【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜机，具体为一种材料均匀散发的真空镀膜机。
技术介绍
1、真空镀膜机是一种在较高真空环境中通过加热来对材料进行蒸发，使得蒸发后的材料来对晶圆基板表面进行镀膜的设备，目前市场上的真空镀膜机在使用时还是存在一些问题，比如：
2、现有技术中申请号为“cn202210710733.9”所公开的专利名称为“一种可切换的均匀性修正板组结构及其真空镀膜机”，蒸发源平台上设有的电子束蒸发源，蒸发源平台上位于电子束蒸发源周围设有多个修正板，每个修正板均通过连接杆设置于蒸发源平台上；其中，多个修正板包括均匀性修正板a2、均匀性修正板b3及均匀性修正板c8；均匀性修正板a、均匀性修正板b、均匀性修正板c组成了均匀性修正板组，也可以在蒸发源台上增加更多修正板组成更复杂的膜厚调节系统；因为每个修正板只对应一种材料的一种速率，可以做到每层膜的细化调节，多层膜厚只是每层做了最优优化的膜层堆叠，最终获得最高均匀性的多层膜膜层，当驱动机构驱动任一连接杆转动时，则连接于连接杆上的修正板会部分遮挡于电子束蒸发源的上方，则其他两个修正板会随着连接杆转动移出电子束蒸发源的上方；
3、上述中的真空镀膜机在进行镀膜的过程中，只是使用了一个电子束蒸发源对材料进行加热蒸发，这样使得一次加热蒸发的材料的量是固定的，因此当固定量的蒸发的材料镀膜到基板上所花费的时间较长，因此使得真空镀膜机的镀膜效率较慢，同时电子束蒸发源的位置是固定的，这样使得电子束蒸发源对材料蒸发后材料向上散发的范围是固定，继而影响材料均匀的散发到镀锅上的基板表面，继而影
4、现有技术中申请号为“cn202011618418.0”所公开的专利名称为“一种新型蒸镀机”，所述离子源安装在离子源安装架上，所述离子源安装架位于蒸镀机本体底板上部，离子源安装架包括第一支架和第二支架，第一支架和第二支架通过螺母或者螺栓连接，第一支架和第二支架角度可调节，所述水冷隔热机构包括多片散热片和水冷管，多个散热片固定安装在主阀腔的底板上，所述多个散热片呈百叶型排列，相邻的两片散热片相互间隔平行，所述散热片设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热片的两端通过水冷管串接，所述水冷管的一端为进水口，水冷管的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒，第一螺栓套筒和第二螺栓套筒分别与主阀腔的底板可拆卸连接；
5、上述中的型蒸镀机内的离子源是安装在蒸镀机本体底板上部的，这样会使得离子源与镀锅内的基板之间的间距较远，使得离子源对基板表面轰击的行程较远，继而导致离子源对基板表面的轰击效果较差，降低了镀膜的附着力，使得真空镀膜机镀膜的效果较差；
6、所以我们提出了一种材料均匀散发的真空镀膜机，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种材料均匀散发的真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的真空镀膜机只是使用了一个电子束蒸发源对材料进行加热蒸发，这样使得一次加热蒸发的材料的量是固定的，因此当固定量的蒸发的材料镀膜到基板上所花费的时间较长，因此使得真空镀膜机的镀膜效率较慢，同时电子束蒸发源的位置是固定的，这样使得电子束蒸发源对材料蒸发后材料向上散发的范围是固定，继而影响材料均匀的散发到镀锅上的基板表面，继而影响后期镀膜的均匀性，离子源对基板表面轰击的行程较远，继而导致离子源对基板表面的轰击效果较差的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种材料均匀散发的真空镀膜机，包括底座，以及安装在底座右侧的电控柜；
3、所述底座的上方安装有镀膜腔体，镀膜腔体的下方内部安装有支撑板；
4、所述支撑板的内部贯穿安装有热阻蒸发机构和坩埚蒸发机构；
5、所述热阻蒸发机构的上方设置有第一盖板，坩埚蒸发机构的上方设置有第二盖板；
6、所述镀膜腔体的前侧面设置有开合门组件，开合门组件的内侧安装有离子源；
7、所述镀膜腔体的顶端内部设置有镀锅；
8、所述镀膜腔体的内壁安装有防着板，镀膜腔体的左右两侧面内壁的防着板上安装有加热灯；
9、所述镀膜腔体的后侧连通有抽真空腔体，抽真空腔体的后侧安装有真空泵和干泵；
10、两组加热灯之间通过安装支撑组件安装有修正板。
11、优选的，所述修正板的底面安装有第二安装杆，第二安装杆的外端与安装支撑组件内的安装支架相连接，安装支架的外端与加热灯相连接。
12、优选的，所述修正板的个数与第二安装杆的个数呈一一对应设置，修正板的长度小于第二安装杆的长度。
13、优选的，所述镀膜腔体的顶端贯穿安装有旋转控制机构，旋转控制机构的下端与镀锅的上方相连接；
14、镀锅的上方安装有竖杆，竖杆的上端与偏心板的外侧底面相连接，偏心板的上方安装有旋转控制机构的下端输出端，旋转控制机构的下端输出端与竖杆不在同一竖直线上，镀锅通过偏心板以旋转控制机构的下端输出端为圆心进行公转。
15、优选的，所述第一盖板的外侧安装有第一调节杆，第一调节杆的底端贯穿支撑板的内部，热阻蒸发机构通过前侧内部的轴杆与支撑板构成旋转结构；
16、第二盖板的外侧安装有第二调节杆，第二调节杆的底端贯穿支撑板的内部，第二盖板通过第二调节杆构成水平旋转结构。
17、优选的，所述第二盖板内部嵌入安装有防护夹层，防护夹层的材质为铅材质。
18、优选的，两组所述加热灯的外侧安装有呈弧形状结构的调控框，调控框的左侧内部贯穿螺纹连接有螺纹杆，调控框的右侧面内部贯穿设置有定位杆，螺纹杆和定位杆的上端与镀膜腔体内侧壁的防着板相连接，螺纹杆和定位杆的底端贯穿支撑板的内部。
19、优选的，所述安装支撑组件包括安装在两个加热灯内侧的呈圆环形状结构的安装环架，安装环架的上表面内部开设有呈镜像“l”形状结构的容置滑槽，容置滑槽的内部设置有一圈呈镜像“l”形状结构的滑杆，滑杆的上端呈矩形状结构设置滑杆的最高点低于安装环架的最高点。
20、优选的，所述安装环架的上方凹凸配合连接有锁定环，锁定环的外侧安装有一圈呈倒置设置的“l”形状结构的连接杆，连接杆的下方通过连接弹簧与安装环架内部的槽相连接；
21、锁定环的底面安装有弹性金属锁定件，锁定环和弹性金属锁定件均呈圆环形状结构设置，弹性金属锁定件的材质为铝材质。
22、优选的，所述修正板底部的第二安装杆的外端内部开设有呈矩形状的槽，且呈矩形状的槽内插入有滑杆的上端，滑杆和第二安装杆的上方设置有弹性金属锁定件。
23、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该材料均匀散发的真空镀膜机，通过两种加热蒸发模式，不仅可提高对材料的加热效率，还能提高一次加热的材料的量，继而提高了蒸发出来的材料的量，因此缩短了镀膜所需的时间，提高了镀膜的效率，提高了蒸发后的材料向上散发的范围和面积，继而再配合修正板的使用可将蒸发后的材料均匀的散发到镀锅本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种材料均匀散发的真空镀膜机，包括底座（1），以及安装在底座（1）右侧的电控柜（2）；
2.根据权利要求1所述的一种材料均匀散发的真空镀膜机，其特征在于：所述修正板（17）的底面安装有第二安装杆（171），第二安装杆（171）的外端与安装支撑组件内的安装支架（18）相连接，安装支架（18）的外端与加热灯（7）相连接。
3.根据权利要求2所述的一种材料均匀散发的真空镀膜机，其特征在于：所述修正板（17）的个数与第二安装杆（171）的个数呈一一对应设置，修正板（17）的长度小于第二安装杆（171）的长度。
4.根据权利要求1所述的一种材料均匀散发的真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔体（11）的顶端贯穿安装有旋转控制机构（13），旋转控制机构（13）的下端与镀锅（12）的上方相连接；
5.根据权利要求1所述的一种材料均匀散发的真空镀膜机，其特征在于：所述第一盖板（301）的外侧安装有第一调节杆（302），第一调节杆（302）的底端贯穿支撑板（6）的内部，热阻蒸发机构（3）通过前侧内部的轴杆与支撑板（6）构成旋转结构；
【技术特征摘要】
1.一种材料均匀散发的真空镀膜机，包括底座（1），以及安装在底座（1）右侧的电控柜（2）；
2.根据权利要求1所述的一种材料均匀散发的真空镀膜机，其特征在于：所述修正板（17）的底面安装有第二安装杆（171），第二安装杆（171）的外端与安装支撑组件内的安装支架（18）相连接，安装支架（18）的外端与加热灯（7）相连接。
3.根据权利要求2所述的一种材料均匀散发的真空镀膜机，其特征在于：所述修正板（17）的个数与第二安装杆（171）的个数呈一一对应设置，修正板...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，薛蒙晓，叶思宇，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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