System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种高温加热器拿取装置制造方法及图纸_技高网

一种高温加热器拿取装置制造方法及图纸

技术编号:42228403 阅读:5 留言:0更新日期:2024-08-02 13:45
本发明专利技术涉及单晶炉设备领域,更具体地说,涉及一种高温加热器拿取装置,包括:用于连接机械驱动臂的安装件和设置在安装件上的取放驱动件;以及拿取部件,拿取部件与安装件连接;取放驱动件与拿取部件连接,以驱动拿取部件进行第一状态和第二状态的切换,第一状态时,拿取部件对高温加热器的内壁和外壁进行抵紧锁定,实现高温加热器与安装件位置的相对锁定;第二状态时,拿取部件解除对高温加热器的锁定,使高温加热器可卸至预设位置。本发明专利技术可实现对高温加热器的稳定固定,防止高温加热器坠落受损;且拿取部件可适用于不同尺寸的加热器,适用范围较广。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶炉设备领域,更具体地说,涉及一种高温加热器拿取装置


技术介绍

1、直拉法是拉制单晶硅棒的主要方法之一,该方法是将原料多晶硅放入单晶炉的石英坩埚内,利用石墨加热器加热熔化多晶硅原料,再经过调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉等过程完成单晶硅棒的拉制。在单晶直拉工艺中,当晶棒拉制完毕后,需打开单晶炉,取出加热器。

2、目前,拆炉时采用人工操作取出加热器,由于炉内温度高,导致加热器的取出时间延长,增加了无效工时,效率低,同时高温环境容易烫伤操作人员。现有技术中用于取出加热器的工装结构较为简单,不仅无法适用于不同尺寸的加热器,且无法在取出时对加热器进行有效固定。

3、例如专利申请号为201320529525.5及的一种取出直拉单晶炉中加热器的工装,包括两个相对设置的加热器提升部件,其特征在于:所述的加热器提升部件包括提取架和底托,底托由整体为弧形的底板和卡托组成,卡托固定在底板的外周圆弧上并与底板呈大于90°的夹角,所述的提取架为上端封闭的阶梯形框架结构,提取架的底端固定在底托的底板上。该工装结构较为简单,需要人力操作,不仅无法适用于不同尺寸的加热器,且无法在取出时对加热器进行有效固定,加热器容易晃动坠落,导致价格昂贵的单晶炉加热器受损。


技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种高温加热器拿取装置。

2、本专利技术所采用的技术方案是:

3、一种高温加热器拿取装置,包括:用于连接机械驱动臂的安装件和设置在安装件上的取放驱动件;以及拿取部件,拿取部件与安装件连接;取放驱动件与拿取部件连接,以驱动拿取部件进行第一状态和第二状态的切换,第一状态时,拿取部件对高温加热器的内壁和外壁进行抵紧锁定,实现高温加热器与安装件位置的相对锁定;第二状态时,拿取部件解除对高温加热器的锁定,使高温加热器可卸至预设位置。

4、进一步地,所述安装件包括用于与机械驱动臂连接的顶板,顶板通过多个支撑体连接在用于与拿取部件连接的十字安装架上;取放驱动件包括连接在顶板上的电液推杆,电液推杆穿过十字安装架中心导孔的伸出端与拿取部件连接。

5、进一步地,所述拿取部件包括与电液推杆伸出端连接的受力板,受力板外侧均匀环绕转动连接四个受力连杆,四个受力连杆与四个受力锁臂连接,四个受力锁臂的顶部滑动配合在十字安装架四侧的工形滑道内。

6、进一步地,所述受力锁臂的外侧转设有锁定辊,锁定辊的轴线与电液推杆的轴线共线。

7、进一步地,所述受力锁臂底部固接的受力座位于锁定辊的外侧,用以对高温加热器底部进行承托。

8、进一步地,所述受力座包括固设于受力锁臂的固定载体,固定载体上滑设多根承载轴,多根承载轴顶部固接活动载体,活动载体与固定载体之间通过多根套设在承载轴上的承载压簧连接;一根以上承载轴底部固定的卡环抵靠在固定载体下方;固定载体上装置有测距传感器,在活动载体与固定载体的间距小于预设距离值时,测距传感器传递信号值控制器,控制器通过取放驱动件驱动拿取部件的四个受力锁臂增加对高温加热器的锁紧力度。

9、进一步地,所述受力锁臂上滑动配合两根承载杆,两根承载杆的两端分别与侧挡体和悬挂架连接,侧挡体与受力锁臂之间通过套设在承载杆上的张紧压簧连接;侧挡体和悬挂架分别位于受力锁臂的内外两端;悬挂架位于锁定辊外侧的上方;悬挂架的纵向滑孔内上滑动配合两根外挡辊,两根外挡辊顶部连接的上板架与悬挂架之间通过两根套设在外挡辊上的支撑压簧连接;上板架与十字安装架上的外挡传动器连接。

10、进一步地,四个所述外挡传动器均与设置在十字安装架上的动力组件连接,以通过动力组件与外挡传动器的配合对上板架进行牵引,拉动上板架带动外挡辊向悬挂架下方滑动,并抵靠在高温加热器的外侧。

11、进一步地,所述外挡辊的轴线与锁定辊的轴线平行,外挡辊位于锁定辊外侧,外挡辊的底部设有倒角。

12、进一步地,所述上板架上装设的减速机输出端装配有链轮一,链轮一通过链条与装设在两个外挡辊上的链轮二连接。

13、进一步地,所述外挡传动器包括转设在十字安装架上的竖管体,竖管体上的中心齿轮与四个行星齿轮啮合,四个行星齿轮与转设在十字安装架上的四个竖传力轴固定配合,四个竖传力轴上固定的四个传力锥齿轮与四个横传力轴上的受力锥齿轮啮合,四个横传力轴转设在十字安装架的四个工形滑道内;四个横传力轴上套设的滑管体转设在四个受力锁臂顶部;滑管体上固接的绕绳轮与拉力绳固接,拉力绳活动端连接在上板架上;滑管体内的凸缘滑动配合在横传力轴的轴向槽内,轴向槽沿横传力轴的轴线方向设置;所述动力组件包括设置在十字安装架上的输出电机,输出电机上的输出齿轮啮合中心齿轮或一个行星齿轮。

14、由上述方案可见,与现有技术中的取放工装相比,本专利技术的一种高温加热器拿取装置,其内部设有可连接机械驱动臂的安装件,便于在机械驱动臂的控制下进行位移运动,以便运动至待拿取的高温加热器处,并可通过取放驱动件控制拿取部件对高温加热器进行拿取或卸放;拿取部件对高温加热器的内壁和外壁进行抵紧锁定,实现高温加热器与安装件位置的相对锁定,可实现对高温加热器的稳定固定,防止高温加热器坠落受损;且拿取部件可适用于不同尺寸的加热器,适用范围较广。

15、为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高温加热器拿取装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述安装件包括用于与机械驱动臂连接的顶板,顶板通过多个支撑体连接在用于与拿取部件连接的十字安装架上;取放驱动件包括连接在顶板上的电液推杆,电液推杆穿过十字安装架中心导孔的伸出端与拿取部件连接。

3.根据权利要求2所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述拿取部件包括与电液推杆伸出端连接的受力板,受力板外侧均匀环绕转动连接四个受力连杆,四个受力连杆与四个受力锁臂连接,四个受力锁臂的顶部滑动配合在十字安装架四侧的工形滑道内。

4.根据权利要求3所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述受力锁臂的外侧转设有锁定辊,锁定辊的轴线与电液推杆的轴线共线。

5.根据权利要求4所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述受力锁臂底部固接的受力座位于锁定辊的外侧,用以对高温加热器底部进行承托。

6.根据权利要求5所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述受力座包括固设于受力锁臂的固定载体,固定载体上滑设多根承载轴,多根承载轴顶部固接活动载体,活动载体与固定载体之间通过多根套设在承载轴上的承载压簧连接;一根以上承载轴底部固定的卡环抵靠在固定载体下方;固定载体上装置有测距传感器,在活动载体与固定载体的间距小于预设距离值时,测距传感器传递信号值控制器,控制器通过取放驱动件驱动拿取部件的四个受力锁臂增加对高温加热器的锁紧力度。

7.根据权利要求6所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述受力锁臂上滑动配合两根承载杆,两根承载杆的两端分别与侧挡体和悬挂架连接,侧挡体与受力锁臂之间通过套设在承载杆上的张紧压簧连接;侧挡体和悬挂架分别位于受力锁臂的内外两端;悬挂架位于锁定辊外侧的上方;悬挂架的纵向滑孔内上滑动配合两根外挡辊,两根外挡辊顶部连接的上板架与悬挂架之间通过两根套设在外挡辊上的支撑压簧连接;上板架与十字安装架上的外挡传动器连接。

8.根据权利要求7所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,四个所述外挡传动器均与设置在十字安装架上的动力组件连接,以通过动力组件与外挡传动器的配合对上板架进行牵引,拉动上板架带动外挡辊向悬挂架下方滑动,并抵靠在高温加热器的外侧。

9.根据权利要求8所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述外挡辊的轴线与锁定辊的轴线平行,外挡辊位于锁定辊外侧,外挡辊的底部设有倒角。

10.根据权利要求8所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述上板架上装设的减速机输出端装配有链轮一,链轮一通过链条与装设在两个外挡辊上的链轮二连接;

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【技术特征摘要】

1.一种高温加热器拿取装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述安装件包括用于与机械驱动臂连接的顶板,顶板通过多个支撑体连接在用于与拿取部件连接的十字安装架上;取放驱动件包括连接在顶板上的电液推杆,电液推杆穿过十字安装架中心导孔的伸出端与拿取部件连接。

3.根据权利要求2所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述拿取部件包括与电液推杆伸出端连接的受力板,受力板外侧均匀环绕转动连接四个受力连杆,四个受力连杆与四个受力锁臂连接,四个受力锁臂的顶部滑动配合在十字安装架四侧的工形滑道内。

4.根据权利要求3所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述受力锁臂的外侧转设有锁定辊,锁定辊的轴线与电液推杆的轴线共线。

5.根据权利要求4所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述受力锁臂底部固接的受力座位于锁定辊的外侧,用以对高温加热器底部进行承托。

6.根据权利要求5所述的一种高温加热器拿取装置,其特征在于,所述受力座包括固设于受力锁臂的固定载体,固定载体上滑设多根承载轴,多根承载轴顶部固接活动载体,活动载体与固定载体之间通过多根套设在承载轴上的承载压簧连接;一根以上承载轴底部固定的卡环抵靠在固定载体下方;固定载体上装置有测距传...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈立民付亮娄勇
申请(专利权)人:曲靖阳光新能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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