System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 基于机器学习的设计规则合规性布局微调制造技术_技高网

基于机器学习的设计规则合规性布局微调制造技术

技术编号:42221249 阅读:23 留言:0更新日期:2024-07-30 19:02
本文描述了用于生成集成电路布局的系统和方法的实施例。一种用于生成集成电路布局的计算机实现的方法,包括:接收集成电路的第一布局,将第一布局分割成多个不同的块,多个块中的每个块描述第一布局的离散部分,识别多个块中的不合规块,不合规块违反管理集成电路的制造的设计规则,使用机器学习模型生成不合规块的变换,以及使用变换和第一布局生成第二布局。其中,第二布局符合设计规则。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开一般涉及集成电路设计,并且特别地但非排他地涉及用于生成符合供应商工艺节点设计规则的功能上一致并且可制造的集成电路布局的技术。


技术介绍

1、当代集成电路布局包括多个物理层或材料层。每个层在布局中表示为二进制掩模。掩模指示在晶片制作期间光致抗蚀剂材料将被暴露的定位。以此方式,掩模描述半导体集成电路中材料的存在或不存在。集成电路的制作通常包括多个沉积和去除步骤,每个沉积和去除步骤可以通过一个或多个二进制掩模来描述。整体布局描述了沉积在半导体层中的导电材料、半导体材料和绝缘材料的定位,并且可以精确到纳米级。因此,制作误差可能损害集成电路的功能并且可能影响制作工艺的产量。

2、每个半导体制造系统对集成电路布局施加约束,这是由于制造工艺的可变性和集成电路按设计起作用的需要而引起的。为了在称为“供应商处理节点”的给定系统上可制造,布局必须符合特定于该系统的设计规则。设计规则将由过程节点施加的约束编码为例如可以在软件中自动化的逻辑(称为“电子设计自动化”和“设计规则检查”)。在说明性示例中,集成电路布局可能受到形成物理集成电路的纳米级几何形状的光学光刻工艺的分辨率的限制。

3、机器学习模型以各种方式训练,包括通过使用标记训练集的监督学习。由于人类专业知识在设计过程中的整体参与以及由于对作为设计规则基础的专有光学光刻系统数据的访问限制,集成电路设计代表了机器学习模型的开发的挑战。因此,训练数据限于公共可用的合规(compliant)布局,例如,用于训练分类器模型的无监督方法。在一些情况下,半导体制造商使标记的合规和不合规(non-compliant)布局的有限数据集可用,从而实现监督学习技术。因此,需要训练和部署机器学习模型的技术来识别不合规集成电路布局并生成保留电路功能的合规布局。


技术实现思路

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于生成集成电路布局的计算机实现的方法,所述计算机实现的方法包括:

2.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块是第一块,所述变换是第一变换,所述设计规则是第一设计规则,并且其中,所述计算机实现的方法还包括:

3.根据权利要求2所述的计算机实现的方法,其中,生成所述全局变换包括:

4.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块定义多个多边形,并且其中,所述变换描述所述多个多边形中的多边形相对于第一布局的修改。

5.根据权利要求4所述的计算机实现的方法,其中,所述变换描述多边形的边缘的位移、边缘中的间隙的引入、或者边缘中的顶点的引入。

6.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述机器学习模型是卷积神经网络模型,并且其中,生成所述变换包括:

7.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,还包括训练机器学习模型,所述训练包括:

8.根据权利要求7所述的计算机实现的方法,还包括:

9.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块描述集成电路的物理区域。

10.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块描述由第一布局描述并且由集成电路实现的逻辑功能的物理实施方式。

11.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述变换描述由变换影响的集成电路的层、变换在层中的位置以及变换的程度。

12.根据权利要求11所述的计算机实现的方法,其中,所述变换在不合规块的多边形的边缘处进行。

13.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,第一布局和第二布局在功能上是一致的。

14.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,还包括将第二布局输出到显示器作为交互式设计环境的一部分。

15.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,识别所述不合规块包括使用设计规则检查引擎来根据设计规则检查所述多个块。

16.至少一种机器可访问存储介质,所述至少一种机器可访问存储介质提供指令,所述指令在由机器执行时,将使得机器执行操作,所述操作包括:

17.根据权利要求16所述的至少一种机器可访问存储介质,其中,所述不合规块是第一块,所述变换是第一变换,所述设计规则是第一设计规则,并且其中,所述指令在由机器执行时还使得机器执行操作,所述操作包括:

18.根据权利要求17所述的至少一种机器可访问存储介质,其中,生成所述全局变换包括:

19.根据权利要求16所述的至少一种机器可访问存储介质,其中,所述不合规块定义多个多边形,并且其中,所述变换描述所述多个多边形中的多边形的边缘的位移、边缘中的间隙的引入、或者边缘中的顶点的引入。

20.根据权利要求16所述的至少一种机器可访问存储介质,其中,生成所述变换包括:

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于生成集成电路布局的计算机实现的方法,所述计算机实现的方法包括:

2.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块是第一块,所述变换是第一变换,所述设计规则是第一设计规则,并且其中,所述计算机实现的方法还包括:

3.根据权利要求2所述的计算机实现的方法,其中,生成所述全局变换包括:

4.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块定义多个多边形,并且其中,所述变换描述所述多个多边形中的多边形相对于第一布局的修改。

5.根据权利要求4所述的计算机实现的方法,其中,所述变换描述多边形的边缘的位移、边缘中的间隙的引入、或者边缘中的顶点的引入。

6.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述机器学习模型是卷积神经网络模型,并且其中,生成所述变换包括:

7.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,还包括训练机器学习模型,所述训练包括:

8.根据权利要求7所述的计算机实现的方法,还包括:

9.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块描述集成电路的物理区域。

10.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述不合规块描述由第一布局描述并且由集成电路实现的逻辑功能的物理实施方式。

11.根据权利要求1所述的计算机实现的方法,其中,所述变换描述由变换影响的集成电路的层、...

【专利技术属性】
技术研发人员:R·艾普特C·贝鲁齐K·希尔O·路易斯Z·潘D·鲁伊克
申请(专利权)人:X开发有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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