【技术实现步骤摘要】
本技术涉及基板清理，尤其涉及一种移动式基板表面清理机构。
技术介绍
1、在基板生产完成后，需要将基板进行清理，具体清理过程为，在基板表面喷洒药液，并使药液与基板上的污渍进行反应，随后使用清水对基板的表面进行冲洗，终止药液对基板的化学反应，以进行至下一站制程。
2、现有技术中，在对基板进行冲洗时，多为是采用固定式喷头，喷洗的位置也是固定，导致对基板的清理效果较差，且在冲洗后，无法对基板上的水分进行去除，导致机械手臂在取板时，液体会滴落在机械臂上，造成污染。
技术实现思路
1、本技术主要提供一种提高清理效果，降低污染的移动式基板表面清理机构。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种移动式基板表面清理机构，包括：供水机构与供气机构，所述供水机构的内部设置有一号电磁阀，所述供气机构的内部设置有二号电磁阀，所述二号电磁阀输出端固定连通有一号连接管，所述供水机构的输出端固定连通有二号连接管，所述二号连接管的一端固定连通有喷气管，所述一号连接管的一端固定连通有喷水管，所述喷水管的外表面固定连通有喷水口，所述喷气管的外表面固定连通有喷气嘴，所述喷气管与喷水管的两端之间均固定连接有驱动块，两个所述驱动块的内部均啮合有传动丝杠，所述传动丝杠的两端均转动连接有连接块，所述传动丝杠的一端传动连接有驱动机构，驱动机构与传动丝杠之间的传动方式采用蜗轮蜗杆的方式进行驱动，使用伺服电机作为动力源进行驱动，连接块用于与架体进行安装，将传动丝杠的两端进行限制，通过喷气管与喷水管的
3、优选的，所述喷气管的外表面固定连接有连接架，所述喷气嘴位于连接架的内部，连接架两侧的部位采用扁平式设计，可降低气流对连接架造成的影响，同时棱边处做圆角处理，连接架的中部为圆柱体，底部做圆顶处理，进一步降低阻力，保证连接架使用时的稳定性。
4、优选的，所述连接架的上端转动连接有连接件，所述连接件为六边形设计，且上下两端均做圆顶式处理，该设计有效降低气流对连接件的影响，可降低连接件与连接架之间脱离的概率。
5、优选的，所述连接件六个外表面的中部一侧均开设有连接槽，所述连接槽的一侧开设有限位槽，连接槽为圆柱形槽与球形槽组合式设计。
6、优选的，所述连接槽的内部转动连接有连接杆，所述连接杆的外表面固定连接有限位拨片，所述限位拨片位于限位槽的内部，限位槽用于对限位拨片进行限制，从而对连接杆的转动角度进行控制，以此来控制摆叶的倾斜，限位拨片的底面与限位槽的底面贴合时，摆叶为倾斜式设计，在限位拨片的上表面与限位槽的一侧贴合时，摆叶为倾斜85°，通过该设计，可在喷水口喷出水流时，能够通过连接件上六个摆叶之间的配合，将水分进行阻挡，防止水分通过喷气嘴进入喷气管与二号连接管内，导致喷气管与二号连接管的内部容易滋生细菌，在后续清理时，容易使细菌附着在基板表面，而在喷气嘴喷出气体时，能够通过气流的冲击，使摆叶转动清洗，并使连接件转动，通过离心力，将水分甩出，防止摆叶复位时水分流入喷气嘴。
7、优选的，所述连接杆的外表面固定连接有摆叶，所述摆叶的厚度小于连接杆纵截面的直径，该设计使摆叶能够对水分进行限制，可起到引导的作用，能够在水分落在摆叶表面时，引导水分从摆叶的边缘处流出，连接杆位于摆叶中部的一侧，该设计可在喷气嘴内停止喷出气体时，能够通过自身的重力，带动连接杆转动，使限位拨片的底面与限位槽的底面贴合，可方便使用。
8、与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
9、1、本技术中，通过喷气管与喷水管的设置，可在对基板进行清理时，由喷水管先对基板表面的药液进行冲洗，配合传动丝杠的驱动，采用往复式移动，可增加清洗次数与清洗面积，从而保证清洗效果，再配合喷水管，吹出高压气体，使用高压气体对基板表面残留的水分进行冲击，使基板表面干燥，在后续机械臂将基板取下时，可防止液体落在机械臂上，造成污染。
10、2、本技术中，在喷水口喷出水流时，能够通过连接件上六个摆叶之间的配合，将水分进行阻挡，防止水分通过喷气嘴进入喷气管与二号连接管内，导致喷气管与二号连接管的内部容易滋生细菌，在后续清理时，容易使细菌附着在基板表面，而在喷气嘴喷出气体时，能够通过气流的冲击，使摆叶转动清洗，并使连接件转动，通过离心力，将水分甩出，防止摆叶复位时水分流入喷气嘴。
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1.一种移动式基板表面清理机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述喷气管(5)的外表面固定连接有连接架(15)，所述喷气嘴(14)位于连接架(15)的内部。
3.根据权利要求2所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述连接架(15)的上端转动连接有连接件(16)，所述连接件(16)为六边形设计，且上下两端均做圆顶式处理。
4.根据权利要求3所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述连接件(16)六个外表面的中部一侧均开设有连接槽(18)，所述连接槽(18)的一侧开设有限位槽(19)。
5.根据权利要求4所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述连接槽(18)的内部转动连接有连接杆(20)，所述连接杆(20)的外表面固定连接有限位拨片(21)，所述限位拨片(21)位于限位槽(19)的内部。
6.根据权利要求5所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述连接杆(20)的外表面固定连接有摆叶(17)，所述摆叶(17)的厚度小于连接杆(20)纵截面的直径，且连接杆(
...【技术特征摘要】
1.一种移动式基板表面清理机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述喷气管(5)的外表面固定连接有连接架(15)，所述喷气嘴(14)位于连接架(15)的内部。
3.根据权利要求2所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述连接架(15)的上端转动连接有连接件(16)，所述连接件(16)为六边形设计，且上下两端均做圆顶式处理。
4.根据权利要求3所述的移动式基板表面清理机构，其特征在于：所述连接件(16)六个外表面的中部一侧均...
【专利技术属性】
技术研发人员：詹森雄，江家谊，
申请(专利权)人：亚智系统科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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