【技术实现步骤摘要】
本申请涉及准光反射板加工，特别是涉及一种准光反射板纳米级金属表面加工方法。
技术介绍
1、准光反射技术在通信领域的应用非常广泛，从光通信网络的检测到层析技术，再到毫米波、亚毫米波太赫兹频段的特殊应用，都显示了其在通信技术中的重要作用，其中准光反射板就是准光系统中的核心器件之一。
2、准光反射板的平面轮廓度rsm一般在4微米，其表面粗糙度要求优于100nm，由于其超高的精度要求，一般都采用光学镜头的制造工艺进行生产加工。但准光反射板一般面积较大，是光学镜头的几十甚至上百倍，虽精度达不到光学镜头的10nm，但由于其面积较大，准光反射板的成本受制造工艺限制，一直居高不下。
技术实现思路
1、本申请的目的是：为解决上述技术问题，本申请提供了一种准光反射板纳米级金属表面加工方法，旨在降低准光反射板的生产成本，提高准光反射板的加工质量。解决了400mm准光反射板由于尺寸较大、抗变形能力减弱以及切削应力增大，而最终导致的尺寸不稳定和平面度差的技术问题。
2、本申请的一些实施例中，通过预设冷热循环处理参数对材料内部微观晶粒的拉伸和挤压，使材料内部晶粒大小和排布更加均匀，消除部分切削应力。从而提高准光反射板的加工质量。
3、本申请的一些实施例中，通过增设振动模型，动态调节振动参数，利用工件的共振现象，使材料内部产生微观或宏观的塑性变形，从而稳定尺寸精度，提高材料的抗变形能力。
4、本申请的一些实施例中，提供了一种准光反射板纳米级金属表面加工方法，包括：
5、根据待加工准光反射板的需求尺寸设定单边余量，生成粗加工毛坯；
6、根据预设冷热循环处理参数处理粗加工毛坯，生成一级半成品，根据预设半精加工参数处理一级半成品，生成二级半成品；
7、根据预设精加工参数处理二级半成品，生成三级半成品，并根据预设稳化工作参数处理三级半成品，生成准光反射板。
8、本申请的一些实施例中，所述设定单边余量时，包括：
9、根据待加工准光反射板的需求尺寸生成需加工面积a；
10、预设第一需加工面积区间（a1,a2），第二需加工面积（a2,a3）和第三需加工面积区间（a3,a4）；
11、根据需加工面积a设定单边余量b；
12、若a处于预设第一需加工面积区间时，设定单边余量b为预设第一单边余量b1，即b=b1;
13、若a处于预设第二需加工面积区间时，设定单边余量b为预设第二单边余量b2，即b=b2;
14、若a处于预设第三需加工面积区间时，设定单边余量b为预设第三单边余量b3，即b=b3；且b1<b2<b3。
15、本申请的一些实施例中，所述设定冷热循环处理参数时，包括：
16、设定第一温度值t1，第二温度值t2和第三温度值t3，且t1>t2>t3;
17、根据需加工面积a设定温度变动速度v，根据温度变动速度v对粗加工毛坯进行一级升温处理，当粗加工毛坯的实时温度t=t1时，停止升温；
18、设定第一一级保温时间节点，当到达预设第一一级保温时间节点时，对粗加工毛坯进行二级降温处理；当粗加工毛坯的实时温度t=t2时，根据温度变动速度v对粗加工毛坯进行一级降温处理，当粗加工毛坯的实时温度t=t3时，停止降温；
19、设定第二一级保温时间节点，当到达第二一级保温时间节点时，对粗加工毛坯进行二级升温处理，当粗加工毛坯的实时温度t=t2时，根据温度变动速度v对粗加工毛坯进行一级升温处理，当粗加工毛坯的实时温度t=t1时，停止升温；
20、设定第三一级保温时间节点，当到达第三一级保温时间节点时，对粗加工毛坯进行二级降温处理；当粗加工毛坯的实时温度t=t2时，生成一级半成品。
21、本申请的一些实施例中，所述根据需加工面积a设定温度变动速度v时，包括：
22、若a处于预设第一需加工面积区间时，设定温度变动速度v为预设第一温度变动速度v1，即v=v1;
23、若a处于预设第二需加工面积区间时，设定温度变动速度v为预设第二温度变动速度v2，即v=v2;
24、若a处于预设第三需加工面积区间时，设定温度变动速度v为预设第三温度变动速度v3，及v=v3；且v1>v2>v3。
25、本申请的一些实施例中，所述根据预设半精加工参数处理一级半成品时，包括：
26、根据一级校正参数预处理一级半成品；
27、根据预设一级切削参数对一级半成品进行切削处理；
28、建立振动模型，根据一级半成品参数和振动模型生成振动参数；
29、根据振动参数对削切后的一级半成品进行振动去应力处理；
30、生成二级半成品。
31、本申请的一些实施例中，根据预设精加工参数处于二级半成品时，包括：
32、根据二级校正参数预处理二级半成品；
33、根据预设二级切削参数对二级半成品进行切削处理；
34、根据二级半成品参数设定加工刀路；
35、获取二级半成品的加工面积f，根据二级半成品的加工面积f设定清洁参数；
36、生成三级半成品。
37、本申请的一些实施例中，设定清洁参数时，包括：
38、根据加工面积f设定酒精冲洗速度c和吹风速度d;
39、预设第一加工面积区间（f1,f2），第二加工面积区间（f2,f3）和第三加工面积区间（f3,f4）；
40、若加工面积f处于预设第一加工面积区间时，设定酒精冲洗速度c为预设第一酒精冲洗速度c1，即c=c1;
41、若加工面积f处于预设第二加工面积区间时，设定酒精冲洗速度c为预设第二酒精冲洗速度c2，即c=c2;
42、若加工面积f处于预设第三加工面积区间时，设定酒精冲洗速度c为预设第三酒精冲洗速度c3，即c=c3；且c1<c2<c3。
43、本申请的一些实施例中，设定吹风速度d时，包括：
44、若加工面积f处于预设第一加工面积区间时，设定吹风速度d为预设第一吹风速度d1，即d=d1;
45、若加工面积f处于预设第二加工面积区间时，设定吹风速度d为预设第二吹风速度d2，即d=d2;
46、若加工面积f处于预设第三加工面积区间时，设定吹风速度d为预设第三吹风速度d3，即d=d3；且d1<d2<d3。
47、本申请的一些实施例中，根据预设稳化工作参数处理三级半成品时，包括：
48、预设第四温度值t4和第五温度值t5，且t1>t4>t2>t5>t3;
49、根据温度变动速度v对三级半成品进行一级升温处理，当粗加工毛坯的实时温度t=t4时，停止升温；
50、设定第一二级保温时间节点，当到达预设第一二级保温时间节点时，对三本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述设定单边余量时，包括：
3.如权利要求1所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述设定冷热循环处理参数时，包括：
4.如权利要求3所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述根据需加工面积a设定温度变动速度v时，包括：
5.如权利要求3所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述根据预设半精加工参数处理一级半成品时，包括：
6.如权利要求5所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，根据预设精加工参数处于二级半成品时，包括：
7.如权利要求6所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，设定清洁参数时，包括：
8.如权利要求7所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，设定吹风速度d时，包括：
9.如权利要求6所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，根据预设稳化工作参数处理三级半成品
...【技术特征摘要】
1.一种准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述设定单边余量时，包括：
3.如权利要求1所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述设定冷热循环处理参数时，包括：
4.如权利要求3所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述根据需加工面积a设定温度变动速度v时，包括：
5.如权利要求3所述的准光反射板纳米级金属表面加工方法，其特征在于，所述根...
【专利技术属性】
技术研发人员：许府，姚幸福，濮达，张帅，匡思锋，
申请(专利权)人：南京驰韵科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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