一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀制造技术

本技术涉及一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀，包含阀体、水平设置在阀体内下端的活塞主轴组件、分别竖直设置在阀体内且位于活塞主轴组件两端上方用于延时启动外部横推气缸伸出及升降气缸回缩的两组活塞部件；所述活塞主轴组件控制升降气缸伸出的一端腔室与控制横推气缸伸出的活塞部件连通；所述活塞主轴组件控制横推气缸缩回的一端与控制升降气缸缩回的活塞部件连通；所述阀体顶面及两侧面设置有的密封组件；本技术通过活塞主轴组件与两组活塞部件配合，实现了对狭缝门的开关进行时序控制，将狭缝门的动作分解，减少密封圈的磨损，提高真空环境洁净度，并且既简化了机械结构，优化了空间，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及狭缝门领域，特指一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀。

技术介绍

1、真空腔室狭缝门需要先将门板竖直提升，之后门板横向运动与真空腔室壁面接触将门板上的密封圈压缩（密封圈覆盖范围大于狭缝），从而实现密封的目的。然而绝大多数狭缝门门板提升的后半程会同时进行门板的横向运动。此过程会加剧密封圈的磨损，使狭缝门整体寿命降低，同时密封圈的磨损带来了颗粒物，影响了蚀刻设备的真空洁净度要求。

技术实现思路

1、本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀。

2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀，包含阀体、水平设置在阀体内下端沿阀体长度方向放置用于控制外部升降气缸伸出及横推气缸回缩的活塞主轴组件、分别竖直设置在阀体内且位于活塞主轴组件两端上方用于延时启动外部横推气缸伸出及升降气缸回缩的两组活塞部件；所述活塞主轴组件控制升降气缸伸出的一端腔室与控制横推气缸伸出的活塞部件连通；所述活塞主轴组件控制横推气缸缩回的一端与控制升降气缸缩回的活塞部件连通；两组所述活塞部件均包括有下端与活塞主轴组件连通的第一活塞轴组件、下端与第一活塞轴组件一侧连通的第二活塞轴组件；所述阀体顶面及两侧面设置有用于密封两组活塞部件、活塞主轴组件及其相互连通通道避免漏气的密封组件。

3、优选的，所述活塞主轴组包括水平设置在阀体内下端的活塞主轴槽、滑动设置在活塞主轴槽内的活塞主轴杆、间隔套设在活塞主轴杆上中部用于将活塞主轴槽分成三个腔室的两个橡胶圈、依次设置在阀体正面上位于活塞主轴槽且沿活塞主轴槽轴向放置四个进气孔；所述沿活塞主轴槽两端的两个进气孔分别连接外部进气设备；所述活塞主轴槽中间两个进气孔分别与外部升降气缸的伸出端及横向气缸的回缩端及连接；两组所述活塞部件的第一活塞轴槽与活塞主轴槽连接的孔洞分别位于活塞主轴槽中间两个进气孔的正上方；所述阀体背面上位于活塞主轴槽处且位于活塞主轴槽中间两个进气孔之间的排气孔。

4、优选的，所述活塞主轴杆两端设置有减震块。

5、优选的，两组所述第一活塞轴组件及第二活塞轴组件的结构相同均包括活塞轴槽、滑动设置在活塞轴槽内的活塞轴杆、设置在活塞轴杆密封端的橡胶圈、套设在活塞轴杆上始终将活塞轴杆向下推的弹簧、设置在活塞轴槽上端处的排气孔；所两组述第二活塞轴组件的活塞轴槽位于下端上方处分别设置有用于连接外部横推气缸伸出端的进气孔及用于连接外部升降气缸缩回端的进气孔；两组所述第一活塞轴组件的活塞轴槽下端上方一侧分别与两组第二活塞轴组件的活塞轴槽底部连通。

6、优选的，所述密封组件包括设置在阀体顶面及其中一侧用于密封的压盖、设置在阀体另外一侧用于密封同侧第一活塞轴组件与第二活塞轴组件连通通道的堵头；所述阀体一侧的盖板上分别设置有用于防止活塞主轴槽漏气的活塞密封限位及同侧第一活塞轴组件与第二活塞轴组件连通通道漏气的密封圈。

7、由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：

8、本技术通过活塞主轴组件与两组活塞部件配合，实现了对狭缝门的开关进行时序控制，将狭缝门的动作分解，减少密封圈的磨损，提高真空环境洁净度，并且既简化了机械结构，优化了空间，降低了成本。

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【技术保护点】

1.一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：包含阀体、水平设置在阀体内下端沿阀体长度方向放置用于控制外部升降气缸伸出及横推气缸回缩的活塞主轴组件、分别竖直设置在阀体内且位于活塞主轴组件两端上方用于延时启动外部横推气缸伸出及升降气缸回缩的两组活塞部件；所述活塞主轴组件控制升降气缸伸出的一端腔室与控制横推气缸伸出的活塞部件连通；所述活塞主轴组件控制横推气缸缩回的一端与控制升降气缸缩回的活塞部件连通；两组所述活塞部件均包括有下端与活塞主轴组件连通的第一活塞轴组件、下端与第一活塞轴组件一侧连通的第二活塞轴组件；所述阀体顶面及两侧面设置有用于密封两组活塞部件、活塞主轴组件及其相互连通通道避免漏气的密封组件。

2.根据权利要求1所述的真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：所述活塞主轴组包括水平设置在阀体内下端的活塞主轴槽、滑动设置在活塞主轴槽内的活塞主轴杆、间隔套设在活塞主轴杆上中部用于将活塞主轴槽分成三个腔室的两个橡胶圈、依次设置在阀体正面上位于活塞主轴槽且沿活塞主轴槽轴向放置四个进气孔；所述沿活塞主轴槽两端的两个进气孔分别连接外部进气设备；所述活塞主轴槽中间两个进气孔分别与外部升降气缸的伸出端及横向气缸的回缩端及连接；两组所述活塞部件的第一活塞轴槽与活塞主轴槽连接的孔洞分别位于活塞主轴槽中间两个进气孔的正上方；所述阀体背面上位于活塞主轴槽处且位于活塞主轴槽中间两个进气孔之间的排气孔。

3.根据权利要求2所述的真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：所述活塞主轴杆两端设置有减震块。

4.根据权利要求1所述的真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：两组所述第一活塞轴组件及第二活塞轴组件的结构相同均包括活塞轴槽、滑动设置在活塞轴槽内的活塞轴杆、设置在活塞轴杆密封端的橡胶圈、套设在活塞轴杆上始终将活塞轴杆向下推的弹簧、设置在活塞轴槽上端处的排气孔；所两组述第二活塞轴组件的活塞轴槽位于下端上方处分别设置有用于连接外部横推气缸伸出端的进气孔及用于连接外部升降气缸缩回端的进气孔；两组所述第一活塞轴组件的活塞轴槽下端上方一侧分别与两组第二活塞轴组件的活塞轴槽底部连通。

5.根据权利要求1所述的真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：所述密封组件包括设置在阀体顶面及其中一侧用于密封的压盖、设置在阀体另外一侧用于密封同侧第一活塞轴组件与第二活塞轴组件连通通道的堵头；所述阀体一侧的盖板上分别设置有用于防止活塞主轴槽漏气的活塞密封限位及同侧第一活塞轴组件与第二活塞轴组件连通通道漏气的密封圈。

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【技术特征摘要】

1.一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：包含阀体、水平设置在阀体内下端沿阀体长度方向放置用于控制外部升降气缸伸出及横推气缸回缩的活塞主轴组件、分别竖直设置在阀体内且位于活塞主轴组件两端上方用于延时启动外部横推气缸伸出及升降气缸回缩的两组活塞部件；所述活塞主轴组件控制升降气缸伸出的一端腔室与控制横推气缸伸出的活塞部件连通；所述活塞主轴组件控制横推气缸缩回的一端与控制升降气缸缩回的活塞部件连通；两组所述活塞部件均包括有下端与活塞主轴组件连通的第一活塞轴组件、下端与第一活塞轴组件一侧连通的第二活塞轴组件；所述阀体顶面及两侧面设置有用于密封两组活塞部件、活塞主轴组件及其相互连通通道避免漏气的密封组件。

2.根据权利要求1所述的真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：所述活塞主轴组包括水平设置在阀体内下端的活塞主轴槽、滑动设置在活塞主轴槽内的活塞主轴杆、间隔套设在活塞主轴杆上中部用于将活塞主轴槽分成三个腔室的两个橡胶圈、依次设置在阀体正面上位于活塞主轴槽且沿活塞主轴槽轴向放置四个进气孔；所述沿活塞主轴槽两端的两个进气孔分别连接外部进气设备；所述活塞主轴槽中间两个进气孔分别与外部升降气缸的伸出端及横向气缸的回缩端及连接；两组所述活塞部件的第一活塞轴槽与...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冲霄，
申请(专利权)人：苏州子山半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：