【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种高度调节装置，尤其涉及一种蒸发源坩埚高度调节装置，应用于高真空蒸镀设备。
技术介绍
1、真空蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。真空蒸镀是用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
2、真空蒸发镀膜设备的主体是腔室，腔室内设置有蒸发源坩埚，并以腔室为依托集成而搭建真空系统、加热系统、冷却系统、传输系统、蒸发源系统和检测设备。但是，常用蒸发源坩埚高度无法调节或者调节结构复杂，导致蒸发源组装难度提高，继而使蒸发设备工艺参数调节方式受到一定限制。比如冷却系统一般设置在坩埚的下方，如果不能简单可靠地调节蒸发源坩埚高度，尽量使得坩埚靠近冷却系统，显然会极大地影响冷却效果。
3、此外，蒸发源坩埚的蒸发过程必须在空气稀薄的真空环境中进行，否则蒸发粒子将与空气分子碰撞，使膜污染甚至形成氧化物，或者蒸发源氧化烧毁等。因此，有必要在不影响蒸发源的使用气密性同时，改进现有蒸发源坩埚的高度调节结构。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是提供一种蒸发源坩埚高度调节装置，不但能够方便地调节蒸发源坩埚高度，同时不影响蒸发源的使用气密性，而且结构形式简单，方便拆卸和维护。
2、本技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种蒸发源坩埚高度调节装置，其中，包括坩埚底托，所述坩埚底托通过连接杆和调节螺栓相连，所述调节螺栓与蒸发源的底部
3、进一步地，所述坩埚底托与蒸发源坩埚底部部分接触形成隔热空腔。
4、进一步地，所述连接杆的一端为外螺纹端头，另一端为中空内螺纹；所述连接杆的外螺纹端头和坩埚底托的中空内螺纹连接并设置连接销，所述调节螺栓的外螺纹端头和连接杆的中空内螺纹连接并设置连接销。
5、进一步地，所述连接杆的数目为多根，相邻连接杆之间螺纹连接并设置连接销。
6、进一步地，所述调节螺栓和连接杆之间设置有防护套。
7、本技术对比现有技术有如下的有益效果：本技术提供的蒸发源坩埚高度调节装置，采用坩埚底托配合连接杆和调节螺栓，支撑蒸发源坩埚的同时调节坩埚高度，适用大部分蒸发源坩埚高度调节；不但能够方便地调节蒸发源坩埚高度，同时不影响蒸发源的使用气密性，而且结构形式简单，方便拆卸和维护。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种蒸发源坩埚高度调节装置，其特征在于，包括坩埚底托，所述坩埚底托通过连接杆和调节螺栓相连，所述调节螺栓与蒸发源的底部法兰螺纹连接，所述调节螺栓上套设锁紧螺母，通过旋转调节螺栓进行高度调节并通过锁紧螺母锁定调整后的整体高度；所述调节螺栓上形成有凹槽，所述凹槽内设置有密封圈与蒸发源外壳的底部形成径向密封。
2.如权利要求1所述的蒸发源坩埚高度调节装置，其特征在于，所述坩埚底托与蒸发源坩埚底部部分接触形成隔热空腔。
3.如权利要求1所述的蒸发源坩埚高度调节装置，其特征在于，所述连接杆的一端为外螺纹端头，另一端为中空内螺纹；所述连接杆的外螺纹端头和坩埚底托的中空内螺纹连接并设置连接销，所述调节螺栓的外螺纹端头和连接杆的中空内螺纹连接并设置连接销。
4.如权利要求3所述的蒸发源坩埚高度调节装置，其特征在于，所述连接杆的数目为多根，相邻连接杆之间螺纹连接并设置连接销。
5.如权利要求1所述的蒸发源坩埚高度调节装置，其特征在于，所述调节螺栓和连接杆之间设置有防护套。
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源坩埚高度调节装置，其特征在于，包括坩埚底托，所述坩埚底托通过连接杆和调节螺栓相连，所述调节螺栓与蒸发源的底部法兰螺纹连接，所述调节螺栓上套设锁紧螺母，通过旋转调节螺栓进行高度调节并通过锁紧螺母锁定调整后的整体高度；所述调节螺栓上形成有凹槽，所述凹槽内设置有密封圈与蒸发源外壳的底部形成径向密封。
2.如权利要求1所述的蒸发源坩埚高度调节装置，其特征在于，所述坩埚底托与蒸发源坩埚底部部分接触形成隔热空腔。
3.如权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：闻益，
申请(专利权)人：浙江晟霖益嘉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。