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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及dcb烧结治具,具体涉及一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法。
技术介绍
1、dcb技术是利用铜的含氧共晶液直接将铜敷接在陶瓷上,其基本原理就是敷接过程前或过程中在铜与陶瓷(氧化铝)之间引入适量的氧元素,在一定的温度范围内,铜与氧形成cu-o共晶液,浸润铜箔实现陶瓷基板与铜板的结合。
2、现行业的覆铜陶瓷基板(dcb)在烧结生产过程中,因产品不可直接与生产设备直接接触,因而使用隧道炉烧结产品时需在治具中加入一个盖板,盖板材质基本为氧化铝材质,若盖板因滑落或者破裂等因素与dcb产品发生接触时,会与dcb产品上的铜片在高温下键合,会产生粘连而导致dcb产品报废,增加dcb产品的生产成本。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,通过将氧化镁和正硅酸乙酯在无水乙醇作为分散剂的作用下,混合均匀得到待反应溶液,并均匀喷涂至氧化铝陶瓷板的表面,并在高温条件下,生成硅酸镁煅烧层包覆在氧化铝陶瓷板的表面,防止硅酸镁煅烧层在烧结过程中发生脱落,隔绝氧化铝材质的盖板与dcb产品中的铜接触,解决了现有技术中存在的上述问题。
2、为解决上述技术问题,本专利技术采用了以下方案:
3、一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,包括以下步骤:
4、步骤一:盖板为氧化铝陶瓷板,对氧化铝陶瓷板的表面粗化处理;
5、步骤二:将氧化镁和正硅酸乙酯按比例进行混合均匀,得到待反应溶液;
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7、步骤四:待步骤三中的氧化铝陶瓷板干燥后烧结,氧化铝陶瓷板的表面形成硅酸镁烧结层。
8、本专利技术主要采用氧化镁和正硅酸乙酯在高温条件下反应,产生了新物相硅酸镁,新物相硅酸镁在生成过程中对氧化铝陶瓷有很好的包覆性,容易形成稳定致密、不易脱落的包覆层。
9、氧化镁和正硅酸乙酯均作为反应剂氧化镁提供镁源,正硅酸乙酯提供硅源,二者在高温条件下生成硅酸镁,从而在盖板表面形成一层镀层。
10、具体的反应原理为:
11、正硅酸乙酯(c2h5o)4si在高温条件下反应生成纳米级别sio2:
12、(c2h5o)4si+o2→co2+h2o+sio2。
13、新生成的氧化硅与氧化镁在1000℃以上反应生成硅酸镁:
14、sio2+mgo→mgsio3。
15、具体地,本方法中未直接使用氧化硅当涂覆原料,而采用正硅酸乙酯来新生成氧化硅来提供反应剂,正是因为利用正硅酸乙酯在高温条件下新生产的氧化硅为纳米级别,其纳米级别的氧化硅的反应活性更高,以产生更佳的包覆效果。而直接涂抹硅酸镁粉于氧化铝陶瓷板的表面会造成容易脱落,脱落的粉状物质从而掉落至治具内,与治具内的dcb产品产生接触,最终污染dcb产品,导致dcb产品报废,增加生产成本。
16、需要注意地是,本方法中的高温条件指的是温度处于1000℃~1400℃。
17、进一步优选地,所述步骤一中,经粗化处理后氧化铝陶瓷板表面的粗糙度为0.5μm~3μm。
18、通过对氧化铝陶瓷板表面进行粗化处理,增加其表面的粗糙度,从而提高硅酸镁烧结层与氧化铝陶瓷板之间的包覆结合力。
19、进一步优选地,所述步骤二中各组分按质量百分数计,氧化镁40%~50%,正硅酸乙酯20%~30%,其余为分散剂。
20、分散剂用于确保氧化镁和正硅酸乙酯的均匀分布和稳定悬浮,从而将氧化镁和正硅酸乙酯均匀地喷涂于氧化铝陶瓷板的表面。
21、进一步优选地,所述氧化镁和正硅酸乙酯分别作为反应剂。
22、进一步优选地,所述分散剂为无水乙醇。
23、进一步优选地,所述步骤四中,烧结的温度为1000℃~1400℃,烧结时间为3h~6h。
24、进一步优选地,所述步骤四中,所述硅酸镁烧结层的厚度为0.5μm~1.5μm。
25、进一步优选地,所述氧化铝陶瓷板的长度为190mm~210mm,宽度为150mm~170mm。
26、进一步优选地,所述氧化铝陶瓷板的厚度为0.3mm~2.0mm。
27、本专利技术的有益效果为:本专利技术为一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,先将氧化镁和正硅酸乙酯的混合物均匀喷涂于氧化铝陶瓷板的表面,再经过高温烧结,正硅酸乙酯在高温下生成纳米级别的氧化硅,新生成的纳米级别的氧化硅继而与氧化镁在高温条件下生成硅酸镁,硅酸镁在生成的过程中对氧化铝陶瓷板具有好的包覆性,在氧化铝陶瓷板的表面形成稳定致密、不易脱落的包覆层,实现dcb产品中的铜不会与盖板内的氧化铝接触,避免铜与氧化铝高温键合,从而不会使dcb产品的性能发生改变,降低产品报废率。
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1.一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述步骤一中,经粗化处理后氧化铝陶瓷板表面的粗糙度为0.5μm~3μm。
3.根据权利要求1所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述步骤二中各组分按质量百分数计,氧化镁40%~50%,正硅酸乙酯20%~30%,其余为分散剂。
4.根据权利要求3所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述氧化镁和正硅酸乙酯分别作为反应剂。
5.根据权利要求3所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述分散剂为无水乙醇。
6.根据权利要求3所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述步骤四中,烧结的温度为1000℃~1400℃,烧结时间为3h~6h。
7.根据权利要求3所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述步骤四中,所述硅酸镁烧结层的厚度为0.5μm~1.5
8.根据权利要求3所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述氧化铝陶瓷板的长度为190mm~210mm,宽度为150mm~170mm。
9.根据权利要求3所述的一种用于减少DCB烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述氧化铝陶瓷板的厚度为0.3mm~2.0mm。
...【技术特征摘要】
1.一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述步骤一中,经粗化处理后氧化铝陶瓷板表面的粗糙度为0.5μm~3μm。
3.根据权利要求1所述的一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述步骤二中各组分按质量百分数计,氧化镁40%~50%,正硅酸乙酯20%~30%,其余为分散剂。
4.根据权利要求3所述的一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所述氧化镁和正硅酸乙酯分别作为反应剂。
5.根据权利要求3所述的一种用于减少dcb烧结治具中盖板粘连的方法,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:帅豪,丁勤,涂俸文,胡琳,
申请(专利权)人:四川富乐华半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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