【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于物理及半导体测试，涉及探针台测试设备，具体地，涉及一种高低温探针台的探针组件。
技术介绍
1、探针台测试设备是一种应用广泛的非破坏性测试手段，可用于物理及半导体领域的测试。在某些情形下，需要测试被测样品在特定温度下的性能表现，以进一步了解被测样品的性能。此时，需要对被测样品进行冷却或加热，以使其温度达到测试所需的温度。
2、在实际使用时，一般是将被测物固定后，移动探针以使得探针与被测物的相应位置接触，随后调整被测物的温度，并利用探针向被测物传递信号或接收被测物的信号，进而对被测物的性能进行分析。申请人发现，在实际使用过程中，由于检测过程中的温度变化，被测物和相应的探针等组件均可能出现形状变化，在检测过程中容易引起探针尖端与被测物表面的相对位置的变动，影响探针的扎针，进而干扰检测过程。
3、在
技术介绍
部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本专利技术背景的理解，因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的变温过程容易干扰探针扎针的问题，本专利技术提供了一种高低温探针台的探针组件，包括探针臂基座、探针臂、转接件、探针，所述探针臂连接于所述探针座，所述探针通过所述转接件连接于所述探针臂，所述转接件包括连接块、弹片，所述连接块设置有两个，所述连接块被构造成包括外接部、组合部，两个所述连接块的所述组合部相互正对，所述弹片连接于两个所述连接块的所述组合部，所述弹片沿所述探针臂长度的方向上对称设置；所述连接块的其
2、优选地，所述弹片设置有至少两个。
3、进一步优选地，至少两个所述弹片沿垂直于所述探针臂的长度方向对称。
4、优选地，所述探针组件还包括波纹管，所述波纹管的一端连接于所述探针臂基座，另一端连接于至少容纳被测物的腔体，所述探针臂、转接件、探针设置于所述波纹管内侧。
5、优选地，所述探针组件还包括连接线缆，所述连接线缆的一端连接于所述探针，另一端连接于所述探针臂基座的测量接口。
6、进一步优选地，所述连接线缆与所述转接件之间设置有间隔。
7、更进一步优选地，所述探针臂上设置有线缆支架，所述连接线缆被所述线缆支架限位。
8、优选地，所述探针组件还包括冷链，所述冷链与所述转接件导冷连接。
9、优选地，所述探针组件还包括加热器、温度传感器的其中至少之一，所述加热器、温度传感器与所述转接件连接。
10、优选地，所述探针组件还包括加热器、传感器的其中至少之一，所述加热器、传感器的其中至少之一与所述转接件连接。
11、优选地，所述探针座包括位移台，所述探针臂连接于所述位移台的可动侧，所述位移台的固定侧与外部设备连接。
12、进一步优选地，所述探针座还包括旋转台，所述探针臂安装于所述旋转台的旋转侧，所述旋转台的固定侧连接于所述位移台的可动侧，所述旋转台被构造成所述旋转侧能够带动所述探针臂至少在周向方向上旋转的形式。
13、本专利技术至少具有以下有益效果：通过在探针与探针臂之间增加转接件，可以补偿至少包括探针臂的热胀冷缩，保证探针尖和样品不会发生相对位移且能够使探针与被测物保持接触以避免检测失败，且在温度调节过程中无需重新扎针，大大便利了探针测试的过程，提升变温测试效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：包括探针座、探针臂、转接件、探针，所述探针臂连接于所述探针座，所述探针通过所述转接件连接于所述探针臂，
2.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述弹片设置有至少一个。
3.如权利要求2所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：至少两个所述弹片沿垂直于所述探针臂的长度方向对称。
4.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针组件还包括波纹管，所述波纹管的一端连接于所述探针座，另一端连接于至少容纳被测物的腔体，所述探针臂、转接件、探针设置于所述波纹管内侧。
5.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针组件还包括连接线缆，所述连接线缆的一端连接于所述探针，另一端连接于所述探针座的测量接口。
6.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针组件还包括冷链，所述冷链与所述转接件导冷连接。
7.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针组件还包括加热器、温
8.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针组件还包括加热器、传感器的其中至少之一，所述加热器、传感器与所述转接件连接。
9.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针座包括位移台，所述探针臂连接于所述位移台的可动侧，所述位移台的固定侧与外部设备连接。
10.如权利要求9所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针座还包括旋转台，所述探针臂安装于所述旋转台的旋转侧，所述旋转台的固定侧连接于所述位移台的可动侧，所述旋转台被构造成所述旋转侧能够带动所述探针臂至少在周向方向上旋转的形式。
...【技术特征摘要】
1.一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：包括探针座、探针臂、转接件、探针，所述探针臂连接于所述探针座，所述探针通过所述转接件连接于所述探针臂，
2.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述弹片设置有至少一个。
3.如权利要求2所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：至少两个所述弹片沿垂直于所述探针臂的长度方向对称。
4.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针组件还包括波纹管，所述波纹管的一端连接于所述探针座，另一端连接于至少容纳被测物的腔体，所述探针臂、转接件、探针设置于所述波纹管内侧。
5.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件，其特征在于：所述探针组件还包括连接线缆，所述连接线缆的一端连接于所述探针，另一端连接于所述探针座的测量接口。
6.如权利要求1所述的一种高低温探针台的探针组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡旭东，宋键镗，曹志强，张学莹，李烜，黄继新，
申请(专利权)人：致真精密仪器杭州有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。