【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光加工，特别是涉及一种用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置。
技术介绍
1、激光加工是一种常用的加工方式，常用于板材切割等切割作业中，也可以应用于玻璃等特殊工件的打孔作业中，本申请中需要在玻璃上打出很多微孔，为了提升加工效率，需要进行高速作业，且需要保证精度，现有技术中，专利cn112122261a提供了一种典型的激光加工设置，该设备具有三轴运动系统，三轴运动系统带动激光设备做三轴运动，这种方式中，将激光设备架高并控制其高速运动，会导致设备有较大抖动，难以保证微孔的位置精度。
技术实现思路
1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种布局合理，运行稳定，精度高的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置。
2、技术方案：为实现上述目的，本技术的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其包括机座、定位装置以及驱动所述定位装置运动的双轴平移机构；还包括激光打孔机构；所述激光打孔机构包括激光产生装置以及激光输出装置；所述激光产生装置固定在所述机座上，所述激光输出装置受到升降驱动机构的驱动而相对于所述机座做升降运动；所述激光输出装置的输入端与所述激光产生装置的输出端之间连接有波纹管；所述定位装置包括吸附机构以及抽气机。
3、进一步地，所述双轴平移机构包括纵向移动模组与横向移动模组；所述纵向移动模组驱动所述横向移动模组做纵向运动，且所述横向移动模组的前后两侧均设置有第一风琴罩；所述吸附机构安装在所述横向移动模组上，且所述吸附机构的左右两侧均设置有第二风
4、进一步地，所述纵向移动模组包括纵向滑座与驱动所述纵向滑座平移的第一u型槽式直线电机，还包括对所述纵向滑座进行导引的第一滑轨。
5、进一步地，所述横向移动模组包括连接所述纵向滑座的底座，还包括相对于所述底座滑动的横向滑座；所述底座上还安装有驱动所述横向滑座平移的第二u型槽式直线电机，还安装有对所述横向滑座进行导引的第二滑轨。
6、进一步地，所述吸附机构包括吸附座体，所述吸附座体的上表面具有阵列排列的吸附孔；所述吸附座体内具有空腔，所有所述吸附孔与所述空腔连通；所述吸附座体的底部安装有与所述空腔连通的抽气管道，所述抽气管道连接所述抽气机。
7、进一步地，所述吸附座体包括固定座与上盖体，所述固定座内具有上敞口的腔体；所述上盖体盖在所述固定座的上方；所述吸附孔形成在所述上盖体上，并将所述上盖体贯穿。
8、进一步地，所述激光产生装置包括横向的激光输出口的激光模组，所述激光输出口处连接横向的连接管的一端，所述连接管的另一端连接盒体，所述盒体内安装有倾斜安装的反射镜，所述盒体的下端连接所述激光输出装置，所述反射镜能够将横向激光反射为竖向激光并有所述激光输出装置输出。
9、进一步地，所述升降驱动机构包括驱动电机、丝杠以及升降座；所述驱动电机与所述丝杠驱动连接，所述升降座上安装有与所述丝杠配合使用的丝杠螺母。
10、有益效果：本技术的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，对三个运动轴进行了合理布局，其中定位装置在双轴平移机构的驱动下在水平面内做双轴平移运动；激光打孔机构只有激光输出装置做升降运动，可以有效减少升降驱动机构的负载，降低成本，也避免了对吸附机构做升降结构带来结构的复杂度，可以有效抑制设备抖动，提升微孔加工精度。
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1.一种用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，其包括机座(5)、定位装置(1)以及驱动所述定位装置(1)运动的双轴平移机构(2)；还包括激光打孔机构(3)；所述激光打孔机构(3)包括激光产生装置(31)以及激光输出装置(32)；所述激光产生装置(31)固定在所述机座(5)上，所述激光输出装置(32)受到升降驱动机构(4)的驱动而相对于所述机座(5)做升降运动；所述激光输出装置(32)的输入端与所述激光产生装置(31)的输出端之间连接有波纹管(33)；所述定位装置(1)包括吸附机构(11)以及抽气机(12)。
2.根据权利要求1所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述双轴平移机构(2)包括纵向移动模组(21)与横向移动模组(22)；所述纵向移动模组(21)驱动所述横向移动模组(22)做纵向运动，且所述横向移动模组(22)的前后两侧均设置有第一风琴罩(23)；所述吸附机构(11)安装在所述横向移动模组(22)上，且所述吸附机构(11)的左右两侧均设置有第二风琴罩(24)。
3.根据权利要求2所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，
4.根据权利要求3所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述横向移动模组(22)包括连接所述纵向滑座(211)的底座(221)，还包括相对于所述底座(221)滑动的横向滑座(222)；所述底座(221)上还安装有驱动所述横向滑座(222)平移的第二U型槽式直线电机(224)，还安装有对所述横向滑座(222)进行导引的第二滑轨(223)。
5.根据权利要求1所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述吸附机构(11)包括吸附座体，所述吸附座体的上表面具有阵列排列的吸附孔(111)；所述吸附座体内具有空腔，所有所述吸附孔(111)与所述空腔连通；所述吸附座体的底部安装有与所述空腔连通的抽气管道(1c)，所述抽气管道(1c)连接所述抽气机(12)。
6.根据权利要求5所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述吸附座体包括固定座(1a)与上盖体(1b)，所述固定座(1a)内具有上敞口的腔体(112)；所述上盖体(1b)盖在所述固定座(1a)的上方；所述吸附孔(111)形成在所述上盖体(1b)上，并将所述上盖体(1b)贯穿。
7.根据权利要求1所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述激光产生装置(31)包括横向的激光输出口的激光模组(31a)，所述激光输出口处连接横向的连接管(31b)的一端，所述连接管(31b)的另一端连接盒体(31c)，所述盒体(31c)内安装有倾斜安装的反射镜(31d)，所述盒体(31c)的下端连接所述激光输出装置(32)，所述反射镜(31d)能够将横向激光反射为竖向激光并有所述激光输出装置(32)输出。
8.根据权利要求1所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述升降驱动机构(4)包括驱动电机(41)、丝杠(42)以及升降座(43)；所述驱动电机(41)与所述丝杠(42)驱动连接，所述升降座(43)上安装有与所述丝杠(42)配合使用的丝杠螺母。
...【技术特征摘要】
1.一种用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，其包括机座(5)、定位装置(1)以及驱动所述定位装置(1)运动的双轴平移机构(2)；还包括激光打孔机构(3)；所述激光打孔机构(3)包括激光产生装置(31)以及激光输出装置(32)；所述激光产生装置(31)固定在所述机座(5)上，所述激光输出装置(32)受到升降驱动机构(4)的驱动而相对于所述机座(5)做升降运动；所述激光输出装置(32)的输入端与所述激光产生装置(31)的输出端之间连接有波纹管(33)；所述定位装置(1)包括吸附机构(11)以及抽气机(12)。
2.根据权利要求1所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述双轴平移机构(2)包括纵向移动模组(21)与横向移动模组(22)；所述纵向移动模组(21)驱动所述横向移动模组(22)做纵向运动，且所述横向移动模组(22)的前后两侧均设置有第一风琴罩(23)；所述吸附机构(11)安装在所述横向移动模组(22)上，且所述吸附机构(11)的左右两侧均设置有第二风琴罩(24)。
3.根据权利要求2所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述纵向移动模组(21)包括纵向滑座(211)与驱动所述纵向滑座(211)平移的第一u型槽式直线电机(212)，还包括对所述纵向滑座(211)进行导引的第一滑轨(213)。
4.根据权利要求3所述的用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其特征在于，所述横向移动模组(22)包括连接所述纵向滑座(211)的底座(221)，还包括相对于所述底座(221)滑动的横向滑座(222)；所述底座(221)上还安装有驱动所述横向滑座(222)平移的...
【专利技术属性】
技术研发人员：程胜，郑伟滨，李贤伟，邱家文，
申请(专利权)人：迈科微纳半导体技术昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：
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