一种单晶炉热场用导气罩制造技术

技术编号:42177328 阅读:13 留言:0更新日期:2024-07-27 00:24
本技术公开了一种单晶炉热场用导气罩,筒体(21)的上部和下部分别连有上隔板(22)和下隔板(23),上隔板(22)上设有一组扇形孔洞一(22a),其扇形夹角为50°~80°,扇形孔洞一(22a)沿上隔板(22)周向均布,相邻两个扇形孔洞一(22a)之间设有筋板一(22b);下隔板(23)的结构与上隔板(22)相同,其包括相配合的扇形孔洞二(23a)和筋板二(23b);扇形孔洞一(22a)与扇形孔洞二(23a)上下交错分布,即扇形孔洞二(23a)的位置与上隔板(22)的筋板一(22b)的位置对齐。本技术的优点是不占用炉内热场空间,在实现大容量坩埚的前提下降低功耗,减少热量损失。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉晶棒生产,尤其涉及一种单晶炉热场用导气罩


技术介绍

1、单晶硅晶棒的生产就是利用单晶炉及炉内热场将多晶硅熔化,用直拉法生长无错位单晶硅晶棒。随着光伏产业的快速发展,国内单晶硅产能迅速增长,行业内竞争激烈。降低生产成本是企业提高利润率的主要方式之一,单晶硅生产过程耗电量大,现有热场基础上,优化热场部件结构,能够达到降低功耗的目的。

2、现有导气筒为直筒状结构,如图1所示,上方安装导气罩,导气筒、导气罩都为石墨材质,导热系数大,由于导气筒直通炉底,热量损耗大。导气罩为侧向进气结构,因此,导气罩必须安装于热场保温毡上方。现有大热场需要更大的底加热器产生更多的热量,当使用石墨导气罩时,底加热器结构需避让导气罩,导致底加热器发热面积减少。

3、在现有热场结构基础上,不断升级大容量坩埚,为有效利用热场内空间,通过改变底加热器结构,取消导气罩,可增大坩埚高度,实现大容量坩埚,提高生产效率。但若取消导气罩,炉内热场通过导气筒直通炉底排气系统,热量损耗更大。


技术实现思路

1、本技术目的就是为了解决现有导气罩热量损耗大的问题,提供了一种单晶炉热场用导气罩,采用上下进气方式,不占用炉内热场空间,在实现大容量坩埚的前提下降低功耗,减少热量损失。

2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:

3、一种单晶炉热场用导气罩,包括导气罩的筒体,筒体的上部和下部分别连有上隔板和下隔板,上隔板上设有一组扇形孔洞一,其扇形夹角为50°,扇形孔洞一沿上隔板周向均布,相邻两个扇形孔洞一之间设有筋板一;

4、下隔板的结构与上隔板相同,其包括一组扇形孔洞二,扇形孔洞二的扇形夹角亦为50°~80°,扇形孔洞二沿下隔板周向均布,相邻两个扇形孔洞二之间设有筋板二;

5、扇形孔洞一与扇形孔洞二上下交错分布,即扇形孔洞二的位置与上隔板的筋板一的位置对齐。

6、进一步地,所述筒体的底部连有缩口的定位止口,定位止口与筒体位于同一轴线上,且其直径小于筒体的直径,定位止口与下方的导气筒相互配合。

7、进一步地,所述上隔板与筒体的上沿齐平,下隔板水平设于定位止口上方与筒体的连接处,上隔板和下隔板的轴线均与筒体的轴线相互重合,且上隔板和下隔板的直径小于筒体的内径。

8、进一步地,所述上隔板、下隔板与筒体之间为拼接结构,采用拼接条将筒体分别与上隔板、下隔板通过铆钉连接。

9、进一步地,所述定位止口与筒体、下隔板之间为拼接结构,采用拼接条将筒体和下隔板分别与定位止口通过铆钉连接。

10、进一步地,所述筒体为圆筒状,为长方形板材卷制而成的拼接结构,接缝处利用拼接条通过铆钉连接。

11、进一步地,所述扇形孔洞一和扇形孔洞二分别设有2~4个。

12、与现有技术相比,本技术的技术方案的优点具体在于:

13、(1)本技术导气罩为圆筒结构,其内设上、下两层隔板,隔板上设有扇形孔洞,且上、下隔板孔洞错位布置,避免了热场直通炉底排气系统造成的热量损失,减少热场热量损耗,降低单晶生产功耗;

14、(2)本技术的导气罩使得热场温度更稳定,降低了单晶断线率,提高了生产效率和日单产。

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【技术保护点】

1.一种单晶炉热场用导气罩,包括导气罩的筒体(21),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

4.根据权利要求1~3任一项所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

5.根据权利要求2或3所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

6.根据权利要求4所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

7.根据权利要求1~3任一项所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉热场用导气罩,包括导气罩的筒体(21),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的单晶炉热场用导气罩,其特征在于:

4.根据权利要求1~3任一项所述的单...

【专利技术属性】
技术研发人员:王燕飞文勇王军磊王艺澄
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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