【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆片加工领域，具体涉及一种用于晶圆片加工的滚磨机。
技术介绍
1、晶圆片的由来，是先将二氧化矽经过纯化、融解、蒸馏之后制成硅晶棒(也称矽晶棒)，晶圆厂再对这些硅晶棒滚磨、抛光和切片制成晶圆母片。硅晶棒滚磨时，通常由人工将圆度缺陷的硅晶棒安装至两个能够对硅晶棒进行夹持的旋转轴上，在上料环节时，工人需要将硅晶棒以与旋转轴同轴且端面相互平行的方式放置到两个旋转轴之间，再操作两个旋转轴对硅晶棒进行夹持，待硅晶棒滚磨后，再将硅晶棒取下。
2、人工进行上料时，硅晶棒与旋转轴的位置校对难度较高，费时费力，且人工操作误差较大，存在硅晶棒与旋转轴不同轴而导致硅晶棒滚磨精度降低的问题。因此，本领域技术人员提供了一种用于晶圆片加工的滚磨机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术提供一种用于晶圆片加工的滚磨机，包括底杆，所述底杆上端对称开设滑槽一，两个滑槽一内共设置螺纹杆一，螺纹杆一外表面前后部螺纹方向相反，螺纹杆一外表面对称套设螺纹套一，两个螺纹套一分别位于两个滑槽一内，螺纹杆一后端安装电机一，螺纹套一上端安装固定板，固定板靠内一端转动连接挤压旋转轮，后侧挤压旋转轮后端安装电机二；
2、底杆左端安装底板，底板和底杆上端共横向安装凹槽杆一，凹槽杆一内设置螺纹杆二，螺纹杆二右端安装电机三，螺纹杆二外表面套设螺纹套二，螺纹套二上端安装移动杆，移动杆上端对称开设滑槽二，两个滑槽二内共设置螺纹杆三，螺纹杆三右端安装电机四，螺纹杆三外表面左
3、螺纹杆三外表面对称套设螺纹套三，两个螺纹套三分别位于两个滑槽二内，螺纹套三上端安装纵向板，纵向板上端对称安装定位杆，定位杆靠内一端安装弧形夹块，弧形夹块的弧度和硅晶棒弧度相同，弧形夹块靠内一端安装橡胶垫，左右两侧橡胶垫内壁之间的距离为硅晶棒的直径；
4、两个固定板上端通过滑轨滑动连接凹槽杆二，凹槽杆二内设置螺纹杆四，螺纹杆四外表面套设螺纹套四，螺纹套四下端安装打磨机构，螺纹杆四一端安装电机五。
5、优选的：所述移动杆上端开设插槽，且插槽横截面呈t型。
6、优选的：所述移动杆上端设置收集框，且收集框位于弧形夹块下方。
7、优选的：所述收集框下端安装插杆，且插杆横截面呈t型。
8、优选的：所述收集框和弧形夹块之间设置托板，托板左端通过连接杆固定连接底板。
9、本技术的技术效果和优点：
10、本技术通过两侧的弧形夹块将硅晶棒位置拨正夹住，因为左右两侧橡胶垫内壁之间的距离为硅晶棒的直径，硅晶棒表面突出的部分会挤压橡胶垫，使的硅晶棒中心位置和两个弧形夹块的中心位置相同，然后硅晶棒向右移动，螺纹套二向右移动接触凹槽杆一内右壁时停止移动，此时，硅晶棒的中心位置对应两侧挤压旋转轮的中心位置，通过两侧挤压旋转轮夹住硅晶棒，然后通过打磨机构对硅晶棒表面进行全方位打磨，本技术能将硅晶棒上到准确的位置，避免因硅晶棒轴心与挤压旋转轮的轴心不在一起，而造成硅晶棒滚磨精度的降低。
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1.一种用于晶圆片加工的滚磨机，包括底杆(1)，其特征在于，所述底杆(1)上端对称开设滑槽一(2)，两个滑槽一(2)内共设置螺纹杆一(3)，螺纹杆一(3)外表面前后部螺纹方向相反，螺纹杆一(3)外表面对称套设螺纹套一(5)，两个螺纹套一(5)分别位于两个滑槽一(2)内，螺纹杆一(3)后端安装电机一(4)，螺纹套一(5)上端安装固定板(6)，固定板(6)靠内一端转动连接挤压旋转轮(7)，后侧挤压旋转轮(7)后端安装电机二(8)；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的滚磨机，其特征在于，所述移动杆(14)上端开设插槽(141)，且插槽(141)横截面呈T型。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的滚磨机，其特征在于，所述移动杆(14)上端设置收集框(24)，且收集框(24)位于弧形夹块(21)下方。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆片加工的滚磨机，其特征在于，所述收集框(24)下端安装插杆(25)，且插杆(25)横截面呈T型。
5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆片加工的滚磨机，其特征在于，所述收集框(24)和弧形夹块
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆片加工的滚磨机，包括底杆(1)，其特征在于，所述底杆(1)上端对称开设滑槽一(2)，两个滑槽一(2)内共设置螺纹杆一(3)，螺纹杆一(3)外表面前后部螺纹方向相反，螺纹杆一(3)外表面对称套设螺纹套一(5)，两个螺纹套一(5)分别位于两个滑槽一(2)内，螺纹杆一(3)后端安装电机一(4)，螺纹套一(5)上端安装固定板(6)，固定板(6)靠内一端转动连接挤压旋转轮(7)，后侧挤压旋转轮(7)后端安装电机二(8)；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片加工的滚磨机，其特征在于，所述移动杆(14)上端开设插...
【专利技术属性】
技术研发人员：李兴，文卫成，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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