【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产设备领域，具体涉及浸泡治具。
技术介绍
1、陶瓷盘清洗再生过程中，需要对陶瓷盘的顶面附着溶射涂层后，对底面进行药液浸泡去膜，但是，药液只能浸泡到陶瓷盘的一个工作面，且溶射涂层不能遭受破坏，而且，在日常的操作中，很难控制药液正好浸盖陶瓷盘的底面。
2、目前缺乏一种陶瓷盘单侧浸泡的治具。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本技术提供陶瓷盘单侧浸泡治具，已解决上述至少一个技术问题。
2、本技术的技术方案是：陶瓷盘单侧浸泡治具，包括一支撑座，其特征在于，所述支撑座包括上下设置上部以及下部；
3、所述上部是上宽下窄的圆锥台状的承载部，所述承载部的顶部的相对侧开设有取放口，所述取放口呈长条状；
4、所述下部是圆筒状的漏液部，所述漏液部的上端与所述承载部的下端相连；
5、所述漏液部的底部开设有至少三个周向排布的漏液口。
6、本技术通过承载部上宽下载便于不同外径的陶瓷盘的放置，通过下部的漏液口，便于药液进入支撑座的内腔，对陶瓷盘的底部进行浸泡。通过取放口实现陶瓷盘的取放的同时，还可以观测药液的高度与陶瓷盘底部是否接触。
7、使用时，将支撑座放入浸泡池内，再将陶瓷盘放到承载部直至平稳，调整好位置。然后后向浸泡池内加入药液，药液通过漏液口进入支撑座的内腔，当药液浸没陶瓷盘下表面，然后，停止加液开始浸泡反应，直至工艺要求时间后从上方取出产品，这样整个浸泡工作即完成。
8、进一步优选
9、进一步优选的，所述承载部的内壁设置有周向排布的刻度线。
10、便于对陶瓷盘摆放时的视觉定位。
11、进一步优选的，还包括与所述承载座滑动连接的定位柱，所述定位柱的顶部可拆卸连接有定位盘，所述定位盘包括左盘体以及右盘体，所述左盘体以及所述右盘体拼合围成与陶瓷盘的侧壁相抵的槽体，所述定位柱与所述下部的内腔滑动连接。
12、使用时，定位柱以及定位盘组装，且定位柱插设在下部内，将陶瓷盘放置在槽体内，然后，将左盘体以及右盘体分离，上移支撑座，即可实现陶瓷盘置入承载部。
13、进一步优选的，所述定位柱的底部设置有向外延伸的底座。
14、有益效果：
15、1.承载部为斜面的设计保证了产品与承托面接触的范围为线接触而非面接触，从而可以更好的保护上层非浸泡面。
16、2.取放口保证了作业人员可以轻松便捷得取放产品。
17、3.漏液口可以有效保证支撑座内外的液面齐平，便于作业人员更好的控制药液高度。
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1.陶瓷盘单侧浸泡治具，包括一支撑座，其特征在于，所述支撑座包括上下设置上部以及下部；
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述漏液口设置有四个。
3.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述承载部的内壁设置有周向排布的刻度线。
4.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：还包括与所述承载部滑动连接的定位柱，所述定位柱的顶部可拆卸连接有定位盘，所述定位盘包括左盘体以及右盘体，所述左盘体以及所述右盘体拼合围成与陶瓷盘的侧壁相抵的槽体，所述定位柱与所述下部的内腔滑动连接。
5.根据权利要求4所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述定位柱的底部设置有向外延伸的底座。
【技术特征摘要】
1.陶瓷盘单侧浸泡治具，包括一支撑座，其特征在于，所述支撑座包括上下设置上部以及下部；
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述漏液口设置有四个。
3.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述承载部的内壁设置有周向排布的刻度线。
4.根据权利要求1所述的陶瓷盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨炜，贺贤汉，周毅，蒋立峰，王成明，
申请(专利权)人：上海富乐德智能科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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