【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于废气处理，尤其涉及一种工艺废气处理系统。
技术介绍
1、在泛半导体工艺中，harsh工艺是指复杂苛刻、多粉尘、强腐蚀的工艺，如化学气相淀积（cvd）工艺中的硼磷硅玻璃（bpsg）制程、高纵深比（harp）制程、氮化硅（sin）制程、蚀刻（etch）中的金属刻蚀（metaletch）制程、扩散（diffusion）工艺中的原子层淀积（ald）制程、时间敏感网络（tsn）制程等。
2、在harsh工艺中，有大量的sio2粉尘和强腐蚀性有害物质需要进行处理，使用工艺废气处理系统该有害废气时，容易发生流动不畅、粉尘堆积、堵塞以及工艺废气处理系统腐蚀泄漏等问题，导致需要停机进行维护。并且现有工艺废气处理系统处理后排出的废气中粉尘含量偏高，不满足厂务排放要求。
3、同时，由于废气中粉尘量高、湿度大，粉尘与凝结的水相结合会沉积在工艺废气处理系统后端的厂务端排气管的管壁造成排气管堵塞。
技术实现思路
1、鉴于上述的分析，本专利技术旨在提供一种工艺废气处理系统，用以解决现有技术中废气中粉尘量高、湿度大、排气管易堵塞中的至少一个问题。
2、本专利技术的目的主要是通过以下技术方案实现的。
3、本专利技术提供了一种工艺废气处理系统，包括反应腔、水箱以及扰流分离装置；扰流分离装置包括筒体以及设于筒体内的扰流分离件，扰流分离件包括安装环和扰流棒，安装环与筒体的内壁固定连接，扰流棒设于安装环内且与安装环固定连接；经过水箱除尘降温的废气进入筒体中，在筒
4、进一步地，扰流分离件的数量为多个，多个扰流分离件沿筒体的轴向间隔布置。
5、进一步地，每个扰流分离件中，扰流棒的数量为多个，多个扰流棒分多层布置。
6、进一步地，每个扰流分离件中，多个扰流棒平行布置，相邻两个扰流分离件中的扰流棒在筒体轴向上投影的夹角为30°~90°。
7、进一步地，筒体包括从外至内依次套设的外层筒、中层筒和内层筒，外层筒和中层筒之间、中层筒与内层筒之间均具有空隙，中层筒的下端插入喷淋水腔的液面下，扰流分离件设于内层筒中，从排气腔排出的废气依次经过外层筒和中层筒之间的空隙、中层筒与内层筒之间的空隙进入内层筒中。
8、进一步地，外层筒与中层筒之间的空隙横截面面积＜中层筒与外层筒之间的空隙横截面面积＜安装环内的空隙横截面面积。
9、进一步地，扰流分离装置还包括冷却夹层，冷却夹层用于为至少部分筒体进行冷却降温。
10、进一步地，冷却夹层内设置螺旋形的冷却管；冷却管的上端作为冷却气进口，与冷却气供应单元连接；冷却管的下端与冷却夹层内腔的下端连通，冷却夹层内腔的上端开设冷却气出口。
11、进一步地，安装环的两侧开设通孔，扰流棒为中空结构的扰流管；扰流棒的一端通过安装环一侧的通孔与冷却空间连通，扰流棒的另一端通过安装环另一侧的通孔与冷却空间流通。
12、进一步地流管的管壁开设贯穿管壁的透气孔，透气孔连通扰流管的内部空间与筒体的内部空间。
13、进一步地，透气孔设于扰流棒上部，沿远离扰流棒的径向方向，透气孔的横截面逐渐变小。
14、进一步地，上述工艺废气处理系统还包括涡流管，涡流管的冷端与喷淋水腔液面上方的空间连通，涡流管的热端与筒体的后端连通。
15、与现有技术相比，本专利技术至少可实现如下有益效果之一。
16、a）本专利技术提供的工艺废气处理系统，一方面，通过扰流分离装置的设置，能够增加废气与工艺废气处理系统的换热面积，提升其冷凝能力，经过水箱除尘降温的废气进入筒体中，在筒体中流动，与扰流棒发生碰撞和传热，使得废气温度降低，废气中的水凝结在扰流棒上，实现水汽分离，降低废气的排放湿度，另一方面，凝结的水从扰流棒流下的过程中，能够对筒体内壁和扰流棒上沉积的粉尘进行冲洗，水和粉尘一同流入水箱中，实现自清洁功能，防止粉尘堵塞扰流分离装置。
17、b）本专利技术提供的工艺废气处理系统，在混流腔中设置有导流组件，通过导流组件形成之字形的主流体通道，对废气进行导流。一方面，能够延长废气的流通路径以及在水箱内的停留时间，提高废气与水箱的传热面积，使得废气能够与导流组件充分接触，将废气携带的热量充分传递给导流组件，提升水箱的传热能力；另一方面，由于主喷淋组件设置在主流体通道中，能够对之字形流动的废气进行持续喷淋，使得喷淋水与废气充分混合，通过喷淋水对废气进行有效降温和除尘。
18、c）本专利技术提供的工艺废气处理系统，根据水蒸气在不同温度下的含量会随之变化的特性，利用涡流管的制冷制热效果，一方面，将涡流管产生的冷空气通入水箱中，对水箱中的废气进行降温，从而降低水箱排出的废气温度，废气中饱和蒸汽降温后，水蒸气达到过饱和状态，部分水蒸气凝结出来，从而减少水洗后废气中的绝对水含量，另一方面，将涡流管产生的热空气接入筒体，加热使得废气温度升高，废气中的水蒸气变为不饱和状态，在流经排气管时不会发生凝结，从而能够避免排气管的腐蚀受损或堵塞。
19、本专利技术中，上述各技术方案之间还可以相互组合，以实现更多的优选组合方案。本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分优点可从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过说明书实施例以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得。
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1.一种工艺废气处理系统，其特征在于，包括反应腔、水箱以及扰流分离装置；
2.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述扰流分离件的数量为多个，多个扰流分离件沿筒体的轴向间隔布置。
3.根据权利要求2所述的工艺废气处理系统，其特征在于，每个扰流分离件中，所述扰流棒的数量为多个，多个扰流棒分多层布置。
4.根据权利要求2所述的工艺废气处理系统，其特征在于，每个扰流分离件中，多个扰流棒平行布置，相邻两个扰流分离件中的扰流棒在筒体轴向上投影的夹角为30°~90°。
5.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述筒体包括从外至内依次套设的外层筒、中层筒和内层筒，所述外层筒和中层筒之间、中层筒与内层筒之间均具有空隙，所述中层筒的下端插入喷淋水腔的液面下，所述扰流分离件设于内层筒中，从排气腔排出的废气依次经过外层筒和中层筒之间的空隙、中层筒与内层筒之间的空隙进入内层筒中。
6.根据权利要求5所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述外层筒与中层筒之间的空隙横截面面积＜中层筒与外层筒之间的空隙横截面面积＜安装环内
7.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述扰流分离装置还包括冷却夹层，所述冷却夹层用于为至少部分筒体进行冷却降温。
8.根据权利要求7所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述冷却夹层内设置螺旋形的冷却管；
9.根据权利要求8所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述安装环的两侧开设通孔，所述扰流棒为中空结构的扰流管；
10.根据权利要求9所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述扰流管的管壁开设贯穿管壁的透气孔，所述透气孔连通扰流管的内部空间与筒体的内部空间。
11.根据权利要求10所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述透气孔设于扰流棒上部，
12.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述工艺废气处理系统还包括涡流管，涡流管的冷端与喷淋水腔液面上方的空间连通，涡流管的热端与筒体的后端连通。
...【技术特征摘要】
1.一种工艺废气处理系统，其特征在于，包括反应腔、水箱以及扰流分离装置；
2.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述扰流分离件的数量为多个，多个扰流分离件沿筒体的轴向间隔布置。
3.根据权利要求2所述的工艺废气处理系统，其特征在于，每个扰流分离件中，所述扰流棒的数量为多个，多个扰流棒分多层布置。
4.根据权利要求2所述的工艺废气处理系统，其特征在于，每个扰流分离件中，多个扰流棒平行布置，相邻两个扰流分离件中的扰流棒在筒体轴向上投影的夹角为30°~90°。
5.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述筒体包括从外至内依次套设的外层筒、中层筒和内层筒，所述外层筒和中层筒之间、中层筒与内层筒之间均具有空隙，所述中层筒的下端插入喷淋水腔的液面下，所述扰流分离件设于内层筒中，从排气腔排出的废气依次经过外层筒和中层筒之间的空隙、中层筒与内层筒之间的空隙进入内层筒中。
6.根据权利要求5所述的工艺废气处理系统，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶威，王福清，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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