【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及新型材料样品真空储存和转移，具体涉及一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置。
技术介绍
1、超高真空环境在新型薄膜样品的制备与表征过程中十分重要，因为其保证了材料表面的清洁和结构的完整。但是在新型薄膜材料的转移与运输过程中，超高真空环境常常难以维持，从而对于样品的引入不必要的污染。
2、但是现有的超高真空转移设备，如在中国专利cn218568799u中公开了一种适用于真空系统的全自动快速进样装置，其包括超高真空腔体，所述超高真空腔体的一侧设置有真空泵组和真空规，所述真空泵组和真空规通过法兰与超高真空腔体之间密封连接，所述超高真空腔体的另一侧设置有全自动磁力传样杆。该专利所述的设计存在运输不方便、配套电源不易携带等问题。
3、除此之外，现有的真空储存设备，如中国专利cn215246934u中公开的半导体晶圆存储运送装置，该装置很难与超高真空设备进行原位对接，在装载与取出样品的时候难以完全确保样品与大气环境的隔绝，难以解决污染的问题，无法满足实验室中需要真空保存的薄膜样品储存的要求；同时该专利也只能兼容晶圆级的样品，无法适配实验室环境中多种多样的测量与制备仪器的储存需要，样品传递时间也较长。
4、综上所述，有必要对现有技术做进一步创新。
技术实现思路
1、针对上述
技术介绍
中存在的技术问题，本专利技术提出了一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其结构设计合理、紧凑，实现了不同规格样品在不同设备间的转移和设备之外的存储，保证了样品
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其包括超高真空转移系统和超高真空存储系统；所述超高真空转移系统位于所述超高真空存储系统一端内侧并与其可拆卸式连接；
3、所述超高真空转移系统包括真空转移腔体、固定底座、升降台、转移系统运输架和小型离子泵；所述转移系统运输架为可移动式运输架；所述升降台匹配安装于所述转移系统运输架上部；所述固定底座匹配安装于所述升降台上部；所述真空转移腔体匹配可拆卸式滑动安装于所述固定底座上部；所述真空转移腔体上还分别匹配安装有第一cf100闸板阀和cf35闸板阀；所述多兼容磁力传样杆的一端与所述真空转移腔体匹配连接且头部伸入所述真空转移腔体内部；所述小型离子泵匹配安装于所述cf35闸板阀上；
4、所述超高真空存储系统包括真空储存腔体、存储系统运输架、中转腔体和大型离子泵；所述存储系统运输架为可移动式运输架，其位于所述转移系统运输架一端内侧并与其可拆卸式连接；所述真空储存腔体匹配安装于所述存储系统运输架上部，其上部匹配安装有多兼容磁力储样台，下部匹配安装有大型离子泵，面向所述超高真空转移系统的一侧匹配安装有第二cf100闸板阀；所述多兼容磁力储样台用于接收所述多兼容磁力传样杆运送的样品；所述大型离子泵匹配设置在所述存储系统运输架下部内侧并与所述真空储存腔体匹配连接；所述中转腔体通过所述第二cf100闸板阀与所述真空储存腔体相连接；所述中转腔体上还匹配安装有用于监测其内部真空度变化的全量程真空计，所述中转腔体的下部匹配安装有分子泵；
5、所述超高真空转移系统与所述超高真空储存系统之间是通过所述第一cf100闸板阀与第二cf100闸板阀的配合连接实现可拆卸式连接。
6、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述转移系统运输架的底部匹配安装有第一万向轮。
7、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述升降台包括升降底板、升降架和升降顶板；所述升降底板匹配固定安装于所述转移系统运输架的一端上部；所述升降架匹配安装于所述升降底板的上部；所述升降顶板匹配安装于所述升降架的顶端。
8、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述固定底座匹配固定安装于所述升降顶板的上部，其上部相对两侧边匹配设置有滑轨；所述滑轨上匹配滑动安装有第一支撑卡箍。
9、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述真空转移腔体匹配可拆卸式安装于所述第一支撑卡箍上并可跟随所述第一支撑卡箍一起沿着所述滑轨滑动位移，实现单向的位置调整；同时，所述真空转移腔体与固定底座还可在所述升降台带动下在z轴方向进行位置调整。
10、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述真空转移腔体上匹配设有用于连接所述多兼容磁力传样杆、第一cf100闸板阀和cf35闸板阀的法兰接口；所述真空转移腔体上还匹配设有备用观察窗接口。
11、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述存储系统运输架也为矩形框架结构，其底部四角均匹配安装有第二万向轮，一端上部匹配安装有第二支撑卡箍，另一端具有能容纳所述超高真空转移系统的容置空间。
12、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述真空储存腔体匹配安装在所述第二支撑卡箍上；所述真空储存腔体上匹配设有用于连接所述多兼容磁力储样台、所述第二cf100闸板阀和所述大型离子泵的法兰接口；所述真空储存腔体上还匹配设有观察窗与支撑窗口。
13、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述中转腔体上匹配设有用于连接所述第二cf100闸板阀、所述全量程真空计、所述分子泵和所述第一cf100闸板阀的法兰接口；所述中转腔体上还匹配设有备用观察窗和备用的法兰接口。
14、所述兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其中：所述多兼容磁力储样台可兼容不止一种类型的样品架，可接收所述多兼容磁力传样杆运送的晶圆级样品。
15、采用上述技术方案，本专利技术具有如下有益效果：
16、本专利技术兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置结构设计合理、紧凑，实现了不同规格样品在不同设备间的转移和设备之外的存储，保证了样品的高度清洁、转移的可行性与便携性；同时，本专利技术具有兼容不同种类样品的制备与表征体系、便于在不同设备间的转移、能提供长时间超高真空大容量储存的特点。
17、本专利技术中的超高真空转移系统和超高真空储存系统可以长期组合在一起，避免了没有转移需求时候转移装置的接口法兰长期暴露于大气中的问题，从根本上提升了样品转移过程中的清洁性与效率。
18、本专利技术中的超高真空转移系统主要由真空转移腔体和多兼容磁力传样杆组成，并配备运输架与位置调节设备，可以将内部容纳的样品方便的在超高真空环境中传递到其他设备。本专利技术中的超高真空存储系统主要由真空储存腔体和中转腔体组成，可以长时间提供大容量的多种类型样品架的超高真空环境存储。
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1.一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述超高真空储存与转移装置包括超高真空转移系统(A)和超高真空存储系统(B)；所述超高真空转移系统(A)位于所述超高真空存储系统(B)一端内侧并与其可拆卸式连接；
2.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述转移系统运输架(A5)的底部匹配安装有第一万向轮(A51)。
3.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述升降台(A4)包括升降底板(A41)、升降架(A42)和升降顶板(A43)；所述升降底板(A41)匹配固定安装于所述转移系统运输架(A5)的一端上部；所述升降架(A42)匹配安装于所述升降底板(A41)的上部；所述升降顶板(A43)匹配安装于所述升降架(A42)的顶端。
4.如权利要求3所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述固定底座(A3)匹配固定安装于所述升降顶板(A43)的上部，其上部相对两侧边匹配设置有滑轨(A31)；所述滑轨(A31)上匹配滑动安装有第一支撑卡箍(A32)。>
5.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述真空转移腔体(A2)匹配可拆卸式安装于所述第一支撑卡箍(A32)上并可跟随所述第一支撑卡箍(A32)一起沿着所述滑轨(A31)滑动位移，实现单向的位置调整；同时，所述真空转移腔体(A2)与固定底座(A3)还可在所述升降台(A4)带动下在Z轴方向进行位置调整。
6.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述真空转移腔体(A2)上匹配设有用于连接所述多兼容磁力传样杆(A1)、第一CF100闸板阀(A8)和CF35闸板阀(A6)的法兰接口；所述真空转移腔体(A2)上还匹配设有备用观察窗接口。
7.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述存储系统运输架(B3)的底部匹配安装有第二万向轮(B31)，一端上部匹配安装有第二支撑卡箍(B32)，另一端具有能容纳所述超高真空转移系统(A)的容置空间。
8.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述真空储存腔体(B1)匹配安装在所述第二支撑卡箍(B32)上；所述真空储存腔体(B1)上匹配设有用于连接所述多兼容磁力储样台(B2)、所述第二CF100闸板阀(B4)和所述大型离子泵(B6)的法兰接口；所述真空储存腔体(B1)上还匹配设有观察窗与支撑窗口。
9.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述中转腔体(B5)上匹配设有用于连接所述第二CF100闸板阀(B4)、所述全量程真空计(B8)、所述分子泵(B7)和所述第一CF100闸板阀(A8)的法兰接口；所述中转腔体(B5)上还匹配设有备用观察窗和备用的法兰接口。
10.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述多兼容磁力储样台(B2)可兼容不止一种类型的样品架，可接收所述多兼容磁力传样杆(A1)运送的晶圆级样品(A9)。
...【技术特征摘要】
1.一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述超高真空储存与转移装置包括超高真空转移系统(a)和超高真空存储系统(b)；所述超高真空转移系统(a)位于所述超高真空存储系统(b)一端内侧并与其可拆卸式连接；
2.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述转移系统运输架(a5)的底部匹配安装有第一万向轮(a51)。
3.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述升降台(a4)包括升降底板(a41)、升降架(a42)和升降顶板(a43)；所述升降底板(a41)匹配固定安装于所述转移系统运输架(a5)的一端上部；所述升降架(a42)匹配安装于所述升降底板(a41)的上部；所述升降顶板(a43)匹配安装于所述升降架(a42)的顶端。
4.如权利要求3所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述固定底座(a3)匹配固定安装于所述升降顶板(a43)的上部，其上部相对两侧边匹配设置有滑轨(a31)；所述滑轨(a31)上匹配滑动安装有第一支撑卡箍(a32)。
5.如权利要求1所述的兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述真空转移腔体(a2)匹配可拆卸式安装于所述第一支撑卡箍(a32)上并可跟随所述第一支撑卡箍(a32)一起沿着所述滑轨(a31)滑动位移，实现单向的位置调整；同时，所述真空转移腔体(a2)与固定底座(a3)还可在所述升降台(a4)带动下在z轴方向进行位置调整。
6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：武旭，胡亘宇，罗雨轩，刘松柢，张天澍，胡世昊，邵岩，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：
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