【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及基板保持器及基板处理装置。
技术介绍
1、在用于对基板实施镀覆的基板处理装置中，有时使用用于保持基板的基板保持器。在专利文献1中公开了这样的基板保持器的一个例子。在专利文献1中，如其图2a及图2b所示，公开了具备前框架、后框架及用于夹紧前框架和后框架的夹紧器的基板保持器。在该基板保持器中，当在框架间夹着基板时，夹紧器夹紧前框架和后框架，将前框架及后框架相对于彼此固定。
2、在专利文献1的基板保持器中，夹紧器露出到表面。因此，若将该基板保持器浸渍于镀覆液等处理液并从处理液中取出，则处理液附着于夹紧器，导致作为消耗品的处理液从处理槽被带出。特别是夹紧器由形成有许多的凹凸的细小的部件构成，因此附着于夹紧器而从处理槽被带出的处理液比较多。并且，在清洗时，也难以冲洗附着于构成夹紧器的部件的细小的部分的处理液。
3、因此，追求处理液不附着于夹紧器那样的基板保持器。在专利文献2中公开了这样的基板保持器。在专利文献2中，如其图5b所示，公开了一种基板保持器，具有：第一保持部件；第二保持部件；密封部件，构成为在基板保持器的内部形成密封的空间；销；环，与销卡合；以及移动机构，构成为使环沿周向移动。在该基板保持器中，将销与环相互卡合，由此第一保持部件与第二保持部件被相互固定。而且，销及环设置于密封的空间的内部。因此，即使在基板保持器被浸渍于镀覆液时，销及环也不与镀覆液接触。其结果是，通过用于将第一保持部件与第二保持部件相互固定的机构，镀覆液不会从镀覆槽被带出。
4、专利文献1：日本专利第6971922
5、专利文献2：日本特开2020-2389号公报
6、如上述那样，在专利文献2所公开的基板保持器中，为了将第一保持部件及第二保持部件相互固定，需要用于使环沿周向移动的移动机构。在专利文献2中，公开了杆部件作为该移动机构。杆部件构成为从基板保持器的外部延伸至基板保持器的内部空间。因此，在专利文献2的基板保持器中，为了配置杆部件，需要连接基板保持器的外部与基板保持器的内部空间的通路。其结果是需要考虑到配置该通路的空间的设计，导致基板保持器的设计的自由度降低。而且，在专利文献2中公开的基板保持器的前提是保持对象的基板形状为圆形，在基板形状为矩形的情况下，构造变得复杂而难以实现。
7、相对于此，若构成为用于将第一保持部件与第二保持部件相互固定的机构能够以不接触的方式操作，则不需要连接基板保持器的外部与基板保持器的内部空间的通路，能够解决上述的课题。因此，要求构成为用于将第一保持部件与第二保持部件相互固定的机构能够以不接触的方式操作的基板保持器。
技术实现思路
1、因此，本公开的目的之一在于提供构成为用于将第一保持件(第一保持部件)与第二保持件(第二保持部件)相互固定的机构能够以不接触的方式操作的基板保持器及基板处理装置。
2、一个实施方式所涉及的基板保持器为一种基板保持器，其中，具备：第一保持件；第二保持件，用于与上述第一保持件一起夹入并保持基板；卡合部件，设置于上述第一保持件和上述第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于上述第一保持件和上述第二保持件中的另一方，上述卡合部件构成为具有磁铁，通过作用于上述磁铁的磁力而能够在锁定位置与解锁位置之间移动，上述锁定位置是上述卡合部件与上述被卡合部件卡合而将上述第一保持件与上述第二保持件相互固定的位置，上述解锁位置是上述卡合部件与上述被卡合部件的卡合被解除而解除上述第一保持件与上述第二保持件的固定的位置。
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1.一种基板保持器，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的基板保持器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的基板保持器，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的基板保持器，其特征在于，
5.根据权利要求3或4所述的基板保持器，其特征在于，
6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板保持器，其特征在于，
7.根据权利要求1～6中任一项所述的基板保持器，其特征在于，具备：
8.根据权利要求1～5中任一项所述的基板保持器，其特征在于，
9.根据权利要求1～7中任一项所述的基板保持器，其特征在于，
10.根据权利要求1～7中任一项或权利要求9所述的基板保持器，其特征在于，
11.一种基板处理装置，其特征在于，具备：
12.一种基板处理装置，其特征在于，具备：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种基板保持器，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的基板保持器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的基板保持器，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的基板保持器，其特征在于，
5.根据权利要求3或4所述的基板保持器，其特征在于，
6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板保持器，其特征在于，
7.根据权利要求1...
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