【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体芯片加工设备领域，具体而言，尤其涉及一种适用于半导体清洗机的抽风装置。
技术介绍
1、在半导体集成电路的制造工艺过程中，半导体晶圆通常都会经过诸如薄膜沉积、刻蚀、抛光等多道工艺步骤。而这些工艺步骤就成为沾污物产生的重要场所。为了保持晶圆表面的清洁状态,消除在各个工艺步骤中沉积在晶圆表面的沾污物,必须对经受了每道工艺步骤后的晶圆表面进行清洗处理。因此,清洗工艺成为集成电路制作过程中最普遍的工艺步骤,其目的在于有效地控制各步骤的沾污水平，以实现各工艺步骤的目标。
2、在湿法腐蚀和湿法清洗工艺过程中,会用到大量的化学药液,利用化学药液的腐蚀特性，实现去除特定材料或者去除污染物的目的。然而，大量的化学药液蒸发对环境 和人体都有很大的危害，因此，如何解决化学药液蒸发直接排放的问题，就成为本领域技术人员亟待解决的课题。
技术实现思路
1、本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种适用于半导体清洗机的抽风装置。
2、本技术的目的通过以下技术方案来实现：
3、一种适用于半导体清洗机的抽风装置，包括固设在半导体清洗机两侧的外壳体和内壳体，所述内壳体与外壳体连通，所述内壳体上设有用以可调节进风量的调节组件，所述外壳体上设有排风的排风口，所述排风口与调节组件之间设有枢轴设置在所述外壳体上的转轴，所述转轴可由驱动组件驱动其转动，所述转轴上固设有一栅板，所述栅板可与所述外壳体的内壁以及半导体清洗机的外壁紧贴。
4、优选的，所述转轴的两侧套设
5、优选的，所述轴套为ptfe材质。
6、优选的，所述驱动组件至少包括设置在所述转轴一端的阻尼转盘，所述阻尼转盘上开设有一弧形滑槽，所述外壳体上固设有一固定杆，所述固定杆内设有螺纹孔，一锁紧螺栓可贯穿所述弧形滑槽与所述螺纹孔螺接。
7、优选的，所述转轴的一端设有与其一体成型的半圆柱端，所述阻尼转盘上开设有与所述半圆柱端相适配的半圆柱槽。
8、优选的，所述内壳体上等距开设有一组通风槽，所述调节组件至少包括设置在所述内壳体上的调节板，所述调节板上开设有一组调节槽，相邻所述调节槽之间的距离大于或等于所述通风槽的宽度。
9、优选的，所述调节板上开设有腰型孔，所述内壳体上开设有锁止孔，锁止螺栓可贯穿所述腰型孔与所述锁止孔螺接。
10、本技术的有益效果主要体现在：
11、1、设计精巧，通过转动阻尼转盘即可驱动转轴和栅板转动，对外壳体内的风量进行调节，实现风量的自动调控，当调动至指定位置时，拧动锁紧螺栓贯穿弧形滑槽与螺纹孔螺接，即可进行操作，该操作简单便捷，极大地提高效率，另外，稳定性好，便于批量使用；
12、2、通过移动调节板即可驱动调节板与内壳体的相对位置，对通风槽进行部分或局部密封，从而对内壳体的风量进行调节，操作简单便捷，具有较广的适用性。
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1.适用于半导体清洗机的抽风装置，包括固设在半导体清洗机（100）两侧的外壳体（1）和内壳体（2），所述内壳体（2）与外壳体（1）连通，其特征在于：所述内壳体（2）上设有用以可调节进风量的调节组件（3），所述外壳体（1）上设有排风的排风口（4），所述排风口（4）与调节组件（3）之间设有枢轴设置在所述外壳体（1）上的转轴（5），所述转轴（5）可由驱动组件（6）驱动其转动，所述转轴（5）上固设有一栅板（7），所述栅板（7）可与所述外壳体（1）的内壁以及半导体清洗机（100）的外壁紧贴；
2.根据权利要求1所述的适用于半导体清洗机的抽风装置，其特征在于：所述转轴（5）的两侧套设有轴套（51），所述轴套（51）的外圈与所述外壳体（1）连接。
3.根据权利要求2所述的适用于半导体清洗机的抽风装置，其特征在于：所述轴套（51）为PTFE材质。
4.根据权利要求1所述的适用于半导体清洗机的抽风装置，其特征在于：所述转轴（5）的一端设有与其一体成型的半圆柱端（65），所述阻尼转盘（61）上开设有与所述半圆柱端（65）相适配的半圆柱槽。
5.根据权利
6.根据权利要求5所述的适用于半导体清洗机的抽风装置，其特征在于：所述调节板（31）上开设有腰型孔（33），所述内壳体（2）上开设有锁止孔（22），锁止螺栓可贯穿所述腰型孔（33）与所述锁止孔（22）螺接。
...【技术特征摘要】
1.适用于半导体清洗机的抽风装置，包括固设在半导体清洗机（100）两侧的外壳体（1）和内壳体（2），所述内壳体（2）与外壳体（1）连通，其特征在于：所述内壳体（2）上设有用以可调节进风量的调节组件（3），所述外壳体（1）上设有排风的排风口（4），所述排风口（4）与调节组件（3）之间设有枢轴设置在所述外壳体（1）上的转轴（5），所述转轴（5）可由驱动组件（6）驱动其转动，所述转轴（5）上固设有一栅板（7），所述栅板（7）可与所述外壳体（1）的内壁以及半导体清洗机（100）的外壁紧贴；
2.根据权利要求1所述的适用于半导体清洗机的抽风装置，其特征在于：所述转轴（5）的两侧套设有轴套（51），所述轴套（51）的外圈与所述外壳体（1）连接。
3.根据权利要求2所述的适用于半导体清洗机的抽风装置，其特征在于：所述轴套（51...
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳森，刘畅，
申请(专利权)人：苏州芯矽电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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