧密机构(12)包括安装块(121)，所述安装块(121)固定连接在炉膛(1)表面顶部的四角，所述安装块(121)的内部通过销轴连接有齿轮一(122)，所述齿轮一(122)的后侧固定连接有推板(123)，所述推板(123)的底部延伸至安装块(121)的底部，所述齿轮一(122)的顶部啮合有齿轮二(124)，所述齿轮二(
3.根据权利要求2所述的一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，其特征在于：所述卡板(125)的顶部设置有保护罩(13)，所述保护罩(13)的底部固定连接在密封板(2)的顶部，所述保护罩(13)位于炉膛(1)的顶部。
4.根据权利要求2所述的一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，其特征在于：所述弧形弹力板(126)的顶部活动连接有滑轮(14)，所述滑轮(14)的表面与卡板(125)的表面接触，所述滑轮(14)位于安装块(121)的内部。
5.根据权利要求2所述的一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，其特征在于：所述弧形弹力板(126)的内侧固定连接有弹片(15)，所述弹片(15)的表面固定连接在安装块(121)的内壁，所述弹片(15)的形状为V字形。
6.根据权利要求2所述的一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，其特征在于：所述推板(123)的表面固定连接有遮挡布(16)，所述遮挡布(16)的表面固定连接在安装块(121)的内壁，所述遮挡布(16)位于齿轮一(122)的底部。
7.根据权利要求2所述的一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，其特征在于：所述安装块(121)的底部固定连接有加固块(17)，所述加固块(17)的表面固定连接在炉膛(1)的表面，所述加固块(17)的形状为三角形。
...【技术特征摘要】
1.一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，包括炉膛(1)，其特征在于：所述炉膛(1)的顶部设置有密封板(2)，所述炉膛(1)的内部设置有金属筒(3)，所述金属筒(3)的内部设置有侧隔热外屏(4)，所述侧隔热外屏(4)的内部固定连接有侧隔热内屏(5)，所述炉膛(1)内壁的底部固定连接有坩埚支架(6)，所述坩埚支架(6)的顶部固定连接有坩埚(7)，所述坩埚支架(6)的外侧设置有网状加热器(8)，所述网状加热器(8)的顶部电连接有铜电极(9)，所述坩埚(7)的顶部设置有中隔热屏(10)，所述中隔热屏(10)的顶部设置有上隔热屏(11)，所述炉膛(1)表面顶部的四角均设置有紧密机构(12)。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，其特征在于：所述紧密机构(12)包括安装块(121)，所述安装块(121)固定连接在炉膛(1)表面顶部的四角，所述安装块(121)的内部通过销轴连接有齿轮一(122)，所述齿轮一(122)的后侧固定连接有推板(123)，所述推板(123)的底部延伸至安装块(121)的底部，所述齿轮一(122)的顶部啮合有齿轮二(124)，所述齿轮二(124)通过销轴铰接在安装块(121)的内部，所述齿轮二(124)的后侧固定连接有卡板(125)，所述卡板(125)的顶部延伸至密封板(2)的顶部，所述卡板(125)与密封板(2)卡接，所述卡板(125)的内侧设置有弧形弹力板...
【专利技术属性】
技术研发人员：范国峰，赵丽丽，
申请(专利权)人：哈尔滨化兴软控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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