【技术实现步骤摘要】
本技术涉及辅助工装，具体涉及一种新型pecvd加热板吊具手臂。
技术介绍
1、一般pecvd腔体内的加热板需要定期检修，需要作业人员将加热板从pecvd腔体内取出。pecvd腔体内的加热板与腔体壁间隙小，加热板相对比较重，需要作业人员在不划伤腔体壁和加热板表面的情况下取出加热板。
2、目前辅助作业人员取出加热板的方式为夹具夹持，并通过起重机吊出，这种方式具有以下缺点：
3、1.用起重机吊加热板时，加热板可能会倾斜，存在安全隐患。
4、2.夹具的手臂可能无法通过加热板与腔体壁的间隙，导致在夹持的过程中出现划伤表面的风险。
技术实现思路
1、为解决现有技术中的不足，本技术提供一种新型pecvd加热板吊具手臂，解决了以往取放加热板时存在安全隐患，以及无法通过加热板与腔体壁间隙的问题。
2、为了实现上述目标，本技术采用如下技术方案：
3、一种新型pecvd加热板吊具手臂，包括支承座，所述支承座上表面向下凹陷形成用于放置加热板的腔体，其特征在于，所述支承座上方设有第一横梁，所述第一横梁两端设有与其垂直设置的第二横梁，其中一个所述第二横梁通过桥接件与第一横梁固定连接，另一个所述第二横梁通过导向件滑动设在第一横梁上，所述导向件通过锁紧夹具与另一个所述第二横梁连接；
4、所述第二横梁远离第一横梁一侧滑动设有多个等距分布的夹持组件。
5、优选的，所述加热板沿其边缘开设有多个等距分布的凹槽。
6、优选的，所
7、所述竖板通过t型螺栓滑动设在第二横梁上，所述l形夹爪对称设有两个，所述l形夹爪可转动地贯穿在竖板上，所述锁紧螺母套在l形夹爪上，并位于竖板上方。
8、优选的，所述竖板台阶面和与所述第一横梁相对应一侧均设有耐磨板。
9、优选的，所述l形夹爪上套有弹性垫圈，所述弹性垫圈位于锁紧螺母和竖板之间。
10、优选的，所述所述导向件包括导向座、连接件和基座；
11、所述导向座套在第一横梁上，另一个所述第二横梁通过连接件与导向座滑动连接，所述连接件对称设在导向座两侧，所述基座滑动设在导向座上，并配合导向座围绕在第一横梁上。
12、优选的，所述锁紧夹具包括门栓式快速夹具和可调紧手柄；
13、所述基板通过门栓式快速夹具与另一个所述第二横梁连接，所述可调紧手柄设在基座上，并用于锁紧门栓式快速夹具。
14、优选的，所述第一横梁中段部分套有承重套，所述承重套上设有吊耳，所述吊耳上设有用于和龙门式起重机的龙门吊钩。
15、本技术所达到的有益效果：
16、1、通过在第一横梁两端分别设置第二横梁，在第二横梁上设置夹持组件，根据加热板的尺寸通过锁紧夹具以调节两个第二横梁的间距，以提高整体稳定性，避免用起重机吊加热板时，加热板出现倾斜现象。
17、2、使用夹持组件时，可滑动夹持组件，使多个夹持组件与加热板上的多个凹槽一一对应，通过启动龙门式起重机下降该吊具手臂，使l形夹爪穿过凹槽，再旋转l形夹爪使其台阶面对加热板形成支撑作用，再启动龙门式起重机将加热板吊起取出，减小划伤加热板表面的风险，避免出现安全隐患。
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1.一种新型PECVD加热板吊具手臂，包括支承座(1)，所述支承座(1)上表面向下凹陷形成用于放置加热板(2)的腔体(3)，其特征在于，所述支承座(1)上方设有第一横梁(4)，所述第一横梁(4)两端设有与其垂直设置的第二横梁(5)，其中一个所述第二横梁(5)通过桥接件(6)与第一横梁(4)固定连接，另一个所述第二横梁(5)通过导向件(7)滑动设在第一横梁(4)上，所述导向件(7)通过锁紧夹具(8)与另一个所述第二横梁(5)连接；
2.根据权利要求1所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特征在于，所述加热板(5)沿其边缘开设有多个等距分布的凹槽(10)。
3.根据权利要求2所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特征在于，所述夹持组件(9)包括竖板(901)、L形夹爪(902)、锁紧螺母(903)和T型螺栓(904)；
4.根据权利要求3所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特征在于，所述竖板(901)台阶面和与所述第一横梁(4)相对应一侧均设有耐磨板(11)。
5.根据权利要求3所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特
6.根据权利要求1所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特征在于，所述导向件(7)包括导向座(701)、连接件(702)和基座(703)；
7.根据权利要求1所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特征在于，所述锁紧夹具(8)包括门栓式快速夹具(801)和可调紧手柄(802)；
8.根据权利要求1所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特征在于，所述第一横梁(4)中段部分套有承重套(13)，所述承重套(13)上设有吊耳(14)，所述吊耳(14)上设有用于和龙门式起重机的龙门吊钩(15)。
...【技术特征摘要】
1.一种新型pecvd加热板吊具手臂，包括支承座(1)，所述支承座(1)上表面向下凹陷形成用于放置加热板(2)的腔体(3)，其特征在于，所述支承座(1)上方设有第一横梁(4)，所述第一横梁(4)两端设有与其垂直设置的第二横梁(5)，其中一个所述第二横梁(5)通过桥接件(6)与第一横梁(4)固定连接，另一个所述第二横梁(5)通过导向件(7)滑动设在第一横梁(4)上，所述导向件(7)通过锁紧夹具(8)与另一个所述第二横梁(5)连接；
2.根据权利要求1所述的一种新型pecvd加热板吊具手臂，其特征在于，所述加热板(5)沿其边缘开设有多个等距分布的凹槽(10)。
3.根据权利要求2所述的一种新型pecvd加热板吊具手臂，其特征在于，所述夹持组件(9)包括竖板(901)、l形夹爪(902)、锁紧螺母(903)和t型螺栓(904)；
4.根据权利要求3所述的一种新型pecvd加热板吊具手臂...
【专利技术属性】
技术研发人员：高洪涛，朱明亮，吴志远，
申请(专利权)人：上海昶火微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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