【技术实现步骤摘要】
本技术涉及vuv光谱仪，具体是一种用于vuv光谱仪光学斩波器。
技术介绍
1、vuv光谱仪在材料分析，生物化学等方面有着重要的应用，但因其紫外辐射会被大气中大多数气体吸收而无法透过，所以光谱仪在运行过程需要高真空或超高真空。vuv光谱仪主要在高真空或者超高真空内运行，同时谱仪进行表面物理研究时需要较高的洁净度。在各种条件要求下普通的光学斩波器无法应用在vuv光谱仪上，如图5所示，当前市场上的光学斩波器主要为风扇式，在一定转速下将连续光调制成固定周期性的断续光，把恒定光源变成脉冲光源。同时频率测量装置测量斩波频率，输出与脉冲光源同频的脉冲信号，用于搭配锁相进行信号捕捉放大使用。该种光学斩波器设计只输出一路透射光信号，另一路阻挡状态无法进行光的利用。
2、vuv光谱仪需要对光进行透射和反射两种利用，所以光学斩波器需要满足对紫外光的反射与透射两种状态，同时测频模块需要测量脉冲光频率并输出，同时vuv光谱仪光学斩波器需要兼容于高真空。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种能同时利用反射和透射光测定光谱频率的斩波器，结构更简单。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种用于vuv光谱仪光学斩波器，包括陶瓷光电开关、斩波片、驱动装置和挡光片，所述斩波片包括至少两片同心连接的扇叶，相邻两片扇叶之间设置有用于光波透过的缺口，所述挡光片的扇叶和缺口数量与斩波片相同，且挡光片每个扇叶和缺口与斩波片每个扇叶和缺口一一对应，两个对应的扇叶具有相同圆心角
4、所述斩波片和挡光片通过定位卡环同轴连接在所述驱动装置的驱动主轴端。
5、所述斩波片远离所述驱动装置一面镀有反射膜。
6、所述反射膜为金膜或铝膜，所述反射膜发射面的粗糙度rms值小于等于3。
7、所述斩波片的扇叶数量为五片，且五片扇叶沿轴向圆周均布。
8、所述驱动装置包括用于真空环境的无刷直流伺服电机和固定座，所述固定座用于无刷直流伺服电机的固定。
9、所述斩波片的反射面在反射时与单色器所分出光束形成的入射夹角为45°。
10、所述陶瓷光电开关连接在无刷直流伺服电机的壳体下部。
11、进一步的方案中，所述陶瓷光电开关包括光电开关和陶瓷基板，所述光电开关一体连接在陶瓷基板上。
12、进一步的方案中，所述光电开关为u型光电开关。
13、本技术的有益效果：
14、本技术通过与斩波片同轴设置的挡光片，更方便与陶瓷光电开关感应，可减小整个斩波器一体安装于光路时的体积，使得结构更简单，可采用较小尺寸的陶瓷光电开关，使得整体结构更小更简单。
15、采用陶瓷基板的陶瓷光电开关可以使得该光电开关兼容真空环境中使用。
16、斩波片镀反射膜可以用于反射光反射信号的收集，用于参考，可以使得探测数据更精确。
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1.一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，包括陶瓷光电开关(1)、斩波片(2)、驱动装置(3)和挡光片(4)，所述斩波片(2)包括至少两片同心连接的扇叶，相邻两片扇叶之间设置有用于光波透过的缺口，所述挡光片(4)的扇叶和缺口数量与斩波片(2)相同，且挡光片(4)每个扇叶和缺口与斩波片(2)每个扇叶和缺口一一对应，两个对应的扇叶具有相同圆心角，所述挡光片(4)的最大半径小于所述斩波片(2)，所述斩波片(2)和挡光片(4)依次同轴连接在驱动装置(3)的驱动主轴端，且通过驱动装置(3)驱动旋转，所述陶瓷光电开关(1)设置在所述挡光片(4)的下方，用于感应挡光片(4)的位置。
2.根据权利要求1所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述斩波片(2)和挡光片(4)通过定位卡环(5)同轴连接在所述驱动装置(3)的驱动主轴端。
3.根据权利要求1所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述斩波片(2)远离所述驱动装置(3)一面镀有反射膜。
4.根据权利要求3所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述反射膜为金膜或铝膜，
5.根据权利要求3所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述斩波片(2)的扇叶数量为五片，且五片扇叶沿轴向圆周均布。
6.根据权利要求1所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述驱动装置(3)包括用于真空环境的无刷直流伺服电机(31)和固定座(32)，所述固定座(32)用于无刷直流伺服电机(31)的固定。
7.根据权利要求6所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述斩波片(2)的反射面在反射时与单色器所分出光束形成的入射夹角为45°。
8.根据权利要求1所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述陶瓷光电开关(1)连接在无刷直流伺服电机(31)的壳体下部。
9.根据权利要求1所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述陶瓷光电开关(1)包括光电开关(11)和陶瓷基板(12)，所述光电开关(11)一体连接在陶瓷基板(12)上。
10.根据权利要求9所述的一种用于VUV光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述光电开关(11)为U型光电开关。
...【技术特征摘要】
1.一种用于vuv光谱仪光学斩波器，其特征在于，包括陶瓷光电开关(1)、斩波片(2)、驱动装置(3)和挡光片(4)，所述斩波片(2)包括至少两片同心连接的扇叶，相邻两片扇叶之间设置有用于光波透过的缺口，所述挡光片(4)的扇叶和缺口数量与斩波片(2)相同，且挡光片(4)每个扇叶和缺口与斩波片(2)每个扇叶和缺口一一对应，两个对应的扇叶具有相同圆心角，所述挡光片(4)的最大半径小于所述斩波片(2)，所述斩波片(2)和挡光片(4)依次同轴连接在驱动装置(3)的驱动主轴端，且通过驱动装置(3)驱动旋转，所述陶瓷光电开关(1)设置在所述挡光片(4)的下方，用于感应挡光片(4)的位置。
2.根据权利要求1所述的一种用于vuv光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述斩波片(2)和挡光片(4)通过定位卡环(5)同轴连接在所述驱动装置(3)的驱动主轴端。
3.根据权利要求1所述的一种用于vuv光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述斩波片(2)远离所述驱动装置(3)一面镀有反射膜。
4.根据权利要求3所述的一种用于vuv光谱仪光学斩波器，其特征在于，所述反射膜为金膜或铝膜，所述反射膜发...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤建军，习建博，唐逸轩，李朝阳，
申请(专利权)人：安徽创谱仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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